理想真空超高真空 UHV 气动闸阀 Conflat CF 2.75 英寸法兰，连杆锁定，Viton 闸门和铜阀盖密封件，304 不锈钢。 CF 2.75 英寸螺栓固定法兰，带 1/4-28 UNF 螺纹，簧片开关位置指示器。这些 Ideal Vacuum UltraLock™ 气动闸阀具有 Conflat CF 2.75 英寸 (DN CF35) 真空法兰，带有 1/4-28 UNF 盲孔。它们的额定值为超高真空 (UHV)，并遵循 ISO 3669:2020 中所述的刀口法兰真空技术标准。这些小型气动真空闸阀采用杠杆连杆锁定机构制成，可在失去动力或气压时保持阀门锁定关闭。这些 UHV 闸阀在需要维修前的典型使用寿命为 100,000 次循环，并采用耐腐蚀 304 不锈钢闸板和阀体制成。包括打开和关闭干簧传感器位置开关。位置传感器可用于激活指示灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。 UHV 与 HV 版本：我们的 Conflat CF 法兰闸阀具有 UHV 等级。波纹管焊接到阀盖板上，无氧高导热率 (OFHC) 铜密封垫片和法兰刀口在阀盖板和阀体之间形成所需的金属对金属密封。我们的 Conflat UHV UltraLock 阀门具有 < 3.75 x 10-10 Torr l/sec 的低泄漏率，并且在浇口打开时可烘烤至 200 °C（在浇口关闭时可烘烤至 150°C）。我们的 KF 和 ISO-F 法兰闸阀使用 Viton O 形圈进行波纹管和阀盖板密封，因此仅限于极限压力低至 3x10-8 Torr 的高真空 (HV) 应用。 KF 和 ISO-F 系列 UltraLock 阀门的泄漏率为 1.5 x 10-9 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。电磁阀：我们为气动阀提供电压为 12 VDC、24 VDC 和 120 VAC 的电磁阀套件。电磁阀套件单独出售，包括电磁阀、带有用于将电磁阀连接到闸阀阀盖法兰上的紧固件的安装支架，以及用于连接闸阀气动装置上的推接式接头之间的柔性 1/4” 外径空气管路气缸和电磁阀。规格：我们的理想真空 UltraLock 闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计，通常与低温泵、涡轮泵和离子高真空泵结合使用。可用尺寸包括 Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10 和 12 英寸尺寸； ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500 和 -630 尺寸；以及快速法兰尺寸 KF-40 和 KF-50。请参阅下载以获取更多信息。

Ideal Vacuum UltraLock 超高真空 UHV 气动闸阀 Conflat CF 4.50 英寸法兰，球槽锁定，Viton 闸门和铜阀盖密封件，304 不锈钢。 CF 4.5 英寸螺栓固定法兰，带 5/16-24 UNF 螺纹，簧片开关位置指示器。这些 Ideal Vacuum UltraLock™ 气动闸阀具有 Conflat CF 4.5 英寸 (DN CF63) 真空法兰，带有 5/16-24 UNF 盲孔。它们的额定值为超高真空 (UHV)，并遵循 ISO 3669:2020 中所述的刀口法兰真空技术标准。我们的新型 UltraLock 系列优质气动真空闸阀采用创新的球槽锁定机构制成，可在失去动力或气压时保持阀门锁定关闭，同时减少磨损并延长使用寿命。这些 UltraLock 闸阀在需要维修前的典型使用寿命为 100,000 次循环，并采用耐腐蚀 304 不锈钢闸门和阀体制成。清晰可见的外部位置指示器和位置传感器开关是所有气动 UltraLock 闸阀的标准配置。UltraLock 锁定机构：我们的 UltraLock 超高真空闸阀采用巧妙的球槽机构来锁定阀门。阀体内有一个带有非润滑滚珠轴承的滚动托架，闸门固定在其上。当阀门启动时，滑架和闸门向真空端口滑动，直到滑架到达阀体的末端。这会将闸门定位为与端口同心。滑架上的持续压力会导致一组不锈钢球在滑架和闸门之间的深度逐渐减小的凹槽中运行，从而对闸门施加向外的压力。该向外的力将门推入其关闭位置。当向外的压力迫使闸门的 O 型圈密封件压在阀体的密封表面上时，就获得了防漏密封。这些阀门在需要维修之前通常会实现 100,000 次循环的延长寿命。 UHV 与 HV 版本：我们的 Conflat CF 法兰闸阀具有 UHV 等级。波纹管焊接到阀盖板上，无氧高导热率 (OFHC) 铜密封垫片和法兰刀口在阀盖板和阀体之间形成所需的金属对金属密封。我们的 Conflat UHV UltraLock 阀门具有 < 3.75 x 10-10 Torr l/sec 的低泄漏率，并且在浇口打开时可烘烤至 200 °C（在浇口关闭时可烘烤至 150°C）。我们的 KF 和 ISO-F 法兰闸阀使用 Viton O 形圈进行波纹管和阀盖板密封，因此仅限于极限压力低至 3x10-8 Torr 的高真空 (HV) 应用。 KF 和 ISO-F 系列 UltraLock 阀门的泄漏率为 1.5 x 10-9 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。位置指示器：我们所有的 UltraLock 系列气动闸阀均配有可见的外部位置指示器 - 白色环方便地安装在气动活塞下方。气动 UltraLock 闸阀还包括安装在阀门气缸上的打开和关闭簧片传感器开关。这些开关可用于激活指示灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。电磁阀：我们为气动阀提供电压为 12 VDC、24 VDC 和 120 VAC 的电磁阀套件。电磁阀套件单独出售，包括电磁阀、带有用于将电磁阀连接到闸阀阀盖法兰上的紧固件的安装支架，以及用于连接闸阀气动装置上的推接式接头之间的柔性 1/4” 外径空气管路气缸和电磁阀。规格：我们的理想真空 UltraLock 闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计，通常与低温泵、涡轮泵和离子高真空泵结合使用。可用尺寸包括 Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10 和 12 英寸尺寸； ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500 和 -630 尺寸；以及快速法兰尺寸 KF-40 和 KF-50。请参阅下载以获取更多信息。

