Ebara ESR20N-HT Mehrstufige Trockenvakuumpumpe, Pumpgeschwindigkeit 45 bis 70 CFM (1300 – 2000 l/m), mit beheiztem Schalldämpfer, saubere bis mittelschwere Prozesse, wassergekühlt, 3-phasig, 200–220 V, 60 Hz.
Ebara-Teilenummer: 203537. Die Ebara ESR-Serie (Energy Saving Roots) umfasst mehrstufige Trockenvakuumpumpen für Anwendungen von sauberen bis mittelschweren Prozessen. Die Ebara ESR-Serie deckt einen breiten Saugleistungsbereich von 35 bis 1.625 CFM bei einem Enddruck von nur 1 mTorr ab. Dieses Angebot gilt für die Ebara ESR20N-HT Mehrstufen-Trockenvakuumpumpe, 120 cfm 2000 l/min, mit beheiztem Schalldämpfer, für saubere bis mittelschwere Prozesse, wassergekühlt, 200-220 V / 3-phasig, Bestellnummer: 203537.
Anwendungen
- Sputtern
- PVD
- Ladeschleuse und Transfer
- Veraschung
- Ionenimplanter
- Ätzen
- Saubere Gase und Prozesse
Vorteile und Merkmale der trockenen Drehkolbenpumpen der Ebara ESR-Serie.
- Ölfrei
- Niedrige Betriebskosten [Strom, N2, Wasser, Stellfläche, Volumen, Gewicht]
- Für ESR20N ist bei sauberen Anwendungen keine Stickstoffspülung erforderlich
- Variable Pumpgeschwindigkeit zur Anpassung an die Anwendungsanforderungen
- Hochleistungs-bürstenlose Gleichstrommotoren
- Modernste Steuerungs- und Überwachungsgeräte
- Der Leerlaufmodus kann für höhere Energieeinsparungen genutzt werden
- SEMI S2-zertifiziert, NRTL-gelistet, CE-gekennzeichnet
