Kit de analizador de gas residual (RGA) Ideal Vacuum AnalyzaVAC para funcionamiento a alta presión, 1-200 AMU, detector de copa de Faraday, válvula de fuga variable manual, estación de bombeo mini turbo Agilent TPS, software básico AutoZ+ incluido.

Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA es un espectrómetro de masas compacto que puede ayudar a determinar la identidad y concentración de gases residuales dentro de una cámara de vacío. Puede usarse para detección de fugas, análisis de desgasificación, control de calidad del gas de alimentación en aplicaciones de recubrimiento y grabado, resolución de problemas de procesos y más.

Conectado directamente a una cámara, el RGA está diseñado para un funcionamiento continuo a presiones totales inferiores a 1×10 ^-6 Torr y, de manera óptima, alrededor de 2×10 ^-7 Torr. El funcionamiento del RGA a presiones más altas reduce drásticamente la vida útil del ionizador, el filamento y el cuadrupolo. Los manómetros integrados de AnalyzaVAC se utilizan tanto internamente como en el software AutoZ ⁺ incluido para evitar daños fatales al RGA (en la mayoría de los casos).

Para medir gases en una cámara desde vacío medio hasta presión atmosférica, el RGA debe colocarse en una cámara pequeña separada con su propio sistema de bombeo de alto vacío. Luego, el sistema de vacío RGA se conecta a la cámara a través de una válvula de fuga que permite al RGA tomar muestras de gases en la cámara principal mientras mantiene un alto vacío alrededor de la delicada sonda cuadripolar.

Este kit contiene todo lo necesario para utilizar un RGA para medir gases a presiones más altas.

Componentes y características:

• Ideal Analizador de VacíoVAC RGA.
• Rango de escaneo de 1-200 AMU.
• Detector de copa de Faraday.
• El manómetro Pirani incorporado evita que el RGA se active a altas presiones.
• Medidor de iones de cátodo caliente incorporado para una medición rápida de presión de alto vacío.
• Estación de bombeo turbomolecular Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS con funcionamiento de alto vacío con un solo interruptor.
• La válvula de fuga variable manual Agilent permite el muestreo RGA de cámaras desde 1000 Torr hasta alto vacío.
• Colector soldado con sellos totalmente metálicos para una contaminación de medición mínima de otras fuentes de gas.
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺ software versión básica.

La combinación de la mini estación de bombeo Agilent Varian TPS con la válvula de fuga variable manual de Agilent permite un muestreo de gas preciso de cámaras que abarcan al menos 9 órdenes de magnitud de presión. Sin embargo, un único punto de rotura de la válvula de aislamiento no es adecuado para todas las presiones dentro del rango. Para obtener mejores resultados, la válvula debe restablecerse manualmente cada vez que se cambia la presión de la cámara. Si la presión de la cámara va a aumentar más de 1 orden de magnitud en comparación con la presión de funcionamiento actual (es decir, durante una ventilación de la cámara), la válvula de fuga debe cerrarse primero para evitar daños al RGA y al sistema de bombeo. Después de que la cámara alcance una presión estable, se debe apagar el ionizador RGA y volver a abrir la válvula hasta alcanzar la presión deseada dentro del subsistema RGA. Luego se puede volver a encender el ionizador RGA y reanudar la medición.

Para mantener la válvula de fuga en un cierto punto de rotura durante los ciclos de presión, el RGA se puede aislar de la cámara utilizando una válvula de fuelle manual adicional.

Acerca del analizador de vacío ideal AnalyzaVac RGA:

El AnalyzaVAC funciona ionizando los gases presentes en la punta de la sonda utilizando electrones emitidos termoiónicamente por filamentos de iridio toriados duales reemplazables en campo. Los cationes resultantes se separan por relación masa-carga utilizando una combinación de diferentes frecuencias de radio y voltajes de CC aplicados al filtro cuadrupolo. Los iones cargados positivamente viajan por el centro del cuadrupolo y son amplificados por un multiplicador de electrones o detectados directamente por el detector de copa de Faraday al final de la sonda. Cada gas produce una huella espectral única que es una combinación de la abundancia isotópica natural de sus elementos y la fragmentación molecular causada por la ionización de electrones de alta energía del RGA.

