适用于 VS 系列氦检漏仪的安捷伦瓦里安校准检漏更换件。 Agilent Varian PN：VSFLDCL 这是 Agilent Varian VS 系列氦检漏仪的替代校准漏孔。校准泄漏经过一年的认证。安捷伦建议每年更换或重新认证校准漏孔。下面提供了用于维修、安装和校准 Agilent VS 系列氦检漏仪的手册。

适用于瓦里安 VS 系列氦检漏仪的安捷伦瓦里安灯丝更换套件（2 件装）。 Agilent Varian 部件号：VSFLDHFR（替换部件号：R3428301）。安捷伦瓦里安灯丝更换套件专为 VS 系列氦质谱检漏仪而设计。该套件包括 2 根灯丝。 （该套件不包括离子支架或金属垫圈）安装可能需要设备和工具。 • 加长M5 内六角扳手• 公制内六角扳手套件（范围1.5 毫米至10 毫米）• 尖嘴钳或镊子• M3 十字头螺丝刀• 1.5 毫米六角螺丝刀• 5 毫米六角螺丝刀• 扭矩扳手（必须可调至45 in-lbs (5.0 Nm) 和 90 in-lbs (10.2 Nm))• 数字万用表（Fluke 187 或同等产品）

适用于瓦里安 VS 系列氦质谱检漏仪的灯丝更换套件。包括 2 根灯丝和金属垫圈。 Agilent Varian PN：VSFLDHFR 仅适用于 2009 年 8 月 18 日之后生产的 VS 装置 离子源更换套件专为 VS 系列氦质谱检漏仪而设计。该套件包括 2 根灯丝和金属垫圈。 （该套件不包括离子支架）。该套件仅适用于 2009 年 8 月 18 日之后制造的 VS 装置 安装所需的设备和工具。 • 加长 M5 内六角扳手 • 公制内六角扳手套件（范围 1.5 毫米至 10 毫米） • 尖嘴钳或镊子 • M3 十字头螺丝刀 • 1.5 毫米六角螺丝刀 • 5 毫米六角螺丝刀 • 扭矩扳手（必须可调至 45 in-lbs (5.0 Nm) 和 90 in-lbs (10.2 Nm)) • 数字万用表（Fluke 187 或同等产品）

适用于瓦里安 VS 系列氦质谱检漏仪的灯丝更换套件。包括 2 个灯丝和金属垫圈。Varian Agilent PN：VSFLDFR 仅适用于 2009 年 8 月 18 日之前制造的 VS 装置。离子源更换套件专为 VS 系列氦质谱检漏仪而设计。该套件包括 2 根灯丝和金属垫圈。 （该套件不包括离子支架）。该套件仅适用于 2009 年 8 月 18 日之前制造的 VS 装置。安装所需的设备和工具。 • 加长 M5 内六角扳手 • 公制内六角扳手套件（范围 1.5 毫米至 10 毫米）• 尖嘴钳或镊子• M3 十字头螺丝刀• 1.5 毫米六角螺丝刀• 5 毫米六角螺丝刀• 扭矩扳手（必须可调节至 45 in-lbs (5.0 Nm) 和 90 in-lbs (10.2 Nm))• 数字万用表（Fluke 187 或同等产品）

适用于瓦里安 VS 系列氦质谱检漏仪的离子源更换套件。配有离子支架、2 根灯丝和金属垫圈。 PN：VSFLDHIS 离子源更换套件专为 VS 系列氦质谱检漏仪而设计。该套件包括离子支架、2 根灯丝和金属垫圈。安装所需的设备和工具。 • 加长 M5 内六角扳手 • 公制内六角扳手套件（范围 1.5 毫米至 10 毫米） • 尖嘴钳或镊子 • M3 十字头螺丝刀 • 1.5 毫米六角螺丝刀 • 5 毫米六角螺丝刀 • 扭矩扳手（必须可调至 45 in-lbs (5.0 Nm) 和 90 in-lbs (10.2 Nm)) • 数字万用表（Fluke 187 或同等产品）

