Ideal Vacuum AnalyzaVAC Restgasanalysator (RGA), 1–100 AMU ohne Elektronenvervielfacher, Faraday-Cup-Detektor, AutoZ+ Basic-Software inklusive.

Dieses Angebot gilt für den Verkauf des Ideal Vacuum AnalyzaVAC Restgasanalysators mit den folgenden Komponenten:

• Ideal Vacuum AnalyzerzaVAC RGA
• 1–100 AMU-Scanbereich.
• Faradayscher Becherdetektor.
• Eingebautes Pirani-Messgerät zur Grobvakuummessung.
• Eingebautes Heißkathoden-Ionenmessgerät für Hochvakuummessungen.
• Conflat (CF) 2,75-Zoll-Montageflansch.

Dazu zählt:

• 24 VDC Universalnetzteil (120/240 VAC Eingang) und 6' Kabel.
• Serielles Kommunikationskabel USB auf DB-9-Stecker RS-232, 1 Fuß lang.
• Serielles RS-232-Verlängerungskabel, DB-9-Stecker auf Buchse, 25 Fuß lang.
• CF 2,75-Zoll-Kupferdichtungs- und Bolzensatz.
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺ Software-Basisversion.

Das Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA ist ein kompaktes Massenspektrometer, das bei der Bestimmung der Identität und Konzentration von Restgasen in einer Vakuumkammer helfen kann. Es kann zur Lecksuche, Ausgasungsanalyse, Qualitätskontrolle des Speisegases bei Beschichtungs- und Ätzanwendungen, Prozessfehlerbehebung und mehr verwendet werden. Die AnalyzaVAC RGA-Sonde verfügt über ein eingebautes Pirani-Messgerät und ein Bayard-Alpert-Heißkathodenmessgerät, die sie vor einem Betrieb bei ungeeignet hohem Druck schützen, die Systemkomplexität reduzieren und kostspielige Wartung vermeiden. Jedes System wird komplett mit einer Quadrupolsonde, einer Steuer- und Kommunikationseinheit (CCU), der AutoZ ⁺ Basic-Software für Microsoft Windows® 10 und allen erforderlichen Kabeln für Stromversorgung und Kommunikation geliefert.

Das AnalyzaVAC funktioniert, indem es die an der Sondenspitze vorhandenen Gase mithilfe von Elektronen ionisiert, die thermoionisch von zwei vor Ort austauschbaren thorierten Iridiumfilamenten emittiert werden. Die resultierenden Kationen werden anhand des Masse-Ladungs-Verhältnisses mithilfe einer Kombination aus unterschiedlichen Radiofrequenzen und Gleichspannungen, die an den Quadrupolfilter angelegt werden, getrennt. Die positiv geladenen Ionen wandern durch die Mitte des Quadrupols und werden entweder durch einen Elektronenvervielfacher verstärkt oder direkt vom Faraday-Cup-Detektor am Ende der Sonde erfasst. Jedes Gas erzeugt einen einzigartigen spektralen Fingerabdruck, der eine Kombination aus der natürlichen Isotopenhäufigkeit seiner Elemente und der Molekülfragmentierung ist, die durch die hochenergetische Elektronenionisierung des RGA verursacht wird.

Der RGA ist für den Dauerbetrieb bei Gesamtdrücken unter 1×10 ^-6 Torr und optimalerweise um 2×10 ^-7 Torr ausgelegt. Der Betrieb des RGA bei höheren Drücken führt zu einer drastisch reduzierten Lebensdauer von Ionisator, Filament und Quadrupol. Die eingebauten Druckmesser werden sowohl intern als auch in der AutoZ ⁺ -Software verwendet, um (in den meisten Fällen) schwerwiegende Schäden am RGA zu verhindern.

Obwohl die RGA-Sonde direkt in einer Hochvakuumkammer montiert werden kann, empfiehlt es sich, den RGA mithilfe eines Schlauchstücks und eines Absperrventils von der Kammer zu isolieren. Dies verhindert Verunreinigungen oder versehentliche Schäden, wenn die Kammer belüftet wird oder wenn eine neue Probe oder ein neues Gerät eingeführt wird. Wenn der RGA zum Messen von Gasen in einer Grobvakuumkammer verwendet wird, sollte der RGA in einer kleinen separaten Kammer mit eigenem Hochvakuumpumpsystem aufbewahrt werden, das über ein Leckventil mit der Hauptkammer verbunden ist. Ideal Vacuum bietet RGA-Kits mit allen erforderlichen Geräten zum sicheren Messen von Gasen bei Drücken bis zu 1000 Torr an.

