Kit d'analyseur de gaz résiduels (RGA) Ideal Vacuum AnalyzaVAC pour fonctionnement haute pression, 1-200 AMU, détecteur de coupelle Faraday, vanne de fuite variable manuelle, mini station de pompage turbo Agilent TPS, logiciel de base AutoZ+ inclus.

L'Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA est un spectromètre de masse compact qui peut aider à déterminer l'identité et la concentration des gaz résiduels à l'intérieur d'une chambre à vide. Il peut être utilisé pour la détection de fuites, l'analyse des dégazages, le contrôle de la qualité des gaz d'alimentation dans les applications de revêtement et de gravure, le dépannage des processus, etc.

Connecté directement à une chambre, le RGA est conçu pour un fonctionnement continu à des pressions totales inférieures à 1×10 ^-6 Torr, et de manière optimale autour de 2×10 ^-7 Torr. Le fonctionnement du RGA à des pressions plus élevées entraîne une durée de vie considérablement réduite de l’ioniseur, du filament et du quadripôle. Les manomètres intégrés de l'AnalyzaVAC sont utilisés à la fois en interne et dans le logiciel AutoZ ⁺ inclus pour éviter des dommages mortels au RGA (dans la plupart des cas).

Pour mesurer les gaz dans une chambre sous vide moyen jusqu'à la pression atmosphérique, le RGA doit être placé dans une petite chambre séparée avec son propre système de pompage à vide poussé. Le système de vide RGA est ensuite connecté à la chambre via une vanne de fuite qui permet au RGA d'échantillonner les gaz dans la chambre principale tout en maintenant un vide poussé autour de la délicate sonde quadripolaire.

Ce kit contient tout ce dont vous avez besoin pour utiliser un RGA pour mesurer des gaz à des pressions plus élevées.

Composants et fonctionnalités :

• Analyse sous vide idéale ZaVAC RGA.
• Plage de numérisation de 1 à 200 AMU.
• Détecteur de tasse de Faraday.
• La jauge Pirani intégrée empêche l'activation du RGA à haute pression.
• Jauge d'ions à cathode chaude intégrée pour une mesure rapide de la pression sous vide poussé.
• Station de pompage turbomoléculaire Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS avec fonctionnement sous vide poussé à un seul interrupteur.
• La vanne de fuite variable manuelle Agilent permet l'échantillonnage RGA de chambres de 1 000 Torr à un vide poussé.
• Collecteur soudé avec joints entièrement métalliques pour une contamination minimale des mesures provenant d'autres sources de gaz.
• Logiciel Ideal Vacuum AutoZ ⁺ version de base.

La combinaison de la mini station de pompage Agilent Varian TPS avec la vanne manuelle à fuite variable Agilent permet un échantillonnage précis des gaz dans des chambres couvrant au moins 9 ordres de grandeur de pression. Cependant, un seul point de fissure dans la vanne d'isolement ne convient pas à toutes les pressions comprises dans la plage. Pour de meilleurs résultats, la vanne doit être réinitialisée manuellement chaque fois que la pression de la chambre est modifiée. Si la pression de la chambre doit augmenter de plus d'un ordre de grandeur par rapport à la pression de fonctionnement actuelle (c'est-à-dire lors d'une ventilation de la chambre), la vanne de fuite doit d'abord être fermée pour éviter d'endommager le RGA et le système de pompage. Une fois que la chambre a atteint une pression stable, l'ioniseur RGA doit être éteint et la vanne rouverte jusqu'à ce que la pression souhaitée à l'intérieur du sous-système RGA soit atteinte. Le ioniseur RGA peut alors être rallumé et la mesure reprise.

Pour maintenir la vanne de fuite à un certain point de fissure tout au long des cycles de pression, le RGA peut être isolé de la chambre à l'aide d'une vanne à soufflet manuelle supplémentaire.

À propos de l'AnalysaVac RGA sous vide idéal :

L'AnalyzaVAC fonctionne en ionisant les gaz présents à la pointe de la sonde à l'aide d'électrons émis thermiquement par des filaments d'iridium thorié remplaçables sur double champ. Les cations résultants sont séparés par rapport masse/charge en utilisant une combinaison de fréquences radio variables et de tensions continues appliquées au filtre quadripolaire. Les ions chargés positivement se déplacent vers le centre du quadripôle et sont soit amplifiés par un multiplicateur d'électrons, soit détectés directement par le détecteur à coupe de Faraday situé à l'extrémité de la sonde. Chaque gaz produit une empreinte spectrale unique qui est une combinaison de l'abondance isotopique naturelle de ses éléments et de la fragmentation moléculaire provoquée par l'ionisation électronique à haute énergie du RGA.

