MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC), digital gesteuert, Bereich von 10 bis 500 sccm, 15-poliger D-Subminiatur, 4 VCR-Stecker.
MKS-Teilenummer: GM50A013502RMM020. Der MKS GM50A Massendurchflussregler kann für die Steuerung einer breiten Palette von Gasen aus sicheren Lieferquellen (SDS) konfiguriert werden. Eingangs- und Ausgangsanschlüsse sind Swagelok® 4 VCR®. Es verfügt über einen vollen Durchflussbereich von 500 sccm und einen Regelbereich von 10 bis 500 sccm, einen 15-poligen D-Subminiatur-Anschluss mit gebundener Masse und ein Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal von 0–5 VDC. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Genauigkeit von 1 % des Sollwerts für das Kalibriergas. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden.
Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die Sie zugreifen können, indem Sie den MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder einen Computer anschließen. Mit der E-Diagnostics-Anwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten grafisch darstellen und Variablen auswählen.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company