Todas las sondas AnalyzaVAC vienen con un detector de copa de Faraday que proporciona una detección repetible, cuantitativa y altamente lineal de hasta 1,5×10 ^-12 Torr ^* . El multiplicador de electrones opcional aumenta la sensibilidad a la asombrosa cifra de 6×10 ^-15 Torr ^* para mediciones cualitativas. Tanto el detector estándar como el equipado con multiplicador de electrones tienen una resolución de 0,5 AMU a una altura de pico del 10 % (o mejor) cuando están calibrados correctamente.

El software AutoZ ⁺ básico sin fecha de vencimiento de Ideal Vacuum es una aplicación de Windows 10 que puede controlar cualquier sistema AnalyzaVAC RGA desde una computadora de escritorio o portátil. AutoZ ⁺ le da al operador el poder de controlar todos los parámetros de adquisición. AutoZ ⁺ proporciona transmisión de datos en tiempo real y permite a los usuarios ver los datos recopilados como un espectro analógico, un histograma de masas y tendencias a lo largo del tiempo. Para eliminar picos no deseados y contribuciones espectrales, un usuario puede utilizar espectros recopilados previamente para establecer datos de referencia.

La actualización de software premium AutoZ ⁺ opcional de Ideal Vacuum incluye todas las funciones del software básico y agrega registro de datos avanzado, promedio, ajuste espectral con acceso a la biblioteca de sustancias de Ideal Vacuum y la capacidad de agregar compuestos adicionales a la biblioteca. Premium AutoZ ⁺ utiliza un potente algoritmo de mínimos cuadrados para calcular las presiones parciales de los gases residuales comunes, identifica su contribución al espectro mostrado actualmente y aísla picos desconocidos. El software premium debe renovarse anualmente o volverá a la versión básica.

Algunas aplicaciones RGA:

• Prueba de fugas
• Monitoreo de procesos
• Monitoreo de bombeo y horneado
• Diagnóstico de vacío
• Control de calidad del gas de alimentación
• Identificación de gases y contaminantes.

* La sonda AnalyzaVAC es un instrumento delicado. El uso inadecuado, el mal manejo de la sonda o el funcionamiento a presiones elevadas durante períodos prolongados pueden contaminarla y dañarla. Por tanto, la sonda. no tiene garantía una vez retirado de su embalaje original.
Agilent TPS Mini Turbo tiene una garantía completa del fabricante. La garantía de cualquier otro componente es contra defecto del producto.

La presión operativa total óptima del RGA es 2×10 ^-7 Torr para la mayoría de los gases. La presión externa puede ser mucho mayor siempre que se reduzca dentro del sistema RGA mediante la válvula de fuga variable y el sistema de bomba turbo. El funcionamiento a presiones más altas del sistema RGA durante períodos prolongados provocará un envejecimiento prematuro de la sonda, pérdida de ganancia, deriva espectral y desgaste del ionizador y del filamento. El RGA se puede utilizar en las siguientes regiones de presión durante los períodos de tiempo correspondientes:
10 ^-4 Torr, varias horas
10 ^-5 Torr, varios días
10 ^-6 Torr, varios meses
10 ^-7 Torr, varios años
^10-8 Torr, indefinidamente
Los vapores orgánicos deben mantenerse a una presión 2 veces menor que la de los gases atmosféricos para evitar la contaminación por hollín del filamento y del ionizador. Los vapores de silicona deben mantenerse a presiones al menos 10 veces más bajas que los gases atmosféricos para evitar la acumulación de vidrio en el filamento y el ionizador. Los vapores corrosivos también son más dañinos para el RGA que los gases normales. Al gestionar adecuadamente la presión, el RGA se puede utilizar para medir estos gases sin incurrir en reparaciones costosas.

* Medido con gas nitrógeno, tiempo de permanencia de 5 segundos, ancho de pico completo de 1 amu, altura del 10 %, energía de electrones de 70 eV, energía de iones de 6 eV y emisión de electrones de 2 mA, y calculando tres desviaciones estándar del ruido de referencia.