Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮分子真空泵，ISO-200K 入口法兰，抽速 950 L/S。需要冷却套件，Agilent Varian 部件号 9698931。这些 Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮分子高真空泵具有 ISO-200K 入口法兰，极限压力为 1x10-8 Torr（受到橡胶 O 形圈排气的限制）密封件位于进气 ISO 定心环中），并且具有安捷伦瓦里安部件号 9698931。Conflat 版本采用全金属密封 Conflat 进气垫圈，是真正的超高真空泵，在使用时极限压力低至 1x10-10 Torr正确使用。 Turbo-V 1001 涡轮泵以最小的成本和尺寸实现最高的性能，氮气 (N2) 的抽速为 950 升/秒。我们建议主泵尺寸小至 14 CFM（例如，IDP-15 干式涡旋泵或 DS402 旋片真空泵），可用于在所有泵送配置中操作 Turbo V 1001。 Turbo-V 1001 是复合泵，采用 MacroTorr 拖动级技术，可实现轻气体的高压缩比并最大限度地提高泵的吞吐量。根据定义，Turbo-V 1001 的 Navigator 版本将涡轮泵控制器本地安装在涡轮泵下方，Navigator 控制器部件号为 9698978。但是，当 Turbo-V 1001 由其机架安装控制器供电时，它不称为 Navigator，而简称为 Turbo V 1001 涡轮泵。机架安装控制器的 Agilent 部件号为 X3501-64003。 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator（带有安装在泵下方的控制器）通常集成到许多分析仪器应用中，包括电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统 (FIB) 和表面分析 现代聚焦束系统，例如SEM、TEM 和 FIB 利用色谱柱将电子或离子投射到微观样品上进行详细分析。这些 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 涡轮泵是现代聚焦光束系统的关键组件，因为它们可为大型样品室提供快速、无油的空气排空（无油操作是许多现代分析应用的关键要求，例如半导体制造）。 Agilent Varian Turbo-V 1001 特点：轻质气体压缩比高，可在低基础压力下运行 无碳氢化合物，适合清洁真空系统 远程控制器可在 100 m 外进行操作 安装在任何位置均可轻松集成 免维护轴承，实现零运行成本 就绪通过 Vacuum Link 应用程序进行无线控制 用于泵的移动操作 防辐射和防磁场设计 无嵌入式电子设备，允许在严苛的磁场和辐射环境中运行 低电磁辐射保证不会干扰应用过程 低振动和噪音水平，对设备零影响系统 Agilent Varian Turbo-V 1001 规格： 工作环境温度：+5 至 +35 °C 存储环境温度：-20 至 +70 °C 基础压力：1x10-8 Torr（受 ISO O 形圈密封限制） 压缩比H2：1 x 10^6 法兰类型：Conflat CF 10 英寸前级法兰尺寸：KF 40 NW 最大气体吞吐量 - Ar，水冷：7.5 mbar L/s； 444 sccm 最大气体吞吐量 - N2，水冷：10 mbar L/s； 592 sccm 噪音水平：45 dB(A) 标称转速：38 KRPM 工作位置：任何抽速 - H2：900 L/s（ISO-200 入口法兰） 抽速 - He：870 L/s（ISO-200 入口法兰）法兰） 抽速 - N2：950 L/s（ISO-200 入口法兰） 建议前级泵容量：15 m3/h 启动时间：< 4 分钟 重量：21.2 kg

Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮分子真空泵，Conflat CF 10 英寸入口法兰，抽速 950 L/S。需要冷却套件，Agilent Varian 部件号 9698932。这些 Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮分子高真空泵具有 Conflat 10 英寸入口法兰，极限压力为 1x10-10 Torr，Agilent Varian 部件号 9698932。 Turbo-V 1001 涡轮泵以最小的成本和尺寸实现最高的性能，氮气 (N2) 的抽速为 950 升/秒。我们建议主泵尺寸小至 14 CFM（例如，IDP-15 干式涡旋泵或 DS402 旋片真空泵），可用于在所有泵送配置中操作 Turbo V 1001。 Turbo-V 1001 是复合泵，采用 MacroTorr 拖动级技术，可实现轻气体的高压缩比并最大限度地提高泵的吞吐量。 Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮泵采用扁平进气口，是真正的超高真空 (UHV) 泵，正确使用时极限压力可低至 1x10-10 Torr，例如，这些泵的 Conflat 版本允许进气法兰要烘烤至 120 摄氏度。根据定义，Turbo-V 1001 的 Navigator 版本将涡轮泵控制器本地安装在涡轮泵下方，Navigator 控制器部件号为 9698978。但是，当 Turbo-V 1001 由其机架安装控制器供电时，它不称为 Navigator，而简称为 Turbo V 1001 涡轮泵。机架安装控制器的 Agilent 部件号为 X3501-64003。 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator（带有安装在泵下方的控制器）通常集成到许多分析仪器应用中，包括电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统 (FIB) 和表面分析 现代聚焦束系统，例如SEM、TEM 和 FIB 利用色谱柱将电子或离子投射到微观样品上进行详细分析。这些 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 涡轮泵是现代聚焦光束系统的关键组件，因为它们可为大型样品室提供快速、无油的空气排空（无油操作是许多现代分析应用的关键要求，例如半导体制造）。 Agilent Varian Turbo-V 1001 特点：轻质气体压缩比高，可在低基础压力下运行 无碳氢化合物，适合清洁真空系统 远程控制器可在 100 m 外进行操作 安装在任何位置均可轻松集成 免维护轴承，实现零运行成本 就绪通过 Vacuum Link 应用程序进行无线控制 用于泵的移动操作 防辐射和防磁场设计 无嵌入式电子设备，允许在严苛的磁场和辐射环境中运行 低电磁辐射保证不会干扰应用过程 低振动和噪音水平，零影响系统 Agilent Varian Turbo-V 1001 规格：工作环境温度：+5 至 +35 °C 存储环境温度：-20 至 +70 °C 基础压力：<1 x 10-10 Torr 压缩比 H2：1 x 10 ^6 法兰类型：Conflat 10 英寸前级法兰尺寸：KF 40 NW 最大气体吞吐量 - Ar，水冷却：7.5 mbar L/s； 444 sccm 最大气体吞吐量 - N2，水冷：10 mbar L/s； 592 sccm 噪音水平：45 dB(A) 标称转速：38 KRPM 工作位置：任何抽速 - H2：900 L/s（CF 10 英寸法兰） 抽速 - He：870 L/s（CF 10 英寸法兰）抽速 - N2：950 L/s（CF 10 英寸法兰） 建议前级泵容量：15 m3/h 启动时间：< 4 分钟 重量：21.2 kg

Agilent Varian Turbo-V 1001 机架安装控制器，适用于 Turbo-V 1001 涡轮泵。安捷伦瓦里安部件号 PN：X3501-64003。 Agilent Varian Turbo-V 1001 机架式控制器可为 Turbo-V 1001 涡轮分子泵、冷却风扇和排气阀供电。这些 Agilent Varian TV1001 机架式涡轮泵控制器可在 100、120、220 或 240 伏交流输入电源下运行。手动操作的输入电压选择器集成到机架安装控制器电源输入中（见下图）。可用一字螺丝刀弹出电压选择器盒，将电压选择器旋转至所需的输入电压，然后重新插入。 Agilent Varian TV1001 机架式涡轮泵控制器还集成了辅助电源连接器（最大输出 1 安培），用于为冷却风扇和通风阀设备供电。这些辅助连接器位于控制器背面的右上角（见下图）。警告，这些辅助电源连接器不得用于为低真空泵供电，最大输出为 1 安培！涡轮泵到控制器的电缆内置于 Turbo-V 1001 机架安装控制器中，标准长度为 10 英尺。机架安装控制器背面的 P1 连接器可处理其他逻辑的互锁（见下图）。每个新的 Turbo-V 1001 机架安装控制器均配有 P1 联锁跳接连接器，该连接器必须安装到位以绕过联锁并允许泵在安装后启动。所有可选附件、泵、控制器和Ideal Vacuum 提供不同的配置。用户手册和 Agilent Varian Turbo-V 1001 机架安装控制器目录宣传册部分可在下面以 PDF 格式下载。