Ideal Vacuum UltraLock 超高真空 UHV 气动闸阀 Conflat CF 6.0 英寸。法兰、球槽锁定、Viton 闸阀和铜阀盖密封件、304 不锈钢。CF 6.0 英寸螺栓固定法兰，带 5/16-24 UNF 螺纹、簧片开关位置指示器。这些 Ideal Vacuum UltraLock™ 气动闸阀具有 Conflat CF 6.0 英寸 (DN CF 100) 真空法兰，带 5/16-24 UNF 盲孔。它们适用于超高真空 (UHV)，并遵循 ISO 3669:2020 中所述的刀口法兰真空技术标准。我们全新的 UltraLock 系列优质气动真空闸阀采用创新的球槽锁定机制制造，可在断电或断气时保持阀门锁定关闭，同时减少磨损并延长使用寿命。这些 UltraLock 闸阀在需要维修之前通常使用寿命为 100,000 次，采用耐腐蚀的 304 不锈钢闸板和阀体制成。所有气动 UltraLock 闸阀都标配易于查看的外部位置指示器和位置传感器开关。UltraLock 锁定机制：我们的 UltraLock 超高真空闸阀采用巧妙的球槽机制来锁定阀门。阀体内有一个滚动托架，带有无润滑滚珠轴承，闸板安装在其上。当阀门启动时，托架和闸板会滑向真空端口，直到托架到达阀体的末端。这使闸板与端口同心。托架上的持续压力会导致一组不锈钢球（位于托架和闸板之间深度减小的凹槽中）对闸板施加向外的压力。这种向外的力将闸板推到关闭位置。当向外的压力迫使闸板的 O 形密封圈压在阀体的密封表面上时，便可获得防漏密封。这些阀门通常可实现 100,000 次循环的延长使用寿命，之后才需要维修。UHV 与 HV 版本：我们的 Conflat CF 法兰闸阀为 UHV 级。波纹管焊接在阀盖板上，无氧、高导热性 (OFHC) 铜密封垫圈和法兰刀口在阀盖板和阀体之间形成所需的金属对金属密封。我们的 Conflat UHV UltraLock 阀门泄漏率低至 < 3.75 x 10-10 Torr l/秒，在闸板打开时可烘烤至 200°C（闸板关闭时可烘烤至 150°C）。我们的 KF 和 ISO-F 法兰闸阀使用 Viton O 形圈作为波纹管和阀盖板密封，因此仅限于极限压力低至 3x10-8 Torr 的高真空 (HV) 应用。KF 和 ISO-F 系列 UltraLock 阀门的泄漏率为 1.5 x 10-9 Torr l/秒，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭时）。位置指示器：我们所有的 UltraLock 系列气动闸阀都包括一个可见的外部位置指示器 - 白色环方便地安装在气动活塞下方。气动 UltraLock 闸阀还包括安装在阀门气缸上的打开和关闭簧片传感器开关。这些开关可用于激活指示灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。电磁阀：我们提供适用于 12 VDC、24 VDC 和 120 VAC 气动阀的电磁阀套件。电磁阀套件单独出售，包括电磁阀、安装支架（带用于将电磁阀固定到闸阀阀盖法兰的紧固件）和柔性 1/4” OD 气管，用于连接闸阀气缸上的推入式连接配件和电磁阀。规格：我们的理想真空 UltraLock 闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计，通常与低温、涡轮和离子高真空泵结合使用。可用尺寸包括 Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10 和 12 英寸尺寸；ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500 和 -630 尺寸；以及快速法兰尺寸 KF-40 和 KF-50。请参阅下载内容以了解更多信息。

