MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC) digital gesteuert, Bereich von 0,4 bis 20 sccm, RS-485 serielles Kommunikationsprotokoll, 4 VCR-Stecker.
MKS-Teilenummer: GM50A015201R5M020. Der Massendurchflussregler MKS GM50A ist für die Regelung von O2 oder Äquivalenten konfiguriert und verfügt über einen Durchflussbereich von 20 sccm und einen Regelbereich von 0,4 bis 20 sccm. Er verfügt über einen seriellen RS-485-Kommunikationsanschluss, ein Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal von 0-5 VDC oder 4 bis 20 mA und männliche Swagelok® 4 VCR®-Eingangs- und Ausgangsanschlüsse. Die typischen Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Sollwertgenauigkeit von 1 % für das Kalibriergas.
Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die zugegriffen werden kann, indem das MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder Computer angeschlossen wird. Mit der E-Diagnoseanwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten aufzeichnen und Variablen auswählen.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company