适用于 Turbo-V 1001 涡轮泵的 Agilent Varian TV 1001 Navigator 板载控制器。 Agilent Varian 部件号 9698978。Agilent Varian TV 1001 Navigator 控制器设计为安装在下方或侧面，并为 Turbo-V 1001 涡轮分子泵、其冷却风扇及其排气阀提供动力。这些 Agilent Varian TV 1001 Navigator 控制器可在 100 至 240 VAC 之间的任何输入电压下自动运行。 Agilent Varian TV 1001 Navigator 涡轮泵控制器还集成了辅助 24 VDC 电源连接器，可分别通过端口 P4 和 P3 为冷却风扇和通风阀设备供电（参见照片）。涡轮泵到控制器的电缆连接到 TV 1001 Navigator 控制器，长 1 英尺。导航器控制器侧面的 J1 连接器处理互锁和其他逻辑。每个新的 TV 1001 Navigator 控制器都配有一个配套的 J1 联锁跳接连接器，并且该配套连接器必须就位以关闭联锁电路并允许泵在安装后启动。 Turbo V 1001 Navigator 控制器上的 J2 串行端口可用于使用 Agilent Varian A-Plus 软件与涡轮系统进行通信（请参阅下面的可选附件）。所有可选附件、泵、控制器和不同的配置均可从 Ideal Vacuum 获取。用户手册和小册子可以下载。

瓦里安安捷伦交流主电源线 NEMA 插头，用于涡轮泵控制器，3 米。 Agilent Varian 部件号 PN：9699958。该安捷伦涡轮分子真空泵交流主电源线具有 NEMA 5-15 插头墙壁插座连接，可与大多数安捷伦涡轮泵控制器配合使用。它长 3 米，安捷伦瓦里安部件号 9699958，可与以下涡轮泵型号配合使用：TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

安捷伦瓦里安涡轮泵入口滤网，适用于带 ISO-200 或 Conflat CF 10 英寸入口法兰的大型 TwisTorr 和 Turbo-V 泵。安捷伦瓦里安部件号 PN：969-9316。这些安捷伦瓦里安入口滤网旨在保护带有 ISO-200 或 CF 10 英寸入口法兰的大型 TwisTorr FS 和 Turbo-V 涡轮分子真空泵。入口滤网（防碎片装置）是一个经常被忽视的小配件，但却是真空系统的一个非常重要的部分。它用于保护涡轮机免受可能掉落或吸入转子中的小物体或碎片的影响。这些涡轮进气碎片护罩有助于保护泵免受异物影响，安捷伦瓦里安部件号为 9699316。适用于安捷伦 TwisTorr 和 Turbo-V 涡轮泵型号：TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

安捷伦瓦里安风扇空气冷却套件，适用于带有本地导航控制器的大型 TwisTorr 和 Turbo-V 涡轮分子泵。 Agilent Varian 部件号 PN：9699297。这些 Agilent Varian TwistTorr 和 Turbo-V 空气冷却风扇套件设计用于与本地 Navigator（底部或侧面泵安装）控制器配合使用，并且 Agilent Varian 部件号 9699297。这些套件包括空气冷却器风扇、通过 P4 连接器将冷却风扇连接到导航器控制器上的 24 VDC 电源的电源线以及泵安装式支架的底部。这在订购时非常重要，有两种不同的空气冷却风扇套件适用于安捷伦瓦里安大型 TwistTorr 和 Turbo-V 涡轮分子泵：一种设计用于与远程机架安装控制器配合使用，其中冷却风扇在 115 VAC 下运行。这里出售的另一个设计用于与底部或侧面安装的本地 Naviagator 控制器一起工作，该控制器在 24VDC 上运行（参见侧面的中间图形）。与 Agilent TwisTorr Navigator 控制器供电的涡轮泵配合使用 型号： TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

