Das Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA ist ein kompaktes Massenspektrometer, das bei der Bestimmung der Identität und Konzentration von Restgasen in einer Vakuumkammer helfen kann. Es kann zur Leckerkennung, Ausgasungsanalyse, Qualitätskontrolle des Speisegases bei Beschichtungs- und Ätzanwendungen, zur Fehlerbehebung bei Prozessen und mehr verwendet werden.
Der direkt an eine Kammer angeschlossene RGA ist für den Dauerbetrieb bei Gesamtdrücken unter 1×10
-6 Torr und optimal bei etwa 2×10
-7 Torr ausgelegt. Der Betrieb des RGA bei höheren Drücken führt zu einer drastisch verkürzten Lebensdauer von Ionisator, Filament und Quadrupol. Die eingebauten Manometer des AnalyzaVAC werden sowohl intern als auch in der mitgelieferten AutoZ
+ -Software verwendet, um (in den meisten Fällen) tödliche Schäden am RGA zu verhindern.
Um Gase in einer Kammer bei mittlerem Vakuum bis Atmosphärendruck zu messen, muss der RGA in einer separaten, kleinen Kammer mit einem eigenen Hochvakuum-Pumpsystem platziert werden. Das RGA-Vakuumsystem wird dann über ein Leckventil mit der Kammer verbunden, was es dem RGA ermöglicht, Gase in der Hauptkammer zu entnehmen und gleichzeitig ein hohes Vakuum um die empfindliche Quadrapolsonde herum aufrechtzuerhalten.
Dieses Kit enthält alles, was Sie benötigen, um mit einem RGA Gase bei höheren Drücken zu messen.
Komponenten und Funktionen:- Idealer VakuumanalyzaVAC RGA.
- 1-200 AMU-Scanbereich.
- Elektronenvervielfacher-Signalverstärker.
- Faradayscher Becherdetektor.
- Das eingebaute Pirani-Manometer verhindert das Einschalten der RGA bei hohen Drücken.
- Eingebauter Heißkathoden-Ionenmesser für schnelle Hochvakuum-Druckmessung.
- Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS Turbomolekularpumpstation mit Ein-Schalter-Hochvakuumbetrieb.
- Das manuelle variable Leckventil von Agilent ermöglicht die RGA-Probenahme von Kammern von 1000 Torr bis Hochvakuum.
- Geschweißter Verteiler mit Ganzmetalldichtungen für minimale Messverunreinigungen durch andere Gasquellen.
- Ideal Vacuum AutoZ + Basisversion der Software.
Die Kombination der Agilent Varian TPS-Mini-Pumpstation mit dem manuellen Agilent variablen Leckventil ermöglicht eine genaue Gasprobenahme aus Kammern über einen Druckbereich von mindestens 9 Größenordnungen. Allerdings ist ein einzelner Spaltpunkt des Absperrventils nicht für alle Drücke innerhalb des Bereichs geeignet. Um optimale Ergebnisse zu erzielen, sollte das Ventil bei jeder Änderung des Kammerdrucks manuell zurückgesetzt werden. Wenn der Kammerdruck im Vergleich zum aktuellen Betriebsdruck um mehr als eine Größenordnung ansteigt (z. B. während einer Kammerentlüftung), sollte zuerst das Leckventil geschlossen werden, um Schäden an der RGA und dem Pumpsystem zu verhindern. Nachdem die Kammer einen stabilen Druck erreicht hat, sollte der RGA-Ionisator ausgeschaltet und das Ventil wieder geöffnet werden, bis der gewünschte Druck im RGA-Subsystem erreicht ist. Anschließend kann der RGA-Ionisator wieder eingeschaltet und die Messung fortgesetzt werden.
Um das Leckventil über Druckzyklen hinweg an einem bestimmten Risspunkt zu halten, kann der RGA mithilfe eines zusätzlichen
manuellen Balgventils von der Kammer isoliert werden. Über den Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA: Der AnalyzaVAC funktioniert durch Ionisierung der an der Sondenspitze vorhandenen Gase mithilfe von Elektronen, die thermisch von zwei vor Ort austauschbaren thorierten Iridiumfilamenten emittiert werden. Die resultierenden Kationen werden anhand des Masse-Ladungs-Verhältnisses mithilfe einer Kombination aus unterschiedlichen Radiofrequenzen und Gleichspannungen, die an den Quadrupolfilter angelegt werden, getrennt. Die positiv geladenen Ionen wandern durch die Mitte des Quadrupols und werden entweder durch einen Elektronenvervielfacher verstärkt oder direkt vom Faraday-Cup-Detektor am Ende der Sonde erfasst. Jedes Gas erzeugt einen einzigartigen spektralen Fingerabdruck, der eine Kombination aus der natürlichen Isotopenhäufigkeit seiner Elemente und der molekularen Fragmentierung ist, die durch die hochenergetische Elektronenionisierung des RGA verursacht wird.