Ideal Vacuum UltraLock 超高真空 UHV 气动闸阀 Conflat CF 8.0 英寸法兰，球槽锁定，Viton 闸门和铜阀盖密封件，304 不锈钢。 CF 8.0 英寸螺栓固定法兰，带 5/16-24 UNF 螺纹，簧片开关位置指示器。这些 Ideal Vacuum UltraLock™ 气动闸阀具有 Conflat CF 8.0 英寸 (DN CF150) 真空法兰，带有 5/16-24 UNF 盲孔。它们的额定值为超高真空 (UHV)，并遵循 ISO 3669:2020 中所述的刀口法兰真空技术标准。我们的新型 UltraLock 系列优质气动真空闸阀采用创新的球槽锁定机构制成，可在失去动力或气压时保持阀门锁定关闭，同时减少磨损并延长使用寿命。这些 UltraLock 闸阀在需要维修之前的典型使用寿命为 50,000 次循环，并采用耐腐蚀 304 不锈钢闸门和阀体制成。清晰可见的外部位置指示器和位置传感器开关是所有气动 UltraLock 闸阀的标准配置。UltraLock 锁定机构：我们的 UltraLock 超高真空闸阀采用巧妙的球槽机构来锁定阀门。阀体内有一个带有非润滑滚珠轴承的滚动托架，闸门固定在其上。当阀门启动时，滑架和闸门向真空端口滑动，直到滑架到达阀体的末端。这会将闸门定位为与端口同心。滑架上的持续压力会导致一组不锈钢球在滑架和闸门之间的深度逐渐减小的凹槽中运行，从而对闸门施加向外的压力。该向外的力将门推入其关闭位置。当向外的压力迫使闸门的 O 型圈密封件压在阀体的密封表面上时，就获得了防漏密封。这些阀门在需要维修之前通常可以延长 50,000 次循环的使用寿命。 UHV 与 HV 版本：我们的 Conflat CF 法兰闸阀具有 UHV 等级。波纹管焊接到阀盖板上，无氧高导热率 (OFHC) 铜密封垫片和法兰刀口在阀盖板和阀体之间形成所需的金属对金属密封。我们的 Conflat UHV UltraLock 阀门具有 < 3.75 x 10-10 Torr l/sec 的低泄漏率，并且在浇口打开时可烘烤至 200 °C（在浇口关闭时可烘烤至 150°C）。我们的 KF 和 ISO-F 法兰闸阀使用 Viton O 形圈进行波纹管和阀盖板密封，因此仅限于极限压力低至 3x10-8 Torr 的高真空 (HV) 应用。 KF 和 ISO-F 系列 UltraLock 阀门的泄漏率为 1.5 x 10-9 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。位置指示器：我们所有的 UltraLock 系列气动闸阀均配有可见的外部位置指示器 - 白色环方便地安装在气动活塞下方。气动 UltraLock 闸阀还包括安装在阀门气缸上的打开和关闭簧片传感器开关。这些开关可用于激活指示灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。电磁阀：我们为气动阀提供电压为 12 VDC、24 VDC 和 120 VAC 的电磁阀套件。电磁阀套件单独出售，包括电磁阀、带有用于将电磁阀连接到闸阀阀盖法兰上的紧固件的安装支架，以及用于连接闸阀气动装置上的推接式接头之间的柔性 1/4” 外径空气管路气缸和电磁阀。规格：我们的理想真空 UltraLock 闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计，通常与低温泵、涡轮泵和离子高真空泵结合使用。可用尺寸包括 Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10 和 12 英寸尺寸； ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500 和 -630 尺寸；以及快速法兰尺寸 KF-40 和 KF-50。请参阅下载以获取更多信息。