用于带远程机架安装控制器的安捷伦大型 TwisTorr 和 Turbo-V 涡轮分子泵的风扇空气冷却套件，X3501-68016、X3501-64003。这是适用于 Agilent TwisTorr FS 404、704、804 和 Turbo-V 1001 涡轮分子真空泵的风扇冷却套件。它安装在泵的底座上，为泵提供径向冷却。它连接到机架安装式 X3501-68016 或 X3501-64003 涡轮泵控制器背面的圆形 J3 风扇连接器。该风扇空气冷却套件附带一条 20 英尺长的电缆，并包括所有必要的安装硬件。这是 Agilent X3501-68001 风扇空气冷却套件的直接替代品。与这些安捷伦涡轮分子泵型号兼容： TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001 与这些机架安装安捷伦涡轮分子泵控制器型号兼容： X3501-68016 X3501-64003 该风扇套件与 Agilent Onboard Navigator 涡轮泵不兼容控制器。我们提供板载控制器的风扇冷却套件，以及其他列表中的全系列安捷伦涡轮泵和配件。有关泵和控制器的更多信息，请参阅下载。

用于 V1000 HT 机架安装控制器 120VAC 的 Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮泵空气冷却套件，PN 9699315 仅连接到控制器 V 1000HT 机架控制器 110VAC PN 9699554，而不是 V 1001 机架控制器。这些 Agilent Varian 空气冷却风扇套件设计用于与 V 1000HT 机架安装控制器配合使用。这些套件包括空气冷却风扇、用于将冷却风扇连接到 V1000HT 机架安装控制器背面的辅助电源 J6 连接器（最大输出 1 安培）上的 120 VAC 电源的电源线，以及泵安装式支架的底部。订购时这一点非常重要！ Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮分子泵有两种不同的空气冷却风扇套件： 该装置设计用于与此处销售的机架安装 V1000 HT 控制器配合使用，冷却风扇在 120 VAC 下运行。另一种设计用于与底部或侧面安装的 Navigator V1001 控制器配合使用，其中冷却风扇在 24 VDC 下运行，Agilent Varian 部件号为 9699297。这些是不同的产品，从单个组件订购系统时必须小心。

安捷伦瓦里安涡轮水冷却套件，带金属软管倒钩，适合大多数设计用于 6x8 mm 管道尺寸的安捷伦涡轮分子泵，安捷伦瓦里安部件号 PN：9699337 这些金属水冷却套件旨在为安捷伦瓦里安 TwisTorr 305 FS、750 提供水冷却FS 和 850 FS 涡轮分子真空泵。它们的设计可轻松连接到 6 mm 内径 x 8 mm 外径塑料软管，例如高质量聚氨酯 (PUR)，并具有安捷伦瓦里安部件号 PN 9699337。适合大多数安捷伦瓦里安涡轮泵，包括型号：TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Tubro-V 1001

安捷伦瓦里安涡轮水冷却套件配有塑料软管接头，适合大多数安捷伦涡轮分子泵。适用于 4 mm 内径 x 6 mm 外径塑料软管，Agilent Varian 部件号 PN：9699347。这些塑料管水冷却套件旨在为 Agilent Varian TwisTorr 305 FS、750 FS 和 850 FS 涡轮分子真空泵提供水冷却。它们的设计可轻松连接至 4 mm 内径 x 6 mm 外径塑料软管，安捷伦瓦里安部件号 PN 9699347。适合大多数安捷伦瓦里安涡轮泵，包括型号： TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