Alle AnalyzaVAC-Sonden sind mit einem Faraday-Cup-Detektor ausgestattet, der eine wiederholbare, quantitative und hochlineare Erkennung bis zu 1,5×10
-12 Torr
* ermöglicht. Der optionale Elektronenvervielfacher erhöht die Empfindlichkeit für qualitative Messungen auf erstaunliche 6×10
-15 Torr
* . Sowohl die Standarddetektoren als auch die mit Elektronenvervielfachern ausgestatteten Detektoren haben bei ordnungsgemäßer Kalibrierung eine Auflösung von 0,5 AMU bei 10 % Peakhöhe (oder besser).
Die nicht ablaufende Basissoftware AutoZ
+ von Ideal Vacuum ist eine Windows 10-Anwendung, die jedes AnalyzaVAC RGA-System von einem Desktop- oder Laptop-Computer aus steuern kann. AutoZ
+ gibt dem Bediener die Möglichkeit, alle Erfassungsparameter zu steuern. AutoZ
+ bietet Echtzeit-Datenstreaming und ermöglicht Benutzern die Anzeige gesammelter Daten als analoges Spektrum, Massenhistogramm und Trends im Zeitverlauf. Um unerwünschte Peaks und Spektralbeiträge zu entfernen, kann ein Benutzer zuvor gesammelte Spektren als Basisdaten verwenden.
Das optionale Premium-Software-Upgrade AutoZ
+ von Ideal Vacuum umfasst alle Funktionen der Basissoftware und fügt erweiterte Datenprotokollierung, Mittelwertbildung, Spektralanpassung mit Zugriff auf die Substanzbibliothek von Ideal Vacuum sowie die Möglichkeit hinzu, der Bibliothek zusätzliche Verbindungen hinzuzufügen. Premium AutoZ
+ verwendet einen leistungsstarken Algorithmus der kleinsten Quadrate, um die Partialdrücke gängiger Restgase zu berechnen, ihren Beitrag zum aktuell angezeigten Spektrum zu identifizieren und unbekannte Peaks zu isolieren. Premium-Software muss jährlich erneuert werden, andernfalls wird auf die Basisversion zurückgesetzt.
Einige RGA-Anwendungen:- Dichtigkeitsprüfung
- Prozessüberwachung
- Abpump- und Ausheizüberwachung
- Vakuumdiagnose
- Qualitätskontrolle des Speisegases
- Identifizierung von Gasen und Schadstoffen
Bitte lesen Sie vor der Bestellung sorgfältig durch:
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Die AnalyzaVAC-Sonde ist ein empfindliches Instrument. Unsachgemäßer Gebrauch, unsachgemäße Handhabung der Sonde oder Betrieb bei erhöhtem Druck über einen längeren Zeitraum können zu einer Kontamination und Beschädigung der Sonde führen. Daher die Sonde. Nach der Entnahme aus der Originalverpackung besteht keine Garantie.
Für den Agilent TPS Mini Turbo gilt eine vollständige Herstellergarantie. Die Garantie für alle anderen Komponenten bezieht sich auf Produktmängel. Der optimale Gesamtbetriebsdruck des RGA beträgt für die meisten Gase 2×10 -7 Torr. Der Außendruck kann viel höher sein, solange er innerhalb des RGA-Systems mithilfe des variablen Leckventils und des Turbopumpensystems reduziert wird. Der Betrieb bei höheren RGA-Systemdrücken über einen längeren Zeitraum führt zu vorzeitiger Alterung der Sonde, Verlust der Verstärkung, Spektraldrift sowie Durchbrennen von Filament und Ionisator. Der RGA kann in folgenden Druckbereichen für die entsprechenden Zeiträume eingesetzt werden:
10 -4 Torr, mehrere Stunden
10 -5 Torr, mehrere Tage
10 -6 Torr, mehrere Monate
10 -7 Torr, mehrere Jahre
10 -8 Torr, auf unbestimmte Zeit
Organische Dämpfe sollten bei einem doppelt so niedrigen Druck gehalten werden wie atmosphärische Gase, um eine Verunreinigung des Filaments und des Ionisators durch Ruß zu verhindern. Silikondämpfe sollten bei einem Druck gehalten werden, der mindestens zehnmal niedriger ist als der von atmosphärischen Gasen, um Glasablagerungen auf dem Filament und dem Ionisator zu verhindern. Auch ätzende Dämpfe schädigen die RGA stärker als normale Gase. Durch die richtige Drucksteuerung kann der RGA zur Messung dieser Gase verwendet werden, ohne dass kostspielige Reparaturen anfallen. *
Gemessen mit Stickstoffgas, 5 Sekunden Verweilzeit, 1 amu voller Peakbreite, 10 % Höhe, 70 eV Elektronenenergie, 6 eV Ionenenergie und 2 mA Elektronenemission und Berechnung von drei Standardabweichungen vom Grundlinienrauschen.
