MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC) digital gesteuert, Bereich von 1 bis 50 sccm, RS-485 serielles Kommunikationsprotokoll, 4 VCR-Stecker.
MKS-Teilenummer: GM50A015501R5M020. Der Massendurchflussregler MKS GM50A ist für die Regelung von O2 oder Äquivalenten konfiguriert und verfügt über einen Durchflussbereich von 50 sccm und einen Regelbereich von 1 bis 50 sccm. Er verfügt über einen seriellen RS-485-Kommunikationsanschluss, ein 0-5 VDC- oder 4 bis 20 mA-Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal und männliche Swagelok® 4 VCR®-Eingangs- und Ausgangsanschlüsse. Die typischen Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Sollwertgenauigkeit von 1 % für das Kalibriergas.
Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die zugegriffen werden kann, indem das MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder Computer angeschlossen wird. Mit der E-Diagnostics-Anwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten aufzeichnen und Variablen auswählen.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company