免费下载 Agilent A-Plus 软件和 3m 长串行电缆，可将所有 Agilent Turbo 和 Turbo 系统连接到 PC（以前称为 T-Plus）。安捷伦部件号：9699883 Agilent A-Plus 软件（以前称为 T-Plus 涡轮泵控制软件）和 LabVIEW 驱动程序包现在可以从 Ideal Vacuum 免费下载（请参阅下面的免费下载链接）。下载包括 32 位和 64 位版本。此清单适用于销售安捷伦 OEM 3 米长 DB9 公对母串行电缆，在使用 A-Plus 软件时需要将 Turbo 或 Turbo 系统连接到 PC。安捷伦科技 A-Plus 软件是一款用户友好的通信、控制和监测应用程序，适用于安捷伦瓦里安涡轮分子泵和所有其他使用安捷伦 Windows 串行协议的安捷伦产品。 A-Plus 软件可以同时控制和驱动通过 RS232 或 RS485 串行通信端口连接到 PC 的一台或多台涡轮泵。如果 PC 没有串行端口，则可以使用串行转 USB 电缆（部件号 P104165）。 A-Plus 软件包括自动识别连接的泵并显示每个连接的泵的行为。每个命令的说明始终显示在屏幕上，以便于使用。 A-Plus 软件包括数据记录、图表表示和网络配置等选项，以帮助您快速配置真空设备并随时检查真空系统状态。软件包中包含详尽的在线帮助。用于 A-Plus 软件的 3 米长安捷伦电缆的部件号为 9699883。安捷伦 A-Plus 软件适用于以下泵型号（及其他型号）： TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS Varian TPS-Compact Varian TPS-MiniTask

当计算机没有串行端口时，适用于 Agilent Varian T-Plus 软件的 RS232 串行至 USB 适配器电缆。 3 英尺。此 3 英尺长的 RS232 转 USB 适配器电缆允许通过具有 USB 端口但没有串行端口的远程计算机控制 Agilent Varian T-plus 涡轮泵。 T-Plus 软件需要串行连接。对于没有 RS232 或 RS485 串行通信端口但只有 USB 2 连接端口的 PC，此电缆允许您将 T-plus 涡轮泵连接到 USB 2 端口并具有相同的 T-Plus 软件功能就像您的 PC 上有一个串行通信端口一样。

安捷伦瓦里安涡轮排气法兰替换件，带 M8x1.2 的 KF-10 真空法兰，适合大多数安捷伦涡轮分子真空泵安捷伦瓦里安部件号 PN：9699108 这些安捷伦瓦里安涡轮泵排气法兰设计用于与大多数安捷伦涡轮分子真空泵配合使用。它们具有带 M8 x 1.2 螺纹的 KF-10 真空法兰和安捷伦瓦里安部件号 PN：969-9108。可与以下安捷伦瓦里安涡轮泵配合使用：TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 涡轮排气阀，常开 (NO)，1.2 mm 孔口，适用于 TwisTorr 或 Turbo-V（集成控制器或板载导航器）涡轮泵。 Agilent Varian 部件号 PN：9699834。这些 Agilent Varian 排气阀专为 TwisTorr FS 和 Turbo-V（带集成控制器或板载导航器）涡轮泵而设计。还需要一个适配器，以便排气阀能够从集成控制器获得电源和逻辑，所需适配器的 Agilent Varian 部件号为 X3514-68001（参见中心照片）。这些安捷伦瓦里安涡轮泵排气阀套件具有 1.2 mm 孔口，常开 (NO)，并在涡轮控制器通电时关闭。如果断电，该排气阀将打开并开始将空气引入涡轮机，其速度将使其安全停止。这有助于通过限制涡轮机通过共振频率时所花费的时间来延长涡轮机的使用寿命，共振频率对泵的轴承来说很困难（您可以听到泵在通过这些共振时实际上会变得更大）。断电后的通风对于防止前级泵回流也很重要，如果在断电后涡轮机上留下真空，前级泵中的油或碎片可能会被吸回到涡轮泵中。我们建议使用排气阀和/或粗加工管线常闭 (NC) 隔离阀，以在电源故障期间保护涡轮机。该套件包括安装到 Agilent Varian 涡轮泵侧面所需的硬件。我们还销售用于这些 305-IC 排气阀的 5 米排气阀延长电缆，Agilent Varian 部件号 9699949，用于通过本地工具或实验室仪器的逻辑控制排气。请参阅下面 PDF 下载部分中的可用说明手册。可与以下安捷伦瓦里安涡轮泵配合使用：TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS Onboard Navigator TwisTorr 704 FS Onboard Navigator TwisTorr 804 FS Onboard Navigator Turbo-V 1001 Onboard Navigator