Ideal Vacuum UltraLock 超高真空 UHV 气动闸阀 Conflat CF 10.0 英寸法兰，球槽锁定，Viton 闸门和铜阀盖密封件，304 不锈钢。 CF 10.0 英寸螺栓固定法兰，带 5/16-24 UNF 螺纹，簧片开关位置指示器。这些 Ideal Vacuum UltraLock™ 气动闸阀具有 Conflat CF 10.0 英寸 (DN CF200) 真空法兰，带有 5/16-24 UNF 盲孔。它们的额定值为超高真空 (UHV)，并遵循 ISO 3669:2020 中所述的刀口法兰真空技术标准。我们的新型 UltraLock 系列优质气动真空闸阀采用创新的球槽锁定机构制成，可在失去动力或气压时保持阀门锁定关闭，同时减少磨损并延长使用寿命。这些 UltraLock 闸阀在需要维修之前的典型使用寿命为 50,000 次循环，并采用耐腐蚀 304 不锈钢闸门和阀体制成。清晰可见的外部位置指示器和位置传感器开关是所有气动 UltraLock 闸阀的标准配置。UltraLock 锁定机构：我们的 UltraLock 超高真空闸阀采用巧妙的球槽机构来锁定阀门。阀体内有一个带有非润滑滚珠轴承的滚动托架，闸门固定在其上。当阀门启动时，滑架和闸门向真空端口滑动，直到滑架到达阀体的末端。这会将闸门定位为与端口同心。滑架上的持续压力会导致一组不锈钢球在滑架和闸门之间的深度逐渐减小的凹槽中运行，从而对闸门施加向外的压力。该向外的力将门推入其关闭位置。当向外的压力迫使闸门的 O 型圈密封件压在阀体的密封表面上时，就获得了防漏密封。这些阀门在需要维修之前通常可以延长 50,000 次循环的使用寿命。 UHV 与 HV 版本：我们的 Conflat CF 法兰闸阀具有 UHV 等级。波纹管焊接到阀盖板上，无氧高导热率 (OFHC) 铜密封垫片和法兰刀口在阀盖板和阀体之间形成所需的金属对金属密封。我们的 Conflat UHV UltraLock 阀门具有 < 3.75 x 10-10 Torr l/sec 的低泄漏率，并且在浇口打开时可烘烤至 200 °C（在浇口关闭时可烘烤至 150°C）。我们的 KF 和 ISO-F 法兰闸阀使用 Viton O 形圈进行波纹管和阀盖板密封，因此仅限于极限压力低至 3x10-8 Torr 的高真空 (HV) 应用。 KF 和 ISO-F 系列 UltraLock 阀门的泄漏率为 1.5 x 10-9 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。位置指示器：我们所有的 UltraLock 系列气动闸阀均配有可见的外部位置指示器 - 白色环方便地安装在气动活塞下方。气动 UltraLock 闸阀还包括安装在阀门气缸上的打开和关闭簧片传感器开关。这些开关可用于激活指示灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。电磁阀：我们为气动阀提供电压为 12 VDC、24 VDC 和 120 VAC 的电磁阀套件。电磁阀套件单独出售，包括电磁阀、带有用于将电磁阀连接到闸阀阀盖法兰上的紧固件的安装支架，以及用于连接闸阀气动装置上的推接式接头之间的柔性 1/4” 外径空气管路气缸和电磁阀。规格：我们的理想真空 UltraLock 闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计，通常与低温泵、涡轮泵和离子高真空泵结合使用。可用尺寸包括 Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10 和 12 英寸尺寸； ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500 和 -630 尺寸；以及快速法兰尺寸 KF-40 和 KF-50。请参阅下载以获取更多信息。

适用于 UltraLock 气动闸阀的电磁阀套件，110-120 VAC，包含安装硬件。此电磁阀套件适用于 Ideal Vacuum ULTRALock™ 或 HVA 气动闸阀。电磁阀驱动闸阀的气动活塞。所有接头和连接必须密封，以确保正常运行。此 110-120 VAC 电磁阀套件包含一个 AVS-5111-120A 四通直动式电磁阀，以及操作 UltraLock 或 HVA 气动闸阀所需的所有其他部件，包括气管和快插接头。为了更快地驱动更大的闸阀，可以使用更大尺寸的气管和不同的快插接头。套件组件：AVS-5111-120A 四通电磁阀；用于 Ideal Vacuum UltraLock 或 HVA 气动闸阀的安装支架。所有用于 UltraLock 气动闸阀的必要安装螺钉和硬件。五 (5) 个 4 毫米外径软管快插式转 1/8 英寸外螺纹通用管接头。两个 (2) 个排气消音器。6 英尺长 1/4 英寸外径柔性聚氨酯软管。电磁阀特性：24 VDC，3.5 VA。工作输入压力 20-115 PSIG。最大输入压力 215 PSIG。大多数气动闸阀需要 80 PSIG 的输入压力。五个 (5) 1/8" NPSF 端口：A：常开出口，连接至 P。通电时排气至 A。B：常开排气出口，连接至 R。通电时连接至 P。P：进气口。R：常闭。通电时从 A 排气。S：常闭排气口，从 B 排气。通电时关闭。带锁定功能的手动超控按钮。DIN 标准接线连接器，带 LED 指示灯。丁腈橡胶密封圈。正确连接后，如果电磁阀电源中断，连接的闸阀将立即关闭并保持关闭状态，直到电源恢复。电磁阀配有红色手动超控按钮。正确连接后，按下超控按钮将强制闸阀打开。松开超控按钮后，闸阀关闭。可以使用一字螺丝刀将超控按钮旋转 90° 锁定在按下位置。将按钮旋转回原始位置，它会自动弹回未按下位置。安装说明：将电磁阀安装到闸阀上。使用随附的安装支架和螺钉将电磁阀安装到阀盖上。如果没有螺纹孔，则必须远程安装电磁阀。将气管连接到电磁阀端口 B 和闸阀上加压时打开闸阀的端口（靠近阀盖的端口）。将气管连接到电磁阀端口 A 和另一个加压时关闭闸阀的端口（位于气缸顶部的端口）。可选地，将电磁阀端口 R 和 S 连接到排气口。将电磁阀端口 P 连接到（用户提供的）80 psi 的室内空气。向电磁阀施加 80 psi 的气压，并验证闸阀是否关闭并保持关闭状态。如果闸阀打开并保持打开状态，请将气管连接到电磁阀的 A 和 B 端口。按下手动超控开关，并验证闸阀是否打开并保持打开状态。松开手动超控开关，并验证闸阀是否再次关闭。在未通电的情况下，电磁阀将自动关闭。处于关闭锁定位置。当向电磁阀通电时，闸阀将打开。

