Durchführung für elektrische Thermoelemente, Typ K, UHV-geeignet, 2 Paare, mit Steckverbindern, CF 1.33 Thermoelemente vom Typ K (Nickel-Chrom/Nickel-Alumel) sind aufgrund ihrer Genauigkeit, Zuverlässigkeit und geringen Kosten weit verbreitet. Diese robusten Durchführungen sind für Ultrahochvakuum (UHV) geeignet, bis 450 °C ausheizbar und verfügen über eine isolierte CF-Baugruppe mit 1,33 Zoll Durchmesser.
Thermoelement ist die Bezeichnung für elektrische Durchführungen, die häufig in Temperaturmesssystemen eingesetzt werden. Eine Thermoelement-Durchführung misst nicht die Temperatur selbst, sondern leitet das Spannungssignal des Thermoelements aus dem Vakuumsystem zu einem externen Messgerät. Diese Durchführungen nutzen eine Keramik-Metall-Verbindungstechnologie, um verschiedene Metalle der Thermoelementbaugruppen mit hochreinen Aluminiumoxid-Keramikusolatoren zu verlöten. Thermoelement-Durchführungen eignen sich für Ultrahochvakuumanwendungen. Verschiedene Montageoptionen stehen zur Verfügung: Anschweißen, KF, CF, Grundplatte und NPT-Adapter.
Zu den Merkmalen gehören: Übliche Abmessungen: A = 6,7", B = 5,7", C = 1,33"
Durchführungsdurchmesser: 1,33 Zoll CF
Material: Edelstahl, Chromel, Alumel (mit Anschlüssen)
Durchführungen (oder Vakuumdurchführungen) gibt es in vielen Ausführungen. Sie dienen der Übertragung von elektrischen Strömen, Signalen, Flüssigkeiten, Gasen oder mechanischen Bewegungen von außerhalb (Luftseite) in das Innere (Vakuumseite) einer Vakuumkammer zu Geräten innerhalb der Kammer. Die Eintrittsstelle der Durchführung muss über eine geeignete Durchgangsbohrung vakuumdicht verschlossen sein. Die Durchführung kann anschweißbar (aufgeschweißt) oder mit einem CF-, KF- oder ISO-Vakuumflansch an die Vakuumkammer angeschlossen werden.
CF-Conflat-Flansche werden üblicherweise für Prozesse eingesetzt, die extrem hohe Vakuumdrücke bis hinunter zu 10⁻¹² Torr erfordern. Sie werden mittels Schrauben und Muttern mit Kupferdichtungen vakuumdicht verschlossen. Erhältlich sind sie in Größen von 1,33 Zoll (Mini-Conflat), 2,75, 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25, 14 und 16,5 Zoll Außendurchmesser.
KF- oder Schnellflanschanschlüsse eignen sich für hohe Vakuumdrücke bis zu 10⁻⁹ Torr und werden mittels Klemmen und Elastomer-O-Ringen vakuumdicht verschlossen. Sie sind in den Größen KF10, KF16, KF25, KF40 und KF50 erhältlich.
ISO- oder Großflansche eignen sich für hohe Vakuumdrücke bis zu 10⁻⁶ Torr und werden mittels Schrauben und Muttern (bei Flanschen mit Schraubenlöchern) oder Klauenklemmen (bei Flanschen mit glatten Dichtflächen und ohne Schraubenlöcher) vakuumdicht verschlossen. Sie verwenden Elastomer-O-Ringe zur Vakuumabdichtung. Erhältlich sind sie in den Größen 63 mm, 80 mm, 100 mm, 160 mm, 200 mm, 250 mm, 320 mm, 400 mm, 500 mm und 630 mm. Alle Flansche bestehen aus korrosionsbeständigem Edelstahl.
Es gibt Tausende von Durchführungen, und die Auswahl der richtigen Durchführung für Ihren spezifischen Vakuumprozess kann sehr schwierig sein. Wenn Sie Fragen zu Ihren Anforderungen haben, kontaktieren Sie bitte unsere Ingenieure. Wir helfen Ihnen gerne, die passenden Durchführungen für Ihren Vakuumprozess zu finden. Wir sind spezialisiert auf außergewöhnliche, kundenspezifische Durchführungen, Vakuumkammern und Zubehör. Rufen Sie uns bitte unter +1 505-872-0037 an.
Stromdurchführungen sind elektrische Durchführungen, die Strom von der Atmosphäre (außen) ins Vakuum (innen) übertragen. Sie bestehen aus einem oder mehreren Leitern, die in die Wände der Vakuumkammer eingeführt werden. Die Leiter sind mit einem elektrischen Isolator abgedichtet, der entweder an einen Vakuumflansch oder eine Grundplatte geschweißt oder über diese angeschlossen ist. Als Leitermaterial dienen Drähte, Stäbe oder Rohre. Die Wahl des Leitermaterials hängt von Stromstärke, Korrosionsbeständigkeit und Magnetismus ab. Zu berücksichtigen sind Betriebsspannung, Maximalstromstärke, Basisdruck und die Umgebungsbedingungen. Spannung und Stromstärke dürfen niemals unterdimensioniert sein, da dies zu Lichtbögen, Schmelzen oder einem Durchschlag des Isolators führen kann. Bei Fragen zur Auswahl kontaktieren Sie uns bitte.
