Agilent Varian Turbo-V 1001 Turbomolekular-Vakuumpumpe, Conflat CF 10 Zoll Einlassflansch, Pumpgeschwindigkeit 950 L/S, PN: 9698932

Diese Agilent Varian Turbo-V 1001 Turbomolekular-Hochvakuumpumpen verfügen über einen Conflat 10-Zoll-Einlassflansch, einen Enddruck von 1x10-10 Torr und die Agilent Varian Teilenummer 9698932. Die Turbo-V 1001 Turbopumpen bieten maximale Leistung bei minimalen Kosten und Größe, mit einer Saugleistung von 950 l/s Stickstoff (N2). Wir empfehlen eine Primärpumpengröße von nur 14 CFM (z. B. trockene Scroll-Vakuumpumpen IDP-15 oder Drehschieber-Vakuumpumpen DS402), die für den Betrieb des Turbo V 1001 in allen seinen Pumpprofilen verwendet werden kann. Bei den Turbo-V 1001 handelt es sich um Verbundpumpen, die über die MacroTorr-Drag-Stage-Technologie verfügen, um hohe Verdichtungsverhältnisse für leichte Gase zu erreichen und den Durchsatz der Pumpe zu maximieren. Die Turbopumpen Agilent Varian Turbo-V 1001 mit Conflat-Einlass sind echte Ultrahochvakuumpumpen (UHV) mit einem Enddruck von nur 1x10-10 Torr, wenn sie richtig verwendet werden. Die Conflat-Versionen dieser Pumpen ermöglichen beispielsweise die Ansaugflansch bis 120 Grad Celsius ausheizen.

Per Definition ist bei der Navigator-Version des Turbo-V 1001 der Turbopumpen-Controller lokal unterhalb der Turbopumpe montiert. Die Teilenummer des Navigator-Controllers lautet 9698978. Wenn der Turbo-V 1001 jedoch stattdessen von seinem Rack-Controller angetrieben wird, Sie heißt nicht Navigator, sondern einfach Turbo V 1001 Turbopumpe. Der Rack-Controller hat die Agilent-Teilenummer X3501-64003. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigatoren (mit unterhalb der Pumpe montiertem Controller) werden häufig in viele analytische Instrumentierungsanwendungen integriert, darunter Elektronenmikroskopie (REM, TEM), fokussierte Ionenstrahlsysteme (FIB) und Oberflächenanalyse. Moderne fokussierte Strahlsysteme wie z SEMs, TEMs und FIBs verwenden Säulen, die Elektronen oder Ionen zur detaillierten Analyse auf mikroskopische Proben projizieren. Diese Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator-Turbopumpen sind eine Schlüsselkomponente in modernen Systemen mit fokussiertem Strahl, da sie eine schnelle, ölfreie Luftevakuierung großer Probenkammern ermöglichen (ölfreier Betrieb ist eine Schlüsselanforderung vieler moderner Analyseanwendungen wie z Halbleiterfertigung).

Merkmale des Agilent Varian Turbo-V 1001:

• Hohe Kompressionsverhältnisse für leichte Gase ermöglichen den Betrieb bei niedrigem Basisdruck
• Kohlenwasserstofffrei für ein sauberes Vakuumsystem
• Die Fernbedienung ermöglicht die Bedienung aus einer Entfernung von 100 m
• Die Montage in jeder Position ermöglicht eine einfache Integration
• Wartungsfreie Lager ohne Betriebskosten
• Bereit für die kabellose Steuerung über die Vacuum Link-App für den Pumpenbetrieb unterwegs
• Strahlungs- und magnetfeldsichere Ausführung
• Keine eingebettete Elektronik ermöglicht den Betrieb in anspruchsvollen Magnetfeld- und Strahlungsumgebungen
• Die geringe elektromagnetische Emission garantiert keine Beeinträchtigung des Anwendungsprozesses
• Geringe Vibrations- und Geräuschpegel für keinerlei Auswirkungen auf das System

Agilent Varian Turbo-V 1001 Spezifikationen:

• Betriebsumgebungstemperatur: +5 bis +35 °C
• Umgebungstemperatur bei Lagerung: -20 bis +70 °C
• Basisdruck: <1 x 10-10 Torr
• Kompressionsverhältnis H2: 1 x 10^6
• Flanschtyp: Conflat 10 Zoll
• Größe des Vorleitungsflansches: KF 40 NW
• Maximaler Gasdurchsatz – Ar, Wasserkühlung: 7,5 mbar L/s; 444 sccm
• Maximaler Gasdurchsatz – N2, Wasserkühlung: 10 mbar L/s; 592 sccm
• Geräuschpegel: 45 dB(A)
• Nenndrehzahl: 38 KRPM
• Betriebsposition: Beliebig
• Saugvermögen – H2: 900 l/s (CF 10 Zoll Flansch)
• Saugvermögen – He: 870 l/s (CF 10 Zoll Flansch)
• Saugvermögen – N2: 950 l/s (CF 10 Zoll Flansch)
• Empfohlene Vorpumpenleistung: 15 m³/h
• Startzeit: < 4 Min
• Gewicht: 21,2 kg