MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC) analog gesteuert, Bereich von 4 bis 200 sccm, 15-poliger D-Subminiatur.
MKS-Teilenummer: GM50A013202RMM020. Der Massendurchflussregler MKS GM50A kann so konfiguriert werden, dass er eine Vielzahl von Gasen für sichere Lieferungen (Safe Delivery Source Gases, SDS) steuert. Die Eingangs- und Ausgangsanschlüsse sind Swagelok® 4 VCR®-Stecker. Er verfügt über einen Durchflussbereich von 200 sccm und einen Regelbereich von 4 bis 200 sccm, einen 15-poligen D-Subminiatur-Stecker mit verbundenen Erdungen und ein 0-5 VDC-Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal. Die typischen Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company