安捷伦瓦里安涡轮泵排气阀套件，延迟排气，常开 (NO)，1.2 mm 孔口，适用于 TwisTorr 和 Turbo-V 机架安装控制器。安捷伦瓦里安部件号 PN：X3501-68002。这些安捷伦瓦里安涡轮泵排气阀套件具有 1.2 毫米孔口、M8 x 1.2 毫米螺纹、电缆长度为 5 米、常开 (NO)，并在涡轮控制器通电时关闭。如果断电，该排气阀将打开并开始将空气引入涡轮机，其速度将使其安全停止。这有助于通过限制涡轮机通过共振频率时所花费的时间来延长涡轮机的使用寿命，共振频率对泵的轴承来说很困难（您可以听到泵在通过这些共振时实际上会变得更大）。断电后的通风对于防止前级泵回流也很重要，如果在断电后涡轮机上留下真空，前级泵中的油或碎片可能会被吸回到涡轮泵中。我们建议使用排气阀和/或粗加工管线常闭 (NC) 隔离阀，以在电源故障期间保护涡轮机。该套件包括安装到 Agilent Varian 涡轮泵侧面所需的硬件。它设计用于插入安捷伦瓦里安机架式涡轮泵控制器的背面，请参阅中心照片中的 J4 吹扫通风口，并具有安捷伦瓦里安部件号 X3501-68002。请参阅下面的 PDF 下载部分中的可用说明手册。可与以下安捷伦瓦里安涡轮泵配合使用：TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

安捷伦瓦里安涡轮分子真空泵，10 SCCM KF-16 x M12，适合大多数中型安捷伦涡轮分子真空泵。安捷伦瓦里安部件号 PN：969-9239。这些安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀具有固定的 10 SCCM 流量和 KF-16 法兰供气接头，设计用于与大多数具有 M12 排气口螺纹的中型涡轮分子真空泵配合使用。请参阅排气口的第二张和第三张照片以及显示安装的漫画，第 247 页的 TwisTorr 305 FS 手册中也显示了说明。气体吹扫阀是一种保护装置，可保护泵轴承免受颗粒和腐蚀性气体的影响，这些颗粒和腐蚀性气体可能会损坏泵的轴承。移动到泵中。每个阀门均由安装在滤芯中的薄校准蓝宝石孔制成，以提供精确的小泄漏率，每个管侧都有两个特殊的 PTFE 膜。这是为了避免任何颗粒、粉末和任何液体进入并堵塞细孔。每个版本的阀门都适合特定的应用： - 当腐蚀性气体的分压最大为 10-5 mbar 时，用于轻度腐蚀操作的小泄漏（1000 mbar 时约 10 sccm）（分析仪器、离子注入机）； - 当腐蚀性气体的分压 >10-5 mbar 时，重腐蚀操作（蚀刻、CVD）的大泄漏（1000 mbar 时约 20 sccm）。如果您希望使用不同的流量，您可以更改供给压力。对于给定的供应压力，气体吹扫阀可以为您提供固定的流量值。请注意，流量不取决于阀门的真空侧压力。这些涡轮吹扫阀的 Agilent Varian 部件号 PN 969-9239。可与以下 Agilent Varian 涡轮泵配合使用：TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