适用于 UltraLock 气动闸阀的电磁阀套件，24VDC，包含安装硬件。此电磁阀套件适用于 Ideal Vacuum ULTRALock™ 或 HVA 气动闸阀。电磁阀驱动闸阀的气动活塞。所有接头和连接必须密封，以确保正常运行。此 24VDC 电磁阀套件包含一个 AVS-5111-24D 四通直动式电磁阀，以及操作 UltraLock 或 HVA 气动闸阀所需的所有其他部件，包括气管和快插接头。为了更快地驱动更大的闸阀，可以使用更大尺寸的气管和不同的快插接头。套件组件：AVS-5111-24D 四通电磁阀；用于 Ideal Vacuum UltraLock 或 HVA 气动闸阀的安装支架；用于 UltraLock 气动闸阀的所有必要安装螺钉和硬件。五 (5) 个 4 毫米外径软管，采用快插式连接，连接至 1/8 英寸外螺纹通用管接头。两 (2) 个排气消声器。6 英尺长 1/4 英寸外径柔性聚氨酯软管。电磁阀特性：24 伏直流电，2.5 瓦。工作输入压力 20-115 磅/平方英寸（PSIG）。最大输入压力 215 磅/平方英寸（PSIG）。大多数气动闸阀需要 80 磅/平方英寸（PSIG）的输入压力。五个 (5) 1/8" NPSF 端口：A：常开出口，连接至 P。通电时排气至 A。B：常开排气出口，连接至 R。通电时连接至 P。P：进气口。R：常闭。通电时从 A 排气。S：常闭排气口，从 B 排气。通电时关闭。带锁定功能的手动超控按钮。DIN 标准接线连接器，带 LED 指示灯。丁腈橡胶密封圈。正确连接后，如果电磁阀电源中断，连接的闸阀将立即关闭并保持关闭状态，直到电源恢复。电磁阀配有红色手动超控按钮。正确连接后，按下超控按钮将强制闸阀打开。松开超控按钮后，闸阀关闭。可以使用一字螺丝刀将超控按钮旋转 90° 锁定在按下位置。将按钮旋转回原始位置，它会自动弹回未按下位置。安装说明：将电磁阀安装到闸阀上。使用随附的安装支架和螺钉将电磁阀安装到阀盖上。如果没有螺纹孔，则必须远程安装电磁阀。将气管连接到电磁阀端口 B 和闸阀上加压时打开闸阀的端口（靠近阀盖的端口）。将气管连接到电磁阀端口 A 和另一个加压时关闭闸阀的端口（位于气缸顶部的端口）。可选地，将电磁阀端口 R 和 S 连接到排气口。将电磁阀端口 P 连接到（用户提供的）80 psi 的室内空气。向电磁阀施加 80 psi 的气压，并验证闸阀是否关闭并保持关闭状态。如果闸阀打开并保持打开状态，请将气管连接到电磁阀的 A 和 B 端口。按下手动超控开关，并验证闸阀是否打开并保持打开状态。松开手动超控开关，并验证闸阀是否再次关闭。在未通电的情况下，电磁阀将自动关闭。处于关闭锁定位置。当向电磁阀通电时，闸阀将打开。

