Edwards STP-451 3-Achsen-Magnetlager-Ultrahoch-Turbomolekularpumpe, DN160CF CF 8 Zoll, B74841010

Dieses Angebot gilt für die neue 3-Achsen-Magnetlager-Ultrahochturbomolekularpumpe STP-451 von Edwards. Zur Verwendung mit der Edwards SCU-350-Steuereinheit, Pumpgeschwindigkeit von 480 Litern pro Sekunde (l/s) Stickstoff, DN160CF CF 8 Zoll Einlassflansch, ISO KF-25 Auslassvorleitungsflansch und KF-10 Spülanschluss mit Das Korrosionsmodell. Ein einfaches Pumpensystem würde eine Edwards STP-451-Pumpe, einen SCU-350-Controller, ein Wasserkühlungszubehör und eine geeignete Vorvakuumpumpe erfordern. Die Turbomolekularpumpe STP-451 von Edwards bietet praxiserprobte Zuverlässigkeit für den Einsatz in Elektronenmikroskopen, wissenschaftlichen Instrumenten und Halbleiteranwendungen.

Die STP-451 ist eine Serie magnetisch schwebender Turbomolekularpumpen. Die STP-Pumpe ist so konfiguriert, dass Rotorblatt und Statorblatt abwechselnd in axialer Richtung ausgerichtet sind. Durch die Hochgeschwindigkeitsrotation des Rotors werden Gasmoleküle vom Einlass zum Auslass gepumpt. Das Rotorblatt wird durch das Magnetlager ohne mechanischen Kontakt getragen. Daher benötigt die STP-Pumpe im Gegensatz zu herkömmlichen Turbomolekularpumpen mit Kugellagern kein Schmieröl. Das Magnetlager besteht aus 3 Paar aktiven Magnetlagern. Der Rotor wird in radialer Richtung von zwei Paaren aktiver Magnetlager in radialer Richtung getragen, die aus einem radialen Sensor und einem radialen Elektromagneten bestehen. Ein Paar aktiver Magnetlager in axialer Richtung besteht aus einem axialen Sensor und einem axialen Elektromagneten, um den Rotor in axialer Richtung zu stützen. Da der Rotor so ohne mechanischen Kontakt gelagert ist, kann er sich sehr vibrationsarm drehen.

Da es keine Reibung gibt, entsteht bei Magnetlagern weniger Wärme. Daher benötigt die STP-Pumpe keine Kühlung. Allerdings erfordert die STP-Pumpe beim Backen, Gaspumpen oder anderen Prozessen eine Wasserkühlung oder Luftkühlung. Unter Berücksichtigung eines Bruchs von Magnetlagern wurden Aufsetzlager und eine Beschichtung mit Feststoffschmierung eingebaut. Im Nennbetrieb berühren sie den Rotor nicht. Ein Radialsensor, ein Axialsensor, ein Drehzahlsensor und ein Temperatursensor überwachen stets das Magnetlager sowie den Rotor. Wenn eine Anomalie/ein Fehler auftritt, stoppt der Rotor.

Um eine hohe Korrosionsbeständigkeit zu gewährleisten, verfügen die korrosionsbeständigen Modelle STP (C) über vernickelte Rotoren/Statoren und Pumpeneinbauten, die für Ionenimplantation und Plasmaätzen geeignet sind. Diese korrosionsbeständigen Pumpen verfügen über eine KF10-Stickstoffspüleinrichtung. Ein konstanter Stickstoffstrom durch die Pumpe verdünnt korrosive Gase und minimiert so deren Beschädigung des Pumpenmotors und der Sensorspulen. Sämtliches Zubehör für diese Pumpe ist auf dieser Website erhältlich oder rufen Sie 505-872-0037 an, um weitere Informationen zu erhalten. Vollständige Spezifikationen finden Sie in der Grafik unten oder laden Sie das STP-Handbuch.pdf unter VERFÜGBARE DOWNLOADS unten herunter.