Controlador de flujo másico (MFC) MKS GM50A, control analógico, rango de 2 a 100 sccm, D-sub de 15 pines, 4 VCR macho. PN: GM50A013102RMM020.
Número de pieza MKS: GM50A013102RMM020. El controlador de caudal másico MKS GM50A se puede configurar para controlar una amplia gama de gases de suministro seguro (SDS). Los accesorios de entrada y salida son Swagelok® 4 VCR® macho. Tiene un rango de caudal de escala completa de 100 sccm y un rango de control de 2 a 100 sccm, un conector D-sub de 15 pines con conexiones a tierra y una señal de entrada/salida de caudal de 0-5 VCC. Los tiempos de respuesta típicos son del orden de 500 milisegundos.
Swagelok, VCR-TM Compañía Swagelok