理想真空 3 位 UHV 气动闸阀，节流 3 位置，带电磁阀和簧片传感器，24VDC，CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰，Viton O 形环标准密封，1x10-10 mbar，SUS304 阀体，50,000 次循环 CF 10.0 英寸螺栓固定法兰，带 5/16-24 UNF 螺纹 这款理想真空 3 位节流闸阀采用 Conflat CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰气动操作。它具有可设置为部分打开的 3 位置。它适用于超高真空 (UHV)，并配有用于闸阀的标准 Viton O 形环密封件和用于阀盖的 Viton O 形环或 OFHC 铜垫圈，带有气动控制电磁阀。这些阀门的典型使用寿命为 50,000 次循环，之后才需要维修。它们采用耐腐蚀的 304 不锈钢闸板和阀体制成。这种 3 位控制可为各种真空沉积工艺（特别是薄膜沉积工艺室系统）提供灵活性和精确度，以保持最佳条件。物理气相沉积涂层室中的应用这种 3 位闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计，通常与低温、涡轮和离子高真空泵结合使用。它在节流真空工艺（如 PVD 磁控溅射沉积）中的使用越来越广泛。在 PVD 涂层室（例如溅射系统）中，3 位闸阀通常用于控制涡轮分子泵和主工艺室之间的连接。这些闸阀可精确控制真空系统，并可隔离泵、保护室和调节抽气速度。典型的 3 位闸阀的三个位置为：1。全开位置：最大电导率，全涡轮泵送速度，用于初始抽空或在沉积期间保持高真空。2. 部分打开（节流位置）：目的：在部分打开位置，闸阀仅部分打开，节流腔室和涡轮泵之间的电导率。在使用反应性气体（例如反应溅射中的氧气或氮气）或需要微调压力以实现最佳薄膜生长时，节流非常重要。此部分打开位置在安装过程中手动设置和调整一次，可以随时更改以运行不同的工艺条件。3. 全关位置：目的：在完全关闭位置，闸阀将涡轮泵与主腔室完全隔离。用例：此位置用于在腔室排气、负载锁腔室样品加载等过程中或腔室暴露于大气压力时保护涡轮泵。它可以防止污染物或大气进入涡轮泵，从而可能损坏它。规格： 规格及特点： 材料 阀体 SUS304 滑架 联动类型 - SUS304 球型尺寸小于 10” - SUS304 球型尺寸大于 10” (含) - SUS304, A6061-T6 闸板 联动类型 - SUS304 球型尺寸小于 10” - SUS304 球型尺寸大于 10” (含) - A6061-T6 波纹管 AM350 使用寿命 HV :DN200 - 300,000 次循环 UHV :DN200 - 50,000 次循环 1 atm 压差下的氦气泄漏率 <2×10-9 mbar·l /sec (O 型圈) <5×10-10 mbar·l /sec (垫片密封) 烘烤温度 打开 - 200 °C Viton 阀盖密封 关闭 - 150 °C Viton 阀盖密封 压力范围 (mbar) HV：1x10-8 ~ 1000 UHV：1x10-10 ~1000 打开前最大 delta P (mbar) < 30 标准密封 闸板 - Viton O 形圈 阀盖 - Viton O 形圈或 OFHC 铜垫片 执行器 - 气动 压缩空气供应 管连接 - 6 毫米 压力范围 - 4-6 Kg/cm2（过压） 表面处理 - 苏格兰抛光 选项 位置指示器 气动控制电磁阀 粗加工端口 其他材料 闸板 O 形圈密封 请参阅下载内容以获取关于此闸阀和其他相关阀门配置的更多信息。

适用于 2.75 英寸（2-3/4 英寸）Conflat 螺纹孔法兰的螺栓套件，包含镀银内六角螺栓和垫圈。这些螺栓套件包含镀银 12 角头螺栓和垫圈，用于固定 2.75 英寸（2-3/4 英寸）CF Conflat 螺纹孔法兰接头。这些 Conflat 法兰可承受 10-13 托（10-11 帕）的真空，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位，按法兰外径表示：1-1/3（“迷你 Conflat”）、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14 和 16-1/2。在欧洲和亚洲，管材尺寸以管内径（毫米）表示：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完整套装包含：2.75 英寸（2-3/4 英寸）平头螺纹孔紧固件 6 个，镀银 1/4-28 x 0.875 英寸长 12 角头螺栓 6 个，垫圈。

适用于 4.5 英寸（4-1/2 英寸）Conflat 螺纹孔法兰的螺栓套件，包含镀银 12 角头螺栓和垫圈。这些螺栓套件包含镀银 12 角头螺栓和垫圈，用于固定 4.5 英寸（4-1/2 英寸）CF Conflat 螺纹孔法兰接头。这些 Conflat 法兰可承受 10-13 托（10-11 帕）的真空，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位，按法兰外径表示：1-1/3（“迷你 Conflat”）、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14 和 16-1/2。在欧洲和亚洲，管材尺寸以管内径（毫米）表示：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完整套装 - 4.50（4-1/2）英寸 Conflat 螺纹孔紧固件：8 个，镀银 5/16-24 x 1.25 英寸长 12 角头螺栓：8 个，垫圈

