Controlador de flujo másico (MFC) MKS GM50A, control analógico, rango de 10 a 500 sccm, D-sub de 15 pines, 4 VCR macho.
Número de pieza MKS: GM50A013502RMM020. El controlador de caudal másico MKS GM50A se puede configurar para controlar una amplia gama de gases de suministro seguro (SDS). Los accesorios de entrada y salida son Swagelok® 4 VCR®. Tiene un rango de caudal de escala completa de 500 sccm y un rango de control de 10 a 500 sccm, un conector D-sub de 15 pines con conexiones a tierra y una señal de entrada/salida de caudal de 0-5 VCC. Los tiempos de respuesta típicos son del orden de 500 milisegundos.
Swagelok, VCR-TM Compañía Swagelok