适用于瓦里安 VS 系列氦检漏仪的安捷伦瓦里安金属密封垫片更换套件。包括金属垫圈。安捷伦瓦里安部件号：VSFLDMG 金属密封垫片更换套件专为 VS 系列氦质谱检漏仪而设计。该套件仅包括金属垫圈。 （该套件不包括离子支架或灯丝）。 Agilent Varian 部件号 VSFLDMG 安装可能需要的设备和工具。 • 加长 M5 内六角扳手 • 公制内六角扳手套件（范围 1.5 毫米至 10 毫米）• 尖嘴钳或镊子• M3 十字头螺丝刀• 1.5 毫米六角螺丝刀• 5 毫米六角螺丝刀• 扭矩扳手（必须可调节至 45 in-lbs (5.0 Nm) 和 90 in-lbs (10.2 Nm))• 数字万用表（Fluke 187 或同等产品）

用于清洁真空和质谱仪管的新型安捷伦瓦里安 979、959 和 VS 系列氦检漏仪套件 670029096 这些新型安捷伦瓦里安 979、959 和 VS 系列氦检漏仪清洁套件用于清洁真空质谱仪管。这些套件包括用于清洁的 VacuSolv 抹布（不会在质谱仪中留下残留物）、不起毛的衣服和其他所需的清洁物品。这些套件可与大多数安捷伦瓦里安氦检漏仪一起使用，包括 979、959 和 VS 系列。安捷伦瓦里安部件号 670029096。

Mass Varian VS 便携式氦质谱仪检漏仪隔膜泵维护套件。 Agilent Varian PN VSFLDDP 这是用于带有干式涡旋泵组合的 Agilent Varian VS PD03 便携式检漏仪中隔膜泵的维护套件。 VS PDO3 便携式检漏仪的部件号是 G8600B。

Agilent Varian VS C15、显示屏前面板单元、带触摸屏的 LCD 显示屏、氦检漏仪。 Agilent Technologies 部件号 VSC15DU VS C15 显示屏前面板由 LCD 显示屏和触摸面板组成，用于访问软件控制屏幕。所有操作员控制和结果监控均通过使用主屏幕访问的常驻软件来实现。

安捷伦瓦里安无线远程主机，适用于安捷伦瓦里安 VS 系列氦质谱检漏仪。安捷伦瓦里安部件号：G8600-68001（替换旧部件号：VSFLDWB）。这些安捷伦瓦里安无线远程主机单元旨在升级 VS 系列检漏仪，以便与无线遥控器型号 G8600-60002（单独出售）配合使用。该基本单元与 Agilent Varian VS 系列氦检漏仪配合使用。如果检漏仪订购时未配置无线配置且未集成安捷伦天线，则安捷伦瓦里安无线远程底座可升级检漏仪，使其能够接收信号并将信号传输至安捷伦无线远程控制器。无线远程主机与无线遥控器配合，提供氦检漏仪的远程信息和控制功能，并为所检测的氦泄漏水平提供信号。这只是无线远程主机，配有安装所需的天线和连接器，这不是无线遥控器。配件、无线遥控器、检漏仪单独出售。在下载部分，您将找到有关如何将远程主机单元现场安装到 VS 系列质谱仪检漏仪中的说明文档。

适用于 HLD G86 G8610、G8611 或 G8612 系列氦检漏仪氦质谱检漏仪的安捷伦瓦里安无线远程主机。安捷伦技术部件号：G8610-63000 这些安捷伦瓦里安无线远程主机可与无线遥控器型号 G8600-60002（单独出售）配合使用。这些基本装置适用于 Agilent Varian HLD G8610、G8611 或 G8612 系列检漏仪。如果检漏仪订购时未配置无线配置且未集成安捷伦天线，则安捷伦瓦里安无线远程底座可升级检漏仪，使其能够接收信号并将信号传输至安捷伦无线远程控制器。无线远程主机与无线遥控器配合，提供氦检漏仪的远程信息和控制功能，并为所检测的氦泄漏水平提供信号。这只是无线远程主机，配有安装所需的天线和连接器，这不是无线遥控器。配件、无线遥控器、检漏仪单独出售。在下载部分，您将找到有关如何将远程主机单元现场安装到 VS 系列质谱仪检漏仪中的说明文档。

