Transducteur à cathode froide MKS 974B QuadMag KF-25, RS232, mesure de processus absolue. Réf. : 974B-21020

Le transducteur à cathode froide MKS 974B QuadMag appartient à la série MKS 970, une famille de transducteurs polyvalents compacts et économiques qui utilisent de un à quatre capteurs - cathode froide, MicroPirani™ et technologies Piezo. La combinaison de ces technologies de détection permet une large plage de mesure allant de l'atmosphère à ^10-8 Torr. En plus de sa petite taille, de sa large gamme et de son faible coût, la série 970 peut être utilisée via une communication numérique ou en tant qu'unité analogique autonome.

La plage de mesure du transducteur est de ^10-5 à 1 500 Torr. Le Piezo est un capteur de pression absolue à lecture directe, permettant à la mesure d'être indépendante du gaz. Le capteur comprend une compensation de température unique, permettant une grande précision sur une large plage de mesure. Le Piezo mesurera de 10-1 à 1 500 Torr. Le MicroPirani exécute une fonction de zéro automatique sur le Piezo lorsque la pression est inférieure à ^10-2 Torr. Contrairement aux jauges Pirani traditionnelles, l'élément du MicroPirani™ est constitué d'une puce de silicium carrée d'un millimètre, ce qui permet d'effectuer les mesures dans un très petit volume. Un capteur Pirani traditionnel a une plage de mesure de 10-3 à environ 100 Torr, perdant rapidement sa sensibilité au-dessus de 10 Torr. Parce que la taille de la partie de détection du MicroPirani™ est si petite, elle a une plage allant jusqu'à 10-5 Torr. La conception minimise les effets de la convection, de sorte que le fonctionnement est possible dans n'importe quelle position sans compromettre la précision, pour une installation simplifiée. Le transducteur comprend une commande de zéro à bouton-poussoir qui peut être utilisée lorsque la pression est inférieure à 10-5 Torr.

Le transducteur à cathode froide MKS 974B QuadMag avec communication numérique permet de fournir tous les réglages et la surveillance en temps réel, via un ordinateur hôte. Le transducteur MKS 974B prend en charge la communication RS485 ou RS232 en standard. Ce transducteur à cathode froide QuadMag 974B fournit un signal de sortie analogique CC de 1 à 9 volts au connecteur mâle D-sub haute densité à 15 broches. La sortie du transducteur est lissée entre les deux capteurs et lit les deux capteurs dans la plage de 5 à 15 Torr.

Pour le contrôle de processus, le 974B dispose de trois points de consigne de relais indépendants. Les caractéristiques des points de consigne peuvent être définies, ajustées et surveillées via le port numérique. Comme tous les capteurs de conductivité thermique, le MicroPiraniTM est sensible au type gaz. Le Piezo mesure indépendamment du type de gaz. Le 974B fournit une sortie de détection de fuite numérique qui mesure la lecture différentielle entre le Piezo et le MicroPirani™. Cela en fait une solution simple pour localiser les fuites moyennes à fines dans les systèmes de vide. Les clients nécessitant à la fois une alimentation et un écran peuvent utiliser le 974B DualTrans avec le contrôleur de la série PDR900 vendu sur ce site Web. Pour des spécifications complètes et des informations sur le fonctionnement, voir les téléchargements disponibles ci-dessous.