Edwards nEXT85D Turbo-Vakuumpumpe, ISO-K 63-Einlass, 84 l/s Sauggeschwindigkeit, luft- oder wassergekühlt. Edwards-Teilenummer: B8G210B01. Die turbomolekularen Hochvakuumpumpen nEXT85D von Edwards haben eine Pumpgeschwindigkeit von 84 Litern pro Sekunde (l/s) und einen Enddruck von 8 x 10
-8 mbar (6 x 10
-8 Torr). Diese nEXT85D-Pumpe verfügt über einen ISO-K 63-Einlassflansch, ein mitgeliefertes Einlasssieb und einen ISO KF-16-Auslassvorleitungsflansch. Die Turbopumpen der nEXT85D-Serie benötigen eine Eingangsleistung von 24 bis 48 VDC bei maximal 120 Watt (normaler Betrieb liegt typischerweise unter 80 Watt). Alle nEXT85D-Turbopumpen verfügen über einen kompakten Onboard-Controller mit RS232-, RS485- und USB-Schnittstellen, fünf Status-LEDs und einen Zubehöranschluss zur Steuerung entweder eines Luftkühlungslüfters oder eines Magnetentlüftungsventils (für den Anschluss beider steht ein „Y“-Stecker zur Verfügung). ein Ventilator und ein Ventil). Alles, was benötigt wird, ist eine geeignete Stromversorgung und Start-/Stopp-Logik. Für den Laborgebrauch empfehlen wir den Edwards Turbo Instrument Controller (TIC) oder das Turbo Active Gauge (TAG), die sowohl als Stromversorgung als auch als Fernbedienung für die kleineren nEXT-Pumpen dienen können. Wir bieten eine Vielzahl optionaler Zubehörteile an, darunter TIC- und TAG-Controller, Zwangsluft- und Wasserkühlungssätze sowie magnetbetriebene Entlüftungsventile. Diese nEXT85D-Turbopumpe hat die Edwards-Teilenummer B8G210B01.
Technische Daten der Edwards nEXT85D Turbopumpe:- Teilenummer: B8G210B01
- Einlassflansch: ISO-K 63
- Basisdruck: 8 x 10 -8 mbar (6 x 10 -8 Torr)
- Betriebsgeschwindigkeit: 90.000 U/min
- Betriebsposition: Von horizontal nach vertikal (Einlass nach oben)
- Saugvermögen: 84 l/s
- Kühlung: Umluft oder Wasser
- Auspuffflansch: KF-16
- Betriebsspannung: 24-48 VDC
- Maximale Leistung: 120 Watt (typischer Betrieb < 80 Watt)
- Stromversorgung und Kommunikation: DB15 serielle RS232/RS485-Schnittstelle, USB
- Ein Zubehöranschluss
- Empfohlene Vorvakuumpumpe: nXDS6i
Die nEXT-Turbopumpen verfügen über einen Rotor, der die Pumpenleistung optimiert und gleichzeitig ein hohes Maß an Zuverlässigkeit gewährleistet. Die „D“-Variante der nEXT-Turbopumpen verfügt sowohl über Turbomolekular- als auch über Widerstandsstufen für eine verbesserte Toleranz gegenüber höheren Vordruckdrücken und verfügt über eine überlegene Pumpgeschwindigkeit und Kompression bei allen Gasarten. Zusätzlich zur verbesserten Leistung verfügen die Turbopumpen nEXT85D über vor Ort zu wartende Ölkartuschen und Wellenlager, die die Ausfallzeiten drastisch verkürzen. nEXT D-Turbopumpen profitieren von einem kompakten integrierten Controller mit Antriebselektronik zur Steuerung des Pumpenbetriebs und der Standby-Geschwindigkeit sowie zum Betrieb von Magnetentlüftungsventilen (TAV5, TAV6) und Luftkühleinheiten (über den 24-VDC-Zubehöranschluss). Der integrierte Controller verfügt über eine DB15-Schnittstelle für die serielle Kommunikation RS232 und RS485 sowie für die Stromversorgung der Pumpe. Der USB-Anschluss ermöglicht die Verwendung der Edwards nST2 PC-Software (kostenloser Download unten). Die Steuerung verfügt außerdem über fünf Anzeige-LEDs, die den allgemeinen Status, den Betrieb und den Servicestatus der Pumpe anzeigen. Der optionale TIC-Turbo-Instrumentencontroller oder der TAG-Turbo- und Active-Gauge-Controller können die Pumpe sowohl mit Strom versorgen als auch steuern.
Edwards nEXT-Pumpen mit CF-Flansch sind echte Ultrahochvakuumpumpen (UHV) mit einem Enddruck im Bereich von
10–10 Torr (sofern Ganzmetall-Ansaugdichtungen verwendet werden und die Vakuumkammer vollständig gereinigt und ausgeheizt ist). Turbopumpen mit ISO-Flanschen sind (durch Permeation und Ausgasung der O-Ring-Dichtungen aus Gummi/Elastomer) auf einen Enddruck im Bereich von 10
-8 Torr begrenzt. Der Einlass von Conflat-Flanschpumpen nEXT85D kann bei wassergekühltem Turbo auf bis zu 120 °C erhitzt werden. Heizbänder für die Conflat-Pumpen sind separat erhältlich.
Für Anwendungen zur Vakuumsystemintegration kann die nEXT85D-Pumpe von einer geeigneten, vom Benutzer bereitgestellten 24- bis 48-V-Gleichstromquelle betrieben werden. Für Laboranwendungen empfehlen wir den Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder den TAG Turbo & Active Gauge Controller, die beide sowohl Strom liefern als auch die Pumpe steuern können. Bei den Controllern der TIC-Serie handelt es sich um auf dem Tisch oder im Rack montierbare Remote-Benutzerschnittstellen/Stromquellen, die über RS232/RS485 mit den Pumpen der Edwards nEXT-Serie kommunizieren und eine vollständige Überwachung und Steuerung der Turbopumpe und optional eines oder mehrerer Vakuummessgeräte ermöglichen . Wenn eine Edwards-Relaisbox hinzugefügt wird, wird sie zur Steuerschnittstelle zwischen der TIC-Steuerung und der Netzvorvakuumpumpe, dem Flanschheizband der Turbopumpe und einem Absperrventil für die Vorvakuumleitung. Der TAG-Turbo- und Active-Gauge-Controller kann nEXT85D-Turbopumpen und ein Vakuummeter mit Strom versorgen, und sein großes LED-Display kann die Pumpengeschwindigkeit oder den Vakuumdruck anzeigen.
Die Bedienungsanleitung der Pumpe und die Produktbroschüren der Edwards nEXT-Pumpe sind im Download-Bereich verfügbar.
Zu den typischen Anwendungen von Turbopumpen gehören:- Allgemeine saubere Pumpanwendungen
- Rasterelektronenmikroskope – SEM
- Strahllinien und Hochenergiephysik
- Massenspektrometer
- Elektronenmikroskopie
- Probenvorbereitung
- Forschung und Entwicklung
- Hochenergiephysik
- Industriell
- Halbleiter
- Beschichtungen
- Oberflächenwissenschaftliche Instrumente