全新安捷伦瓦里安检漏仪测试数据软件，适用于 VS 氦质谱检漏仪 (CD)，PN VSLTDW 瓦里安检漏仪测试数据向导软件可通过易于配置的串行端口连接从 PC/笔记本电脑远程操作 VS 系列检漏仪。该软件是一个全面的数据管理包，可描述如下： 该软件具有以下功能： 数据记录和绘图模式：显示和存储泄漏率与时间以及测试端口压力与时间的数据。多部件测试模式：基本泄漏测试过程的自定义自动化。泄漏率测试结果以图形方式显示并进行统计存储和跟踪。基本控制面板功能： 从 PC 远程操作检漏仪。包含 CD 操作手册，请在安装前下载并阅读 .pdf 操作手册（下载见下文）。本软件只能在 Windows 98、2000 或 XP 操作系统 PC 上使用。如果您的 PC 没有串行端口，您将需要 USB 转串行端口适配器（本网站有售，部件号 P104165）。用户操作手册 .PDF 可以从下面的 (AVAILABLE DOWNLOADS) 下载。

适用于 PHD-4 便携式检漏仪的 Agilent Varian 内部过滤器（5 件套） 安捷伦部件号 SR03702959 这是适用于便携式 Agilent Varian PHD-4 检漏仪的 5 个内部过滤器套件。 PHD-4 是一款完整的电池供电便携式氦气泄漏装置。电池组只能在 PHD-4 内部充电，将 Agilent SR03.702888 电源装置连接到电源端口 3（电源连接器）。 PHD-4 便携式检漏仪可全自动检测氦气浓度，下限可达百万分之二 (ppm)。泄漏值实时显示在前面板上的图形显示屏上。由于嗅探器由微处理器控制，因此易于使用且无需培训。该仪器发出与检测到的氦气浓度成正比的声音信号，并具有自检程序，可以使用前控制面板上的软键执行任何类型的操作。操作员可以使用提供的带子来携带设备并使用可延伸探头定位泄漏。待测试的系统充满氦气/空气的混合物。探头经过被认为是关键的区域，并通过采样泵对被检查区域周围的气体混合物进行采样并通过管道输送到内部传感器。该传感器由压力检测器和加热石英毛细管组成，该石英毛细管对氦分子具有高度渗透性，而对所有其他大气气体的渗透性可以忽略不计。当大气气体排出到外部时，氦分子到达压力检测器。与从检测器获取的氦分压成比例的电信号由中央单元的微处理器处理。这样可以在显示屏上直接读出氦气浓度。该装置含电池重量仅为 5.7 磅，由微处理器控制。全自动启动，不到 3 分钟即可发现压力泄漏。有关 PHD-4 的完整操作，请参阅下面的说明手册.pdf（可下载） 氦泄漏测试基础知识 氦质谱法或氦泄漏测试是一种高精度的泄漏检测方法。这项技术最初是为二战期间的曼哈顿计划开发的，用于定位气体扩散过程中极小的泄漏。氦泄漏测试的核心是一种称为氦质谱仪的复杂设备。很简单，该机器用于分析空气样本（通过真空泵引入机器）并定量测量样本中存在的氦气量。实际上，泄漏是通过机器分析的氦气浓度升高来识别的。氦气泄漏测试可以识别极小的泄漏。例如，我们的设备可以检测到非常小的泄漏，以至于在 320 年内仅会释放出 2 立方厘米的氦气（或相当于两块方糖的量）。虽然很少有应用需要这种精度，但此示例旨在强调此过程可能达到的精度。虽然氦泄漏检测可能看起来是一个简单的过程，但该过程涉及艺术和科学的结合。用户必须确保设备正常运行，并且该过程高度依赖于用户的经验。