Bomba de vacío seca multietapa Ebara ESR20N, velocidad de bombeo de 45 a 70 CFM (1300 - 2000 l/m), procesos de servicio limpio a medio, enfriada por agua, trifásica, 200-220 V, 60 Hz.
Número de pieza Ebara: 202093. La serie Ebara ESR (Energy Saving Roots) son bombas de vacío secas multietapa diseñadas para aplicaciones que van desde procesos limpios hasta procesos de servicio medio. La serie Ebara ESR cubre una amplia velocidad de bombeo de 45 a 706 CFM con una presión máxima tan baja como 1,5 mTorr. Este listado es para la venta de la bomba de vacío seca multietapa Ebara ESR20N, 120 cfm 2000 l/m, procesos de servicio limpio a medio, enfriada por agua, 200-220 V/trifásico, PN: 202093.
Aplicaciones
- chisporroteo
- PVD
- Bloqueo de carga y transferencia
- incendiar
- Implantador de iones
- Grabar al agua fuerte
- Gases y procesos limpios
Beneficios y características de las bombas de lóbulos rotativos secos de la serie Ebara EV-A.
- Bajo coste de propiedad [energía, N2, agua, huella, volumen, peso]
- No se requiere purga de nitrógeno para ESR20N en aplicaciones limpias
- Velocidad de bombeo variable para adaptarse a los requisitos de la aplicación.
- Motores CC sin escobillas de alto rendimiento
- Dispositivos de control y monitoreo de última generación.
- Se puede emplear el modo inactivo para aumentar el ahorro de servicios públicos
- Evaluación SEMI S2, listado NRTL, marcado CE