Controlador de flujo másico (MFC) MKS GM50A controlado digitalmente, rango de 1 a 50 sccm, protocolo de comunicación serial RS-485, 4 VCR macho.
Número de pieza MKS: GM50A004501R5M020. El controlador de caudal másico MKS GM50A está configurado para controlar Ar o equivalente, con un rango de caudal de escala completa de 50 sccm y un rango de control de 1 a 50 sccm. Esta unidad de argón de 50 sccm se puede "reducir" a través del software.
Tiene un puerto de comunicación serial RS-485, una señal de entrada/salida de caudal de 0-5 VCC o de 4 a 20 mA y conexiones de entrada y salida macho Swagelok® 4 VCR®. Los tiempos de respuesta típicos son del orden de 500 milisegundos. La calibración digital ofrece un 1 % de precisión del punto de ajuste en el gas de calibración.
Las capacidades de rango múltiple se pueden configurar a través de una aplicación basada en navegador web a la que se accede conectando el MFC a un enrutador o una computadora mediante un cable Ethernet. La aplicación de diagnóstico electrónico permite al usuario monitorear el rendimiento del MFC en tiempo real, así como también trazar datos y seleccionar variables.
Swagelok, VCR-TM Compañía Swagelok