考虑这个类比：虽然任何有足够钱的人都可以购买飞机，但学习如何驾驶飞机需要大量练习。氦气泄漏检测也是如此——确保您的飞行员知道如何飞行。为什么氦气更优越？虽然许多气体用于泄漏检测，但氦气的品质可提供卓越的测试。氦气的 AMU（原子质量单位）仅为 4，是最轻的惰性气体。只有 AMU 为 2 的氢比氦轻。然而，由于氢具有爆炸性，因此很少使用。氦气成为优质示踪气体的其他原因： 仅少量存在于大气中（大约百万分之 5） 通过裂缝的流动速度比空气快 2.7 倍 无毒 非破坏性 非爆炸性 廉价 用户友好 由于这些属性及其高灵敏度，氦气泄漏测试已在广泛的泄漏测试应用中获得了广泛的认可。氦气泄漏测试的两种主要测试模式虽然有多种测试程序，但总的来说有： 氦气泄漏测试的两种主要方法： 喷雾探头 吸枪探头 这两种模式之间的选择取决于被测系统的大小，以及所需的灵敏度水平。喷雾探头：提供最大灵敏度 对于该技术，检漏仪直接连接到被测系统，并将系统内部抽真空。一旦达到可接受的真空度，氦气就会被小心地喷射到系统外部，特别注意任何可疑的位置。系统中的任何泄漏，包括有缺陷的焊缝（由裂纹、针孔、焊缝不完整、孔隙等引起）、垫圈有缺陷或缺失、夹具松动导致的泄漏或任何其他缺陷都会让氦气通过并易于检测通过机器。然后可以准确查明任何泄漏的来源并进行修复。采用喷雾探针工艺以达到最高水平的灵敏度。所使用的设备决定了可达到的最大灵敏度；在 Jurva 泄漏测试的情况下，它是 2x10-10 标准立方厘米/秒。该技术确实要求被测试的系统在测试之前相对密封，因为测试需要足够的真空。然而，通过使用特殊的节流装置，通常可以进行总体测试。总体测试应消除任何重大泄漏，从而允许使用更高的灵敏度。以下是我们使用喷雾探针技术测试的系统示例： A 棒炉 电子束系统 激光系统 金属沉积设备 蒸馏系统 真空系统 吸枪探针 对于此技术，将在被测系统内部吹扫氦气。由于氦气的固有特性，它很容易在整个系统中迁移，并在试图逃逸时穿透任何缺陷，包括：有缺陷的焊缝（由裂纹、针孔、不完整的焊缝、孔隙等引起）、有缺陷或缺失的垫圈、泄漏由于夹具松动或任何其他缺陷。然后使用连接到泄漏测试仪的探头扫描系统的外部。任何泄漏都会导致最接近源的氦气含量增加，并且很容易检测到。然后可以查明泄漏源，从而提供立即修复和重新测试的机会。与喷雾探针技术不同，该过程非常灵活，可以适应几乎任何可以注入氦气的系统的需求。没有实际的尺寸限制。然而，由于空气中存在一定量的氦气（大约 5 ppm），吸枪探头技术不如喷雾探头工艺灵敏。在此过程下可实现的最大灵敏度约为 1x10-6 std cc/sec。尽管如此，该过程远远优于其他传统泄漏测试方法，例如：气泡测试、声发射、液体渗透或真空箱测试。以下列表是 Jurva Leak Testing 使用吸枪探针过程测试的系统示例： 储罐（地上和地下） 浮顶 地下管道 地下电缆 无菌系统（闪蒸冷却器、热交换器、灌装机等） 任何可以加压的容器/管线或系统 专业测试技术 除了上面列出的两个主要测试程序之外，还有许多更专业的技术可以使用。在这些技术中，我们通常采用装袋或罩盖和轰炸。 （内容由 Jurva Leak Testing 写得很好，http://www.jurvaleaktesting.com/HeliumLeakTesting.html）