Toutes les sondes AnalyzaVAC sont livrées avec un détecteur à coupelle de Faraday qui permet une détection répétable, quantitative et hautement linéaire jusqu'à 1,5 × 10 ^-12 Torr ^* . Le multiplicateur d'électrons en option augmente la sensibilité jusqu'à un niveau stupéfiant de 6 × 10 ^-15 Torr ^* pour les mesures qualitatives. Les détecteurs standard et équipés d'un multiplicateur d'électrons ont une résolution de 0,5 AMU à une hauteur de pic de 10 % (ou mieux) lorsqu'ils sont correctement calibrés.

Le logiciel AutoZ ⁺ de base non expirant d'Ideal Vacuum est une application Windows 10, qui peut contrôler n'importe quel système AnalyzaVAC RGA à partir d'un ordinateur de bureau ou portable. AutoZ ⁺ donne à l'opérateur le pouvoir de contrôler tous les paramètres d'acquisition. AutoZ ⁺ fournit un streaming de données en temps réel et permet aux utilisateurs de visualiser les données collectées sous forme de spectre analogique, d'histogramme de masse et de tendances au fil du temps. Pour supprimer les pics et les contributions spectrales indésirables, un utilisateur peut utiliser les spectres précédemment collectés pour référencer les données.

La mise à niveau facultative du logiciel AutoZ ⁺ premium d'Ideal Vacuum comprend toutes les fonctionnalités du logiciel de base et ajoute un enregistrement avancé des données, une moyenne, un ajustement spectral avec accès à la bibliothèque de substances d'Ideal Vacuum et la possibilité d'ajouter des composés supplémentaires à la bibliothèque. Premium AutoZ ⁺ utilise un puissant algorithme des moindres carrés pour calculer les pressions partielles des gaz résiduels courants, identifie leur contribution au spectre actuellement affiché et isole les pics inconnus. Le logiciel Premium doit être renouvelé chaque année, sinon il revient à la version de base.

Quelques applications RGA :

• Test de fuite
• Surveillance des processus
• Surveillance du pompage et de l'étuvage
• Diagnostic du vide
• Contrôle de la qualité du gaz d'alimentation
• Identification des gaz et des contaminants

* La sonde AnalyzaVAC est un instrument délicat. Une utilisation inappropriée, une mauvaise manipulation de la sonde ou un fonctionnement à des pressions élevées pendant des périodes prolongées peuvent la contaminer et l'endommager. Donc la sonde. ne bénéficie pas de garantie après retrait de son emballage d'origine.
Agilent TPS Mini Turbo bénéficie d'une garantie complète du fabricant. La garantie de tout autre composant couvre les défauts du produit.

La pression opérationnelle totale optimale du RGA est de 2×10 ^-7 Torr pour la plupart des gaz. La pression externe peut être beaucoup plus élevée tant qu'elle est réduite à l'intérieur du système RGA à l'aide de la vanne de fuite variable et du système de turbopompe. Un fonctionnement à des pressions plus élevées du système RGA pendant des périodes prolongées entraînera un vieillissement prématuré de la sonde, une perte de gain, une dérive spectrale et un grillage du filament et de l'ioniseur. Le RGA peut être utilisé dans les régions de pression suivantes pendant les durées correspondantes :
10 ^-4 Torr, plusieurs heures
10 ^-5 Torr, plusieurs jours
10 ^-6 Torr, plusieurs mois
10 ^-7 Torr, plusieurs années
10 ^-8 Torr, indéfiniment
Les vapeurs organiques doivent être maintenues à une pression 2 fois inférieure à celle des gaz atmosphériques pour éviter la contamination par la suie du filament et de l'ioniseur. Les vapeurs de silicone doivent être maintenues à des pressions au moins 10 fois inférieures à celles des gaz atmosphériques pour éviter l'accumulation de verre sur le filament et l'ioniseur. Les vapeurs corrosives sont également plus dommageables pour le RGA que les gaz normaux. En gérant correctement la pression, le RGA peut être utilisé pour mesurer ces gaz sans engager de réparations coûteuses.

* Mesuré avec de l'azote gazeux, un temps de séjour de 5 secondes, une largeur de pic complète de 1 amu, une hauteur de 10 %, une énergie électronique de 70 eV, une énergie ionique de 6 eV et une émission d'électrons de 2 mA, et en calculant trois écarts types par rapport au bruit de base.