适用于 6.00 (6) 英寸 Conflat 螺纹孔法兰的螺栓套件，包含镀银 12 角头螺栓和垫圈。这些螺栓套件包含镀银 12 角头螺栓和垫圈，用于固定 6.00 (6) 英寸 CF Conflat 螺纹孔法兰接头。这些 Conflat 法兰可承受 10-13 托 (10-11 帕) 的真空，并可加热至 450 °C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位，按法兰外径表示：1-1/3（“迷你 Conflat”）、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14 和 16-1/2。在欧洲和亚洲，尺寸以管内径（毫米）表示：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完整套装 - 6.00 (6) 英寸 Conflat 螺纹孔紧固件：16 个，镀银 5/16-24 x 1.25 英寸长 12 角头螺栓：16 个，垫圈。

适用于 8.00 (8) 英寸 Conflat 螺纹孔法兰的螺栓套件，包含镀银 12 角头螺栓和垫圈。这些螺栓套件包含镀银 12 角头螺栓和垫圈，用于固定 8.00 (8) 英寸 CF Conflat 螺纹孔法兰接头。这些 Conflat 法兰可承受 10-13 托 (10-11 帕) 的真空，并可加热至 450 °C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位，按法兰外径表示：1-1/3（“迷你 Conflat”）、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14 和 16-1/2。在欧洲和亚洲，管材尺寸以管内径（毫米）表示：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完整套装 - 8.00 (8) 英寸 Conflat 螺纹孔紧固件：20 个，镀银 5/16-24 x 1.75 英寸长 12 角头螺栓：20 个，垫圈。

适用于 10.00 (10) 英寸 Conflat 螺纹孔法兰的螺栓套件，包含镀银 12 角头螺栓和垫圈。这些螺栓套件包含镀银 12 角头螺栓和垫圈，用于固定 10.00 (10) 英寸 CF Conflat 螺纹孔法兰接头。这些 Conflat 法兰可承受 10-13 托 (10-11 帕) 的真空，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位，按法兰外径表示：1-1/3（“迷你 Conflat”）、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14 和 16-1/2。在欧洲和亚洲，尺寸以管内径（毫米）表示：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完整套装 - 10.00 (10) 英寸 Conflat 螺纹孔紧固件：24 个，镀银 5/16-24 x 1.75 英寸长 12 角头螺栓 24 个，垫圈

适用于 12.00 (10) 英寸 Conflat 螺纹孔法兰的螺栓套件，包含 32 个镀银 12 角头螺栓和垫圈。这些螺栓套件包含镀银 12 角头螺栓和垫圈，用于固定 12.00 (12) 英寸 CF Conflat 螺纹孔法兰接头。这些 Conflat 法兰可承受 10-13 托 (10-11 帕) 的真空度，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位，按法兰外径表示：1-1/3（“迷你 Conflat”）、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14 和 16-1/2。在欧洲和亚洲，尺寸以管内径（毫米）表示：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完整套装 - 12.00 (12) 英寸 Conflat 螺纹孔紧固件：32 个，镀银 5/16-24 x 3.0 英寸长 12 角头螺栓 32 个，垫圈

适用于 13.25 英寸和 14 英寸 Conflat 螺纹孔法兰的螺栓套件，包含 30 个镀银 12 角螺栓和垫圈。这些螺栓套件包含镀银 12 角螺栓和垫圈，用于固定 13.25 英寸和 14 英寸 CF Conflat 螺纹孔法兰接头。这些 Conflat 法兰可承受 10-13 托 (10-11 帕) 的真空度，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位，按法兰外径表示：1-1/3 英寸（“迷你 Conflat”）、2-1/8 英寸、2-3/4 英寸、4-1/2 英寸、4-5/8 英寸、6 英寸、6-3/4 英寸、8 英寸、10 英寸、12 英寸、13-1/4 英寸、14 英寸和 16-1/2 英寸。在欧洲和亚洲，管材尺寸以管内径（毫米）表示：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完整套装包含：13.25 英寸和 14 英寸 Conflat 螺纹孔紧固件 30 个，镀银 3/8-24 x 3.0 英寸长 12 角头螺栓 30 个，垫圈。

适用于 16.50 英寸 Conflat 螺纹孔法兰的螺栓套件，包含 36 个镀银 12 角螺栓和垫圈。这些螺栓套件包含镀银 12 角头螺栓和垫圈，用于固定 16.50 英寸 CF Conflat 螺纹孔法兰接头。这些 Conflat 法兰可承受 10-13 托 (10-11 帕) 的真空度，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位，按法兰外径表示：1-1/3（“迷你 Conflat”）、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14 和 16-1/2。在欧洲和亚洲，管材尺寸以管内径（毫米）表示：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完整套装 - 16.50 英寸 Conflat 螺纹孔紧固件：36 个，镀银 3/8-24 x 3.0 英寸长 12 角头螺栓 36 个，垫圈