THERMOELEMENT: Eine Thermoelement-Durchführung ist ein robuster und kostengünstiger Temperatursensor, der in einer Vielzahl von Temperaturmessverfahren eingesetzt wird. Werden zwei Drähte aus unterschiedlichen Metallen an beiden Enden verbunden und eines der Enden erhitzt, fließt ein kontinuierlicher Strom im thermoelektrischen Kreis. Wird dieser Kreis in der Mitte unterbrochen, hängt die resultierende Leerlaufspannung (Seebeck-Spannung) von der Temperatur der Verbindungsstelle und der Zusammensetzung der beiden Metalle ab. Das bedeutet, dass beim Erhitzen oder Abkühlen der Verbindungsstelle der beiden Metalle eine Spannung erzeugt wird, die mit der Temperatur korreliert werden kann. Bei korrekter Konfiguration ermöglichen Thermoelemente Messungen über einen weiten Temperaturbereich.
Sie können ein oder mehrere Drahtpaare enthalten und über angeformte Stecker, Steckverbinder, geteilte Verbinder sowie innen (Vakuum) oder außen (Atmosphäre) über Kabelschuhe oder Schraubverbinder verfügen. Zu berücksichtigen sind der Temperaturbereich, die Anzahl der Messpunkte, das Mantelmaterial, der Drahtdurchmesser, die Metallart und die Stromleiter innerhalb derselben Durchführung. Es gibt viele Arten von Thermoelement-Durchführungen aus verschiedenen Metallen mit unterschiedlichen Temperaturbereichen. Bei Fragen zur Auswahl rufen Sie uns bitte an.
INSTRUMENTIERUNG: Instrumentierungsdurchführungen, auch Mehrpol-Durchführungen genannt, übertragen elektrische Signale und/oder Anwendungen mit geringer Leistung durch die Vakuumwand. Sie werden in Instrumentierungsanwendungen wie Elektronenmikroskopie, Oberflächenanalyse und Halbleiterprozesssteuerung eingesetzt. Sie können aus elektrischen Steckverbindern mit Stiften oder Koaxialkabeln auf beiden Seiten der Vakuumwand bestehen, innerhalb (Vakuum) oder außerhalb (Atmosphäre). Vor der Auswahl sollten Sie folgende Faktoren berücksichtigen: maximale Spannung zwischen Kabel und Schirmung, maximale Spannung zwischen Schirmung und Masse, Signalspannung, Erdung, Impedanz, Temperaturbereich, Anzahl der Anschlüsse, Steckverbindertyp usw. Achten Sie bei der Bestellung unbedingt darauf, ob die richtigen Steckverbinder mitgeliefert werden. Es gibt viele verschiedene Arten von Instrumentierungsdurchführungen. Bei Fragen kontaktieren Sie uns bitte.
FLÜSSIG oder GAS: Flüssigkeits- oder Gasdurchführungen leiten ein Gas oder eine Flüssigkeit in ein vakuummontiertes Gerät oder eine Kammer. Dieses Gas oder diese Flüssigkeit kann eine bestimmte Temperatur in der evakuierten Kammer aufrechterhalten. Die Durchführungen sind mit CF- oder KF-Flanschen oder Grundplattenanschlüssen erhältlich, an die ein oder mehrere Rohre durch Durchgangsbohrungen geschweißt sind. Die Rohre ragen beidseitig aus dem Flansch/Grundplattenanschluss heraus. Sie sind in verschiedenen Durchmessern erhältlich und oft mit einem kleinen Flansch oder einer Gasverschraubung versehen. Zu beachten sind: Flansche, die zu ungenutzten Flanschen an den Gerätewänden passen, die Anzahl der Durchführungen, der Rohrdurchmesser, die Größe der Durchführungsöffnungen und die Kompatibilität der Anschlüsse mit den Komponenten auf beiden Seiten. Bei Fragen kontaktieren Sie uns bitte.
DREHBEWEGUNG: Rotationsantriebe sind luftseitige Wellen, die eine vakuumseitige Welle drehen. Es gibt verschiedene Arten von Rotationsantrieben, die sich durch Betätigungsmechanismus, Vakuumdichtung, kompatiblen Druckbereich und Anwendung unterscheiden. Zwei Typen sind elastomergedichtet mit doppelten O-Ringen und ferrogedichtet mit Ferrofluid-O-Ring-Technologie für höhere Drehzahlen und Drehmomente. Rotationsantriebe ermöglichen wiederholgenaue Bewegungen oder Grobpositionierung und können Dreh-, Linear- oder kombinierte Bewegungen ausführen. Verschiedene Betätigungsarten sind verfügbar, von manueller Drehung über pneumatische bis hin zu elektrischer Motorisierung. Bei Fragen rufen Sie uns bitte an.
ZUBEHÖR: Für Durchführungen kann zusätzliches Zubehör erforderlich sein. Wir führen Kabel, elektrische/Koaxial-Steckverbinder und Stifte für den Innen- und Außenbereich Ihrer Vakuumkammer. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welches Zubehör Sie benötigen, rufen Sie uns bitte an.
KUNDENSPEZIFISCHE FÜLLUNGEN: Die Auswahl der passenden Durchführung für Ihren Vakuumprozess kann eine schwierige Aufgabe sein. Wir unterstützen Sie dabei. Wir sind außerdem auf die Entwicklung und Fertigung individueller Durchführungen für Ihren spezifischen Vakuumprozess spezialisiert. Ob Unterstützung bei der Auswahl oder die Fertigung einer neuen Durchführung – unsere Techniker und Ingenieure setzen ihr Know-how ein, um Ihre Prozessziele schneller zu erreichen. Rufen Sie uns noch heute unter +1 505-872-0037 an.