适用于 PHD-4 便携式检漏仪的 Agilent Varian 尖端探针过滤器 安捷伦部件号 SR2890001201 这是适用于便携式 Agilent Varian PHD-4 检漏仪的尖端探针过滤器。 PHD-4 是一款完整的电池供电便携式氦气泄漏装置。电池组只能在 PHD-4 内部充电，将 Agilent SR03.702888 电源装置连接到电源端口 3（电源连接器）。 PHD-4 便携式检漏仪可全自动检测氦气浓度，下限可达百万分之二 (ppm)。泄漏值实时显示在前面板上的图形显示屏上。由于嗅探器由微处理器控制，因此易于使用且无需培训。该仪器发出与检测到的氦气浓度成正比的声音信号，并具有自检程序，可以使用前控制面板上的软键执行任何类型的操作。操作员可以使用提供的带子来携带设备并使用可延伸探头定位泄漏。待测试的系统充满氦气/空气的混合物。探头经过被认为是关键的区域，并通过采样泵对被检查区域周围的气体混合物进行采样并通过管道输送到内部传感器。该传感器由压力检测器和加热石英毛细管组成，该石英毛细管对氦分子具有高度渗透性，而对所有其他大气气体的渗透性可以忽略不计。当大气气体排出到外部时，氦分子到达压力检测器。与从检测器获取的氦分压成比例的电信号由中央单元的微处理器处理。这样可以在显示屏上直接读出氦气浓度。该装置含电池重量仅为 5.7 磅，由微处理器控制。全自动启动，不到 3 分钟即可发现压力泄漏。有关 PHD-4 的完整操作，请参阅下面的说明手册.pdf（可下载） 氦泄漏测试基础知识 氦质谱法或氦泄漏测试是一种高精度的泄漏检测方法。这项技术最初是为二战期间的曼哈顿计划开发的，用于定位气体扩散过程中极小的泄漏。氦泄漏测试的核心是一种称为氦质谱仪的复杂设备。很简单，该机器用于分析空气样本（通过真空泵引入机器）并定量测量样本中存在的氦气量。实际上，泄漏是通过机器分析的氦气浓度升高来识别的。氦气泄漏测试可以识别极小的泄漏。例如，我们的设备可以检测到非常小的泄漏，以至于在 320 年内仅会释放出 2 立方厘米的氦气（或相当于两块方糖的量）。虽然很少有应用需要这种精度，但此示例旨在强调此过程可能达到的精度。虽然氦泄漏检测可能看起来是一个简单的过程，但该过程涉及艺术和科学的结合。用户必须确保设备正常运行，并且该过程高度依赖于用户的经验。考虑这个类比：虽然任何有足够钱的人都可以购买飞机，但学习如何驾驶飞机需要大量练习。氦气泄漏检测也是如此——确保您的飞行员知道如何飞行。为什么氦气更优越？虽然许多气体用于泄漏检测，但氦气的品质可提供卓越的测试。氦气的 AMU（原子质量单位）仅为 4，是最轻的惰性气体。只有 AMU 为 2 的氢比氦轻。然而，由于氢具有爆炸性，因此很少使用。氦气成为优质示踪气体的其他原因： 仅少量存在于大气中（大约百万分之 5） 通过裂缝的流动速度比空气快 2.7 倍 无毒 非破坏性 非爆炸性 廉价 用户友好 由于这些属性及其高灵敏度，氦气泄漏测试已在广泛的泄漏测试应用中获得了广泛的认可。氦气泄漏测试的两种主要测试模式虽然有多种测试程序，但总的来说有： 氦气泄漏测试的两种主要方法： 喷雾探头 吸枪探头 这两种模式之间的选择取决于被测系统的大小，以及所需的灵敏度水平。喷雾探头：提供最大灵敏度 对于该技术，检漏仪直接连接到被测系统，并将系统内部抽真空。一旦达到可接受的真空度，氦气就会被小心地喷射到系统外部，特别注意任何可疑的位置。系统中的任何泄漏，包括有缺陷的焊缝（由裂纹、针孔、焊缝不完整、孔隙等引起）、垫圈有缺陷或缺失、夹具松动导致的泄漏或任何其他缺陷都会让氦气通过并易于检测通过机器。然后可以准确查明任何泄漏的来源并进行修复。采用喷雾探针工艺以达到最高水平的灵敏度。所使用的设备决定了可达到的最大灵敏度；在 Jurva 泄漏测试的情况下，它是 2x10-10 标准立方厘米/秒。该技术确实要求被测试的系统在测试之前相对密封，因为测试需要足够的真空。然而，通过使用特殊的节流装置，通常可以进行总体测试。总体测试应消除任何重大泄漏，从而允许使用更高的灵敏度。以下是我们使用喷雾探针技术测试的系统示例： A 棒炉 电子束系统 激光系统 金属沉积设备 蒸馏系统 真空系统 吸枪探针 对于此技术，将在被测系统内部吹扫氦气。由于氦气的固有特性，它很容易在整个系统中迁移，并在试图逃逸时穿透任何缺陷，包括：有缺陷的焊缝（由裂纹、针孔、不完整的焊缝、孔隙等引起）、有缺陷或缺失的垫圈、泄漏由于夹具松动或任何其他缺陷。然后使用连接到泄漏测试仪的探头扫描系统的外部。任何泄漏都会导致最接近源的氦气含量增加，并且很容易检测到。然后可以查明泄漏源，从而提供立即修复和重新测试的机会。与喷雾探针技术不同，该过程非常灵活，可以适应几乎任何可以注入氦气的系统的需求。没有实际的尺寸限制。然而，由于空气中存在一定量的氦气（大约 5 ppm），吸枪探头技术不如喷雾探头工艺灵敏。在此过程下可实现的最大灵敏度约为 1x10-6 std cc/sec。尽管如此，该过程远远优于其他传统泄漏测试方法，例如：气泡测试、声发射、液体渗透或真空箱测试。以下列表是 Jurva Leak Testing 使用吸枪探针过程测试的系统示例： 储罐（地上和地下） 浮顶 地下管道 地下电缆 无菌系统（闪蒸冷却器、热交换器、灌装机等） 任何可以加压的容器/管线或系统 专业测试技术 除了上面列出的两个主要测试程序之外，还有许多更专业的技术可以使用。在这些技术中，我们通常采用装袋或罩盖和轰炸。 （内容由 Jurva Leak Testing 写得很好，http://www.jurvaleaktesting.com/HeliumLeakTesting.html）

