适用于高功率应用的理想真空电力馈通,12,000 伏,55A 单针镍导体,KF-40,UHV 额定,可烘烤至 450°C。这款电源馈通件采用 KF-40 型真空法兰接头。它是一款镍制电馈通件,可将高压、高电流传输到高真空环境中,用于溅射、镀膜和其他高要求材料蒸发应用或实验中的加热线圈。这些坚固耐用的 KF40 镍制电源馈通件具有超高真空 (UHV) 额定值,可烘烤至 450°C。
常见尺寸:
A = 7.25 英寸(184 毫米)
B = 2.14 英寸(54.4 毫米)
C = 1.00 英寸(25.4 毫米)
D = KF-40 法兰,直径 2.16 英寸(54.8 毫米)
E =导体,直径 0.25 英寸(6.3 毫米)
导体材料:镍
馈通(或真空馈通)有多种形式,用于将电流、信号、流体、气体或机械运动从真空腔体外部(空气侧)传输到腔体内部(真空侧),再传输到腔体内部的设备。馈通的入口必须通过合适的通孔进行真空密封。馈通可以是可焊接的(焊接式),也可以通过 CF、KF 或 ISO 真空法兰连接到真空腔体。
CF Conflat 法兰通常用于需要超高真空压力(低至 10-12 Torr)的工艺,并通过螺母螺栓和铜垫圈进行真空密封。其尺寸范围包括 1.33 英寸(迷你 Conflat)、2.75 英寸、4.5 英寸、6 英寸、8 英寸、10 英寸、12 英寸、13.25 英寸、14 英寸和 16.5 英寸(外径)。
KF(快速法兰)适用于低至 10-9 Torr 的高真空压力,并通过夹具和弹性体 O 形圈进行真空密封。其尺寸有 KF10、KF16、KF25、KF40 和 KF50。
ISO 或大型法兰适用于低至 10-6 Torr 的高真空压力,并通过螺母和螺栓(适用于带螺栓孔的法兰)或爪式夹具(适用于表面光滑且无螺栓孔的法兰)进行真空密封。它们使用弹性体 O 形圈进行真空密封。其尺寸包括 63 毫米、80 毫米、100 毫米、160 毫米、200 毫米、250 毫米、320 毫米、400 毫米、500 毫米和 630 毫米。所有法兰均采用耐腐蚀不锈钢制成。
馈通件种类繁多,根据您的具体真空工艺进行选择可能非常困难。如果您对自身需求有任何疑问,请联系我们的工程师,我们将竭诚为您找到适合您真空工艺的馈通件。请致电 505-872-0037。
馈通类型力量:电力馈通是一种将电流从大气(外部)传输到真空(内部)的电馈通。电力馈通有一根或多根导体插入真空器件腔壁。导体密封在电绝缘体上,该绝缘体可以焊接或通过真空法兰或底板连接。导体金属有线材、棒材或管材。导体材料取决于电流、耐腐蚀性和磁性。选择导体材料时需要考虑工作电压、最大电流、基准压力和工作环境。切勿低于规定的电压或电流,否则可能会导致电弧、熔化或绝缘体击穿。如有任何疑问,请致电我们。
热电偶:热电偶馈通是一种坚固耐用且经济高效的温度传感器,广泛应用于各种温度测量过程。当两根由不同金属制成的导线两端连接,其中一端被加热时,热电回路中就会产生持续电流。如果该电路在中心断开,则净开路电压(塞贝克电压)是结温和两种金属成分的函数。这意味着,当两种金属的结点被加热或冷却时,会产生一个电压,该电压可以与温度关联起来。如果配置正确,热电偶可以在很宽的温度范围内进行测量。
它们可以包含一对或多对导线,并配有模压插头、推入式连接器、开口连接器,并且可在内部(真空)或外部(大气)使用接线片或螺钉连接器。需要考虑的因素包括温度范围、测温点数量、护套材料、导线直径、金属类型以及同一馈通件内的电源导体。热电偶馈通件种类繁多,由多种不同金属制成,温度范围也各不相同。如有任何选择疑问,请致电我们。
仪器:仪器仪表馈通件(也称为多针馈通件)可跨真空壁传输电信号和/或低功率应用。它们用于电子显微镜、表面分析和半导体工艺控制等仪器仪表应用。它们可以由带针或同轴电缆的电连接器组成,位于真空壁的两侧,内部(真空)或外部(大气)。选择前需要考虑的因素包括电缆到屏蔽层的最大电压、屏蔽层到地的最大电压、信号电压、接地、阻抗、温度范围、连接数量、连接器类型等。订购时,务必确保随订单提供或未提供的连接器正确。仪器仪表连接馈通件类型繁多,如有疑问,请致电我们。
液体或气体:液体或气体馈通装置将气体或液体输送至真空安装的设备或腔室。这些气体或液体可在真空腔室内维持一定的温度。它们可以订购CF或KF法兰或底板端口,这些端口将一个或多个管道焊接到通孔上,管道从法兰/底板端口的两侧延伸出来。这些管道直径各异,通常以小型法兰或气体接头端接。需要考虑的因素包括:法兰是否与设备壁上未使用的法兰匹配;馈通装置的数量;管道直径;馈通装置入口尺寸;以及端接是否与两侧组件匹配。如有疑问,请致电我们。
旋转运动:旋转运动馈通装置是空气侧轴,用于旋转真空侧轴。旋转驱动器有多种类型,根据执行器机构、真空密封、兼容压力范围和应用场合而有所差异。两种类型:弹性体密封(使用背对背双O形圈密封)和磁流体O形圈密封(采用磁流体O形圈技术,可实现更高的转速和扭矩容量)。馈通装置可提供可重复运动或粗定位,并可提供旋转运动、线性运动或两者兼而有之。我们提供多种执行器设计,包括手动、气动和电动。如有疑问,请致电我们。
配件:馈通可能需要额外的硬件才能进行必要的连接。我们提供适用于真空室内外的电缆、电气/同轴连接器和插针。如果您不确定要购买哪种配件,请致电我们。
定制馈通:为您的真空工艺选择合适的馈入件可能非常困难。我们可以帮助您做出选择。我们还擅长设计和制造适合您特定真空工艺的独特馈入件。无论是选型帮助还是制造新的馈入件,我们的技术人员/工程师都将运用他们的专业知识,帮助您快速实现真空工艺目标。立即致电 505-872-0037 联系我们。