安捷伦瓦里安涡轮分子真空泵，10 SCCM 1/4 Swagelok x M12，适合大多数中型安捷伦涡轮分子真空泵。安捷伦瓦里安部件号 PN：9699240。这些安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀具有固定的 10 SCCM 流速和 1/4 Swagelok 供气接头，设计用于与大多数具有 M12 排气口螺纹的中型涡轮分子真空泵配合使用。请参阅排气口的第二张和第三张照片以及显示安装的漫画，第 247 页的 TwisTorr 305 FS 手册中也显示了说明。气体吹扫阀是一种保护装置，可保护泵轴承免受颗粒和腐蚀性气体的影响，这些颗粒和腐蚀性气体可能会损坏泵的轴承。移动到泵中。每个阀门均由安装在滤芯中的薄校准蓝宝石孔制成，以提供精确的小泄漏率，每个管侧都有两个特殊的 PTFE 膜。这是为了避免任何颗粒、粉末和任何液体进入并堵塞细孔。每个版本的阀门都适合特定的应用： - 当腐蚀性气体的分压最大为 10-5 mbar 时，用于轻度腐蚀操作的小泄漏（1000 mbar 时约 10 sccm）（分析仪器、离子注入机）； - 当腐蚀性气体的分压 >10-5 mbar 时，重腐蚀操作（蚀刻、CVD）的大泄漏（1000 mbar 时约 20 sccm）。如果您希望使用不同的流量，您可以更改供给压力。对于给定的供应压力，气体吹扫阀可以为您提供固定的流量值。请注意，流量不取决于阀门的真空侧压力。这些涡轮吹扫阀的 Agilent Varian 部件号 PN 969-9240。可与以下 Agilent Varian 涡轮泵配合使用：TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀，20 SCCM KF-16 x M12，适合大多数中型安捷伦涡轮分子真空泵。安捷伦瓦里安部件号 PN：9699241。这些安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀具有固定的 20 SCCM 流速和 KF-16 供气接头，设计用于与大多数具有 M12 排气口螺纹的中型涡轮分子真空泵配合使用。请参阅排气口的第二张和第三张照片以及显示安装的漫画，第 247 页的 TwisTorr 305 FS 手册中也显示了说明。气体吹扫阀是一种保护装置，可保护泵轴承免受颗粒和腐蚀性气体的影响，这些颗粒和腐蚀性气体可能会损坏泵的轴承。移动到泵中。每个阀门均由安装在滤芯中的薄校准蓝宝石孔制成，以提供精确的小泄漏率，每个管侧都有两个特殊的 PTFE 膜。这是为了避免任何颗粒、粉末和任何液体进入并堵塞细孔。每个版本的阀门都适合特定的应用： - 当腐蚀性气体的分压最大为 10-5 mbar 时，用于轻度腐蚀操作的小泄漏（1000 mbar 时约 10 sccm）（分析仪器、离子注入机）； - 当腐蚀性气体的分压 >10-5 mbar 时，重腐蚀操作（蚀刻、CVD）的大泄漏（1000 mbar 时约 20 sccm）。如果您希望使用不同的流量，您可以更改供给压力。对于给定的供应压力，气体吹扫阀可以为您提供固定的流量值。请注意，流量不取决于阀门的真空侧压力。这些涡轮吹扫阀的 Agilent Varian 部件号 PN 969-9241。可与以下 Agilent Varian 涡轮泵配合使用：TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