适用于 PHD-4 便携式氦检漏仪的安捷伦瓦里安替换采样泵。安捷伦部件号：SR03702513。这是便携式安捷伦瓦里安氦检漏仪的替换取样泵。采样泵是一种能够将待分析气体从怀疑泄漏点移动到 PHD-4 内部传感器的装置。如果待分析气体中的杂质聚集得足够多，泵的性能就会变得低效。最终，将产生故障（在 PHD-4 通电初始化时）并且必须更换泵。 PHD-4 是一款完整的电池供电便携式氦气泄漏装置。电池组只能在 PHD-4 内部充电，将 Agilent SR03.702888 电源装置连接到电源端口 3（电源连接器）。 PHD-4 便携式检漏仪可全自动检测氦气浓度，下限可达百万分之二 (ppm)。泄漏值实时显示在前面板上的图形显示屏上。由于嗅探器由微处理器控制，因此易于使用且无需培训。该仪器发出与检测到的氦气浓度成正比的声音信号，并具有自检程序，可以使用前控制面板上的软键执行任何类型的操作。操作员可以使用提供的带子来携带设备并使用可延伸探头定位泄漏。待测试的系统充满氦气/空气的混合物。探头经过被认为是关键的区域，并通过采样泵对被检查区域周围的气体混合物进行采样并通过管道输送到内部传感器。该传感器由压力检测器和加热石英毛细管组成，该石英毛细管对氦分子具有高度渗透性，而对所有其他大气气体的渗透性可以忽略不计。当大气气体排出到外部时，氦分子到达压力检测器。与从检测器获取的氦分压成比例的电信号由中央单元的微处理器处理。这样可以在显示屏上直接读出氦气浓度。该装置含电池重量仅为 5.7 磅，由微处理器控制。全自动启动，不到 3 分钟即可发现压力泄漏。氦泄漏测试基础知识氦质谱法或氦泄漏测试是一种高精度的泄漏检测方法。这项技术最初是在第二次世界大战期间为曼哈顿计划开发的，用于定位气体扩散过程中极小的泄漏。氦气泄漏测试的核心是一种称为氦质谱仪的复杂设备。很简单，该机器用于分析空气样本（通过真空泵引入机器）并定量测量样本中存在的氦气量。在实践中，泄漏是通过机器分析的氦气含量上升来识别的。氦气泄漏测试可以识别极小的泄漏。例如，我们的设备可以检测到非常小的泄漏，以至于在 320 年内仅会释放出 2 立方厘米的氦气（或相当于两块方糖的量）。虽然很少有应用需要这种精度，但此示例旨在强调此过程可能实现的准确性。虽然氦气泄漏检测可能看起来是一个简单的过程，但该过程涉及艺术和科学的结合。用户必须确保设备正常运行，并且该过程高度依赖于用户的经验。考虑这个类比：虽然任何有足够钱的人都可以购买飞机，但学习如何驾驶飞机需要大量练习。氦气泄漏检测也是如此，确保您的飞行员知道如何飞行。为什么氦气优越？虽然许多气体用于泄漏检测，但氦气的品质提供了卓越的测试。氦气的 AMU（原子质量单位）仅为 4，是最轻的惰性气体。只有 AMU 为 2 的氢比氦轻。然而，由于氢具有爆炸性，因此很少使用。