Alle AnalyzaVAC-Sonden sind mit einem Faraday-Cup-Detektor ausgestattet, der eine wiederholbare, quantitative und hochlineare Detektion bis zu 1,5×10 ^-12 Torr ^** ermöglicht. Der optionale Elektronenvervielfacher erhöht die Empfindlichkeit für qualitative Messungen auf erstaunliche 6×10 ^-15 Torr ^** . Sowohl die Standarddetektoren als auch die mit einem Elektronenvervielfacher ausgestatteten Detektoren haben bei richtiger Kalibrierung eine Auflösung von 0,5 AMU bei 10 % Spitzenhöhe (oder besser).

Die unbegrenzte Basissoftware AutoZ ⁺ von Ideal Vacuum ist eine Windows 10-Anwendung, mit der jedes AnalyzaVAC RGA-System von einem Desktop- oder Laptop-Computer aus gesteuert werden kann. AutoZ ⁺ gibt dem Bediener die Möglichkeit, alle Erfassungsparameter zu steuern. AutoZ ⁺ bietet Datenstreaming in Echtzeit und ermöglicht Benutzern, erfasste Daten als analoges Spektrum, Massenhistogramm und Trends im Zeitverlauf anzuzeigen. Um unerwünschte Spitzen und Spektralbeiträge zu entfernen, kann ein Benutzer zuvor erfasste Spektren als Basisdaten verwenden.

Das optionale Premium-Software-Upgrade AutoZ ⁺ von Ideal Vacuum umfasst alle Funktionen der Basissoftware und ergänzt diese um erweiterte Datenprotokollierung, Mittelwertbildung, Spektralanpassung mit Zugriff auf die Substanzbibliothek von Ideal Vacuum und die Möglichkeit, der Bibliothek weitere Verbindungen hinzuzufügen. Premium AutoZ ⁺ verwendet einen leistungsstarken Algorithmus der kleinsten Quadrate, um die Partialdrücke gängiger Restgase zu berechnen, ihren Beitrag zum aktuell angezeigten Spektrum zu ermitteln und unbekannte Peaks zu isolieren. Die Premium-Software muss jährlich erneuert werden, andernfalls wird sie auf die Basisversion zurückgesetzt.

Einige RGA-Anwendungen:

• Dichtigkeitsprüfung
• Prozessüberwachung
• Pump-Down- und Ausheizüberwachung
• Vakuumdiagnose
• Qualitätskontrolle des Speisegases
• Identifizierung von Gasen und Verunreinigungen

Bitte vor der Bestellung sorgfältig lesen:
* Die AnalyzaVAC-Sonde ist ein empfindliches Instrument. Unsachgemäßer Gebrauch, falsche Handhabung der Sonde oder Betrieb bei erhöhtem Druck über längere Zeiträume können sie verunreinigen und beschädigen. Daher besteht für die Sonde nach dem Entfernen aus der Originalverpackung keine Garantie mehr. Für alle anderen Komponenten gilt die Garantie für Produktfehler.

Der optimale Gesamtbetriebsdruck des RGA beträgt für die meisten Gase 2×10 ^-7 Torr. Ein Betrieb bei höheren Drücken über längere Zeiträume führt zu vorzeitiger Alterung der Sonde, Verlust der Verstärkung, Spektraldrift und Durchbrennen von Glühfaden und Ionisator. Der RGA kann in den folgenden Druckbereichen für die entsprechenden Zeiträume verwendet werden:
10 ^-4 Torr, mehrere Stunden
10 ^-5 Torr, mehrere Tage
10 ^-6 Torr, mehrere Monate
10 ^-7 Torr, mehrere Jahre
10 ^-8 Torr, unbegrenzt
Organische Dämpfe sollten bei einem 2x niedrigeren Druck als atmosphärische Gase gehalten werden, um eine Rußverunreinigung des Glühfadens und des Ionisators zu verhindern. Silikondämpfe sollten bei einem mindestens 10x niedrigeren Druck als atmosphärische Gase gehalten werden, um eine Glasablagerung am Glühfaden und Ionisator zu verhindern. Korrosive Dämpfe sind für den RGA außerdem schädlicher als normale Gase. Durch eine ordnungsgemäße Druckregelung kann der RGA zur Messung dieser Gase verwendet werden, ohne dass kostspielige Reparaturen erforderlich sind.

** Gemessen mit Stickstoffgas, 5 Sekunden Verweilzeit, 1 amu voller Peakbreite, 10 % Höhe, 70 eV Elektronenenergie, 6 eV Ionenenergie und 2 mA Elektronenemission und Berechnung von drei Standardabweichungen vom Basislinienrauschen.