Ebara ESR20N-HT mehrstufige Trockenvakuumpumpe, Pumpgeschwindigkeit 45 bis 70 CFM (1300 - 2000 l/m), mit beheiztem Schalldämpfer, saubere bis mittelschwere Prozesse, wassergekühlt, dreiphasig, 200-220 V, 60 Hz.
Ebara-Teilenummer: 203537. Die Ebara ESR-Serie (Energy Saving Roots) sind mehrstufige Trockenvakuumpumpen, die für Anwendungen von sauberen bis zu mittelschweren Prozessen entwickelt wurden. Die Ebara ESR-Serie deckt einen weiten Pumpgeschwindigkeitsbereich von 35 bis 1.625 CFM mit einem Enddruck von nur 1 mTorr ab. Dieses Angebot gilt für den Verkauf der mehrstufigen Trockenvakuumpumpe Ebara ESR20N-HT, 120cfm 2000l/m, mit beheiztem Schalldämpfer, saubere bis mittelschwere Prozesse, wassergekühlt, 200-220 V / 3 Ph, PN: 203537.
Anwendungen
- Sputtern
- PVD
- Ladeschleuse und Umladung
- Veraschung
- Ionenimplantierer
- Ätzen
- Saubere Gase und Prozesse
Vorteile und Merkmale der trockenen Drehkolbenpumpen der Ebara EV-A-Serie.
- Niedrige Betriebskosten [Strom, N2, Wasser, Stellfläche, Volumen, Gewicht]
- Für ESR20N ist bei sauberen Anwendungen keine Stickstoffspülung erforderlich
- Variable Pumpgeschwindigkeit passend zu den Anwendungsanforderungen
- Hochleistungsfähige bürstenlose Gleichstrommotoren
- Modernste Steuerungs- und Überwachungsgeräte
- Der Leerlaufmodus kann zur Erhöhung der Energieeinsparungen genutzt werden
- SEMI S2-zertifiziert, NRTL-gelistet, CE-gekennzeichnet