安捷伦瓦里安涡轮分子真空泵，20 SCCM 1/4 Swagelok x M12，适合大多数中型安捷伦涡轮分子真空泵。安捷伦瓦里安部件号 PN：9699242。这些安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀具有固定的 20 SCCM 流速和 1/4 Swagelok 供气接头，设计用于与大多数具有 M12 排气口螺纹的中型涡轮分子真空泵配合使用。请参阅排气口的第二张和第三张照片以及显示安装的漫画，第 247 页的 TwisTorr 305 FS 手册中也显示了说明。气体吹扫阀是一种保护装置，可保护泵轴承免受颗粒和腐蚀性气体的影响，这些颗粒和腐蚀性气体可能会损坏泵的轴承。移动到泵中。每个阀门均由安装在滤芯中的薄校准蓝宝石孔制成，以提供精确的小泄漏率，每个管侧都有两个特殊的 PTFE 膜。这是为了避免任何颗粒、粉末和任何液体进入并堵塞细孔。每个版本的阀门都适合特定的应用： - 当腐蚀性气体的分压最大为 10-5 mbar 时，用于轻度腐蚀操作的小泄漏（1000 mbar 时约 10 sccm）（分析仪器、离子注入机）； - 当腐蚀性气体的分压 >10-5 mbar 时，重腐蚀操作（蚀刻、CVD）的大泄漏（1000 mbar 时约 20 sccm）。如果您希望使用不同的流量，您可以更改供给压力。对于给定的供应压力，气体吹扫阀可以为您提供固定的流量值。请注意，流量不取决于阀门的真空侧压力。这些涡轮吹扫阀的 Agilent Varian 部件号 PN 969-9242。可与以下 Agilent Varian 涡轮泵配合使用：TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀，10 SCCM 具有 7/16 和 1/4 Swagelok 接头，适合大多数中型安捷伦涡轮分子真空泵。安捷伦瓦里安部件号 PN：9699232。这些安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀具有固定的 10 SCCM 流速，具有 7/16 和 1/4 Swagelok 气体供应接头，设计用于插入大多数中型的吹扫气体供应管线涡轮分子真空泵。请参阅排气口的第二张和第三张照片以及显示安装的漫画，第 247 页的 TwisTorr 305 FS 手册中也显示了说明。气体吹扫阀是一种保护装置，可保护泵轴承免受颗粒和腐蚀性气体的影响，这些颗粒和腐蚀性气体可能会损坏泵的轴承。移动到泵中。每个阀门均由安装在滤芯中的薄校准蓝宝石孔制成，以提供精确的小泄漏率，每个管侧都有两个特殊的 PTFE 膜。这是为了避免任何颗粒、粉末和任何液体进入并堵塞细孔。每个版本的阀门都适合特定的应用： - 当腐蚀性气体的分压最大为 10-5 mbar 时，用于轻度腐蚀操作的小泄漏（1000 mbar 时约 10 sccm）（分析仪器、离子注入机）； - 当腐蚀性气体的分压 >10-5 mbar 时，重腐蚀操作（蚀刻、CVD）的大泄漏（1000 mbar 时约 20 sccm）。如果您希望使用不同的流量，您可以更改供给压力。对于给定的供应压力，气体吹扫阀可以为您提供固定的流量值。请注意，流量不取决于阀门的真空侧压力。这些涡轮吹扫阀的 Agilent Varian 部件号 PN 969-9232。可与以下 Agilent Varian 涡轮泵配合使用：TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀，20 SCCM 具有 7/16 和 1/4 Swagelok 接头，适合大多数中型安捷伦涡轮分子真空泵。安捷伦瓦里安部件号 PN：9699236。这些安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀具有固定的 20 SCCM 流速，具有 7/16 和 1/4 Swagelok 气体供应接头，设计用于插入大多数中型的吹扫气体供应管线涡轮分子真空泵。请参阅排气口的第二张和第三张照片以及显示安装的漫画，第 247 页的 TwisTorr 305 FS 手册中也显示了说明。气体吹扫阀是一种保护装置，可保护泵轴承免受颗粒和腐蚀性气体的影响，这些颗粒和腐蚀性气体可能会损坏泵的轴承。移动到泵中。每个阀门均由安装在滤芯中的薄校准蓝宝石孔制成，以提供精确的小泄漏率，每个管侧都有两个特殊的 PTFE 膜。这是为了避免任何颗粒、粉末和任何液体进入并堵塞细孔。每个版本的阀门都适合特定的应用： - 当腐蚀性气体的分压最大为 10-5 mbar 时，用于轻度腐蚀操作的小泄漏（1000 mbar 时约 10 sccm）（分析仪器、离子注入机）； - 当腐蚀性气体的分压 >10-5 mbar 时，重腐蚀操作（蚀刻、CVD）的大泄漏（1000 mbar 时约 20 sccm）。如果您希望使用不同的流量，您可以更改供给压力。对于给定的供应压力，气体吹扫阀可以为您提供固定的流量值。请注意，流量不取决于阀门的真空侧压力。这些涡轮吹扫阀的 Agilent Varian 部件号 PN 969-9236。可与以下 Agilent Varian 涡轮泵配合使用：TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001