氦气成为优质示踪气体的其他原因： 仅少量存在于大气中（大约百万分之 5） 通过裂缝的流动速度比空气快 2.7 倍 无毒 非破坏性 非爆炸性 廉价 用户友好 由于这些属性及其高灵敏度，氦气泄漏测试已在广泛的泄漏测试应用中获得了广泛的认可。氦气泄漏测试的两种主要测试模式虽然有多种测试程序，一般来说有： 氦气泄漏测试的两种主要方法： 喷雾探头 吸枪探头 这两种模式之间的选择取决于被测系统的大小，以及所需的灵敏度水平。喷雾探头：提供最大灵敏度对于这种技术，检漏仪直接连接到被测系统，并将系统内部抽真空。一旦达到可接受的真空度，氦气就会被小心地喷射到系统外部，特别注意任何可疑的位置。系统中的任何泄漏，包括有缺陷的焊缝（由裂纹、针孔、焊缝不完整、孔隙等引起）、垫圈有缺陷或缺失、夹具松动导致的泄漏或任何其他缺陷都会让氦气通过并易于检测通过机器。然后可以准确地查明任何泄漏的来源并进行修复。喷雾探针工艺用于实现最高水平的灵敏度。所使用的设备决定了可达到的最大灵敏度；在 Jurva 泄漏测试的情况下，它是 2x10-10 标准立方厘米/秒。该技术确实要求被测试的系统在测试之前相对密封，因为测试需要足够的真空。然而，通过使用特殊的节流装置，通常可以进行总体测试。总体测试应消除任何重大泄漏，从而允许使用更高的灵敏度。以下是我们使用喷雾探针技术测试的系统示例： A 棒炉 电子束系统 激光系统 金属沉积设备 蒸馏系统 真空系统 吸枪探针通过这种技术，氦气被吹扫到被测系统的整个内部。由于氦气的固有特性，它很容易在整个系统中迁移，并在试图逃逸时穿透任何缺陷，包括：有缺陷的焊缝（由裂纹、针孔、不完整的焊缝、孔隙等引起）、有缺陷或缺失的垫圈、泄漏由于夹具松动或任何其他缺陷。然后使用连接到泄漏测试仪的探头扫描系统的外部。任何泄漏都会导致最接近源的氦气含量增加，并且很容易检测到。然后可以查明泄漏源，为立即修复和重新测试提供机会。与喷雾探针技术不同，该过程非常灵活，可以适应几乎任何可以注入氦气的系统的需求。没有实际的尺寸限制。然而，由于空气中存在氦气量（大约 5 ppm），吸枪探头技术不如喷雾探头过程灵敏。在此过程下可实现的最大灵敏度约为 1x10-6 std cc/sec。尽管如此，该过程远远优于其他传统泄漏测试方法，例如：气泡测试、声发射、液体渗透剂或真空箱测试。以下列表是 Jurva Leak Testing 使用吸枪探针过程测试的系统示例：储罐（地上和地下） 浮顶 地下管道 地下电缆 无菌系统（闪蒸冷却器、热交换器、填料等） 任何可以加压的容器/管线或系统 专业测试技术 除了列出的两个主要测试程序之外如上所述，有许多可以利用的更专业的技术。在这些技术中，我们通常采用装袋或罩盖和轰炸。 （内容由 Jurva Leak Testing 写得很好，http://www.jurvaleaktesting.com/HeliumLeakTesting.html）

