Edwards APG200-M Aktives Pirani-Vakuummeter NW25, KF25, 10⁻⁴ Torr, S-angepasst, nichtlinearer Ausgang. Teilenummer: D1G1021150

Das aktive Pirani-Vakuummeter Edwards APG200-M verfügt über einen NW25- und einen KF25-Vakuumflansch, ist kompakt für eine einfache Installation, hat einen nichtlinearen Ausgang und einen vom Benutzer austauschbaren Röhrensensor. Die neuen Edwards-Vakuummeter sind mit allen Edwards TIC-, ADC- und TAG-Instrumentensteuerungen sowie anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen kompatibel. Sie sind CSA- und C/US-zertifiziert und dank ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen Drücke von Atmosphärendruck bis hinunter zu 3,75 × ^10⁻⁴ bar. Die Signalkabel und TIC-Vakuummessgerätesteuerungen sind separat erhältlich. Diese aktiven Pirani-Vakuummeter Edwards APG200-M mit Standard-Wolfram/Rhenium-Fäden und NW25-Vakuumflansch haben die Edwards-Teilenummer D1G1021150.

Das APG200 ist in drei Ausführungen erhältlich: M-, LC- und MP-Serie. Die M-Serie verfügt über Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente, misst Drücke von Atmosphärendruck bis 3,75 × ^10⁻⁴ Torr und eignet sich für allgemeine Anwendungen. Die LC-Serie ist mit korrosionsbeständigen Platin/Iridium-Filamenten ausgestattet, misst Drücke von Atmosphärendruck bis 7,5 × ^10⁻⁵ Torr und ist ebenfalls für korrosive Anwendungen geeignet. Die MP-Serie verfügt über Platin/Rhodium-Filamente, misst Drücke von Atmosphärendruck bis 3,75 × ^10⁻⁴ Torr und eignet sich für allgemeine Anwendungen. Die Bedienungsanleitung für diese Manometer der Edwards APG200-Serie finden Sie unten im PDF-Format.

Das APG200 kann in jeder Ausrichtung montiert werden. Die Messrohre sind jedoch werkseitig in Stickstoff und vertikaler Position kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der gewählten Ausrichtung muss das Manometer bei Atmosphärendruck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Manometer zu minimieren. Das APG200 ist für die Verwendung mit Stickstoff kalibriert und liefert korrekte Messwerte mit trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid. Für alle anderen Gase ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Gängige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon.

Zu den Merkmalen gehören:

• Einfacher Zugang zum Signalkabel durch kompaktes Gehäuse
• Der Sensor ist bis 150 °C (300 °F) backofenfest und vom Benutzer austauschbar.
• Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung
• Fernkalibrierung möglich
• Druckbereich 10 ^-4 Torr

Hintergrundinformationen zu Pirani- und konvektionsverstärkten Pirani-Manometern
Pirani-Vakuummeter zählen zu den Wärmeleitfähigkeitsmessgeräten und ähneln Thermoelementen, bei denen der Widerstand des Heizdrahts zur Bestimmung des Vakuumdrucks gemessen wird. Ein Pirani-Vakuummeter misst die Widerstandsungleichheit, die entsteht, wenn der Heizdraht einen der Zweige einer Wheatstone-Brücke bildet. Mit steigendem Vakuumdruck transportieren Gasmoleküle Wärme vom Heizdraht ab, wodurch der Widerstand des Drucksensors sinkt und die Schaltung aus dem Gleichgewicht gerät. Der Vakuumdruck wird somit aus der druckbedingten Unwucht in der Wheatstone-Brücke berechnet. Wie bei Thermoelementen steigt die Wärmeleitfähigkeit durch Molekülkollisionen im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr linear mit dem Druck an. Bei weiter steigendem Druck, im Bereich viskoser Strömung, verläuft die Wärmeabfuhr jedoch nichtlinear. Hier können Gas-Gas-Kollisionen die Moleküle wieder zum Heizdraht hin ausrichten. Die Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie das äußere Gehäuse des Sensors (den Wärmesenken) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Manometer nutzen den Konvektionsstrom im Inneren des Sensors, um ihren Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern.

Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Drucksensor, dessen Messwerte vom Gastyp abhängen. Vorsicht ist geboten, da schwerere Gase eine geringe Wärmeleitfähigkeit aufweisen und die standardmäßigen konvektionsverstärkten Pirani-Manometer für Stickstoff (N₂) kalibriert sind (im Prinzip dieselbe Kalibrierung wie für Luft). Dies kann beim Rückfüllen eines Vakuumsystems mit einem schwereren Gas wie Argon zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Messwert des Manometers nicht an den korrekten Gastyp anpasst. Beispielsweise zeigt ein standardmäßig für Stickstoff kalibriertes Manometer 24 Torr an, wenn sich in der Kammer 760 Torr Argon befinden. Der Bediener würde fälschlicherweise annehmen, dass sich die Kammer noch im Vakuum befindet, und den Druck im System weiter bis zu einem kritischen Überdruck erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann eine fehlerhafte Montage des konvektionsverstärkten Pirani-Manometers sein. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine bodennahe Montage. Dadurch wird sichergestellt, dass der Konvektionsstrom im Inneren des Sensors in die vorgesehene Richtung fließt (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konvektionsoptimierte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird).

Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt kurzzeitig (für einige Sekunden) zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell abgepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Sensordraht nicht durch normale Konvektion, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck rapide sinkt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dadurch entsteht ein zusätzlicher Weg zur Wärmeabfuhr vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Systemevakuierung fälschlicherweise hohe Drücke von bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasstrom gestoppt ist, stabilisiert sich der Messwert wieder auf einen realistischen Wert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuummanometer, das Drücke von Atmosphärendruck bis 1 × 10⁻⁴ Torr messen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.