Conflat 法兰 (CFF) 铜垫圈 CF 尺寸 2-3/4" 这些 conflat 铜 conflat 垫圈适合尺寸为 2-3/4 英寸的 conflat 法兰。ConFlat (CF) 法兰用于超高真空应用。这些配件使用铜垫圈和刀口法兰来实现高真空密封，可在低至 10-13 托 (10-11 Pa) 的压力下运行，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位按法兰外径给出：1-1/3（“迷你 conflat”）、2¾、4½、6、8、10、12、13¼、14 和 16½，在欧洲和亚洲，尺寸以毫米为单位按管内径给出：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。这些真空配件由耐腐蚀不锈钢。 Conflat 法兰 (CF) 铜垫片 CF 尺寸 2-3/4" - 各 1 个 CF 法兰尺寸：CF 2-3/4 英寸 常用尺寸：法兰外径 (OD) 2-3/4"，垫片外径 (OD) 1.895"，垫片内径 (ID) 1.451"

Conflat 法兰 (CFF) 铜垫圈 CF 尺寸 4-1/2" 这些 conflat 铜 conflat 垫圈适合尺寸为 4-1/2 英寸的 conflat 法兰。ConFlat (CF) 法兰用于超高真空应用。这些配件使用铜垫圈和刀口法兰来实现高真空密封，可在低至 10-13 托 (10-11 Pa) 的压力下运行，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以英寸为单位按法兰外径给出：1-1/3（“迷你 conflat”）、2¾、4½、6、8、10、12、13¼、14 和 16½。在欧洲和亚洲，尺寸以毫米为单位按管内径给出：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。这些真空配件由耐腐蚀不锈钢。Conflat 法兰 (CF) 铜垫片 CF 尺寸 4-1/2" - 各 1 个 CF 法兰尺寸：CF 4-1/2 英寸 常用尺寸：法兰外径 (OD) 4-1/2"，垫片外径 (OD) 3.243"，垫片内径 (ID) 2.506"

共焊法兰 (CF) 铜垫片 CF 尺寸 6 这些共焊铜共焊垫片适合 6 英寸的共焊法兰。 ConFlat (CF) 法兰用于超高真空应用。这些配件使用铜垫圈和刀口法兰来实现高真空密封，可在低至 10-13 托（10-11 Pa）的压力下运行，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸以法兰外径（英寸）表示：1-1/3（迷你扁平）、2¾、4½、6、8、10、12、13¼、14 和 16½。在欧洲和亚洲，尺寸以管内径（以毫米为单位）给出：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。这些真空配件由耐腐蚀不锈钢制成。平焊法兰 (CF) 铜垫片 CF 尺寸 6 - 1 个 CF 法兰尺寸：CF 6 英寸 常见尺寸：法兰外径 (OD) 6、垫片外径 (OD) 4.743、垫片内径 (ID) 4.010

扁平法兰 (CF) 铜垫片 CF 尺寸 8，CF 法兰 8.0 英寸。这些扁平铜扁平垫片适合尺寸为 8 英寸的扁平法兰。 ConFlat (CF) 法兰用于超高真空应用。这些配件使用铜垫圈和刀口法兰来实现高真空密封，可在低至 10-13 托（10-11 Pa）的压力下运行，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸按法兰外径（英寸）给出：1-1/3（迷你扁平）、2¾、4½、6、8、10、12、13⁄4、14 和 16½，在欧洲和亚洲，尺寸按以下方式给出管内径（毫米）：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。这些真空配件由耐腐蚀不锈钢制成。 共平法兰 (CF) 铜垫片 CF 尺寸 8 - 1 个 CF 法兰尺寸：CF 8 英寸 常见尺寸：法兰外径 (OD) 8，垫片外径 (OD) 6.743，垫片内径 (ID) 6.007

扁平法兰 (CF) 铜垫片 CF 尺寸 10 英寸，CF 法兰 10.0 英寸。这些扁平铜扁平垫片适合尺寸为 10 英寸的扁平法兰。ConFlat (CF) 法兰用于超高真空应用。这些配件使用铜垫圈和刀口法兰可实现高真空密封，可在低至 10-13 托 (10-11 Pa) 的压力下运行，并可加热至 450°C 进行烘烤。北美法兰尺寸由法兰外径给出以英寸为单位：1-1/3（“迷你 Conflat”）、2⁄4、4½、6、8、10、12、13⁄4、14 和 16½，在欧洲和亚洲，尺寸以管内径（以毫米为单位）给出：DN16、 DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。这些真空配件由耐腐蚀不锈钢制成。平焊法兰 (CF) 铜垫片 CF 尺寸 10" - 每个 1CF 法兰尺寸：CF 10 英寸 常用尺寸：法兰外径 ( OD) 10"，垫片外径 (OD) 8.743"，垫片内径 (ID) 8.007"