Agilent Varian HLD 和 VS 氦检漏仪 PCB 组件、离子源、低预热电路板。 PN：R2120502 这是 HLD 和 VS 氦检漏仪 PCB 组件离子源，低预热。适用于：Agilent Varian HLD 检漏仪型号：G8610A、G8610B、G8611A、G8611B、G8611C、G8612A、G8612B、G8612C、G8612D 和 Agilent Varian VS 检漏仪型号：PR02、MR15、MD15、MD30+、BR15、BD15 , BD30+, PD03 。

安捷伦瓦里安 HLD 和 VS 氦检漏仪 PCB 组装主板。 PN：R2101501 这是 Agilent Varian HLD 和 VS 氦检漏仪 PCB 组件主板。适用于：Agilent Varian HLD 检漏仪型号：G8610A、G8610B、G8611A、G8611B、G8611C、G8612A、G8612B、G8612C、G8612D 和 Agilent Varian VS 检漏仪型号：PR02、MR15、MD15、MD30+、BR15、BD15 , BD30+, PD03 。

安捷伦瓦里安 VS 氦检漏仪 CPU PCB。部件号：G8600-65002 这是 Agilent Varian VS 氦检漏仪 CPU PCB。配有电缆组件、PC 模块 PCB 和连接到 PC 模块的 VS 编程紧凑型闪存卡。注意：仅适用于 2015 年 10 月之后销售的 VS 氦检漏仪，使用 PC104 CPU PCB。适用于：Agilent Varian VS 检漏仪型号：PR02、MR15、MD15、MD30+、BR15、BD15、BD30+、PD03。

适用于氦检漏仪的 Agilent Varian 959、979 前置放大器 标准灵敏度 这是适用于 Agilent 959 或 979 氦检漏仪的标准灵敏度替换前置放大器。

全新安捷伦瓦里安 VS 系列氦检漏仪油雾过滤消除器，PN VSFLDME 这是瓦里安安捷伦排气油雾过滤消除器。它可以捕获连接到氦检漏仪的 DS Varian Agilent 旋片泵排出的油、雾、薄雾或烟雾。配有过滤介质。只需拧下旋片泵上的 KF25 出口接头，然后将 KF16 接头拧到出口上，连接 0 形环和夹子，将橡胶软管连接到油雾过滤器的出口即可排出外部。

全新 Agilent Varian 调谐泄漏，适用于 1 1/8 英寸压缩端口 Agilent Varian PN K1608301。 Tuning Leak 由一个十段校准针阀组成，可用作总泄漏测试或总泄漏校准的辅助工具。调谐泄漏可与任何安捷伦瓦里安检漏仪一起使用，还可以提供测试区域中背景氦气的指示。

Agilent Varian LD 压缩端口入口适配器套件 NW25、氦检漏仪、氦检漏仪。安捷伦瓦里安部件号：LDCOMPINADKIT LD 压缩端口入口适配器套件专为想要使用压缩端口夹具而不是入口端口上的 NW25 夹具的客户测试检漏仪而设计。

Agilent Varian 979、959、936、936SP、938-41 Portaset 离子源，用于氦检漏仪的钍钍铱灯丝 Agilent Varian PN 82850302 这是用于 Agilent Varian 979、959、936、936SP、938 的离子源钍铱灯丝-41 Portatest，氦检漏仪。这款 Thoria 长寿命离子源适用于较新型号 979 检漏仪，但也可用于较旧型号 936 和 936SP、938-41 Portatest 型号。对于带有增强套件的旧 936 机柜型号，将柔性金属管重新定向，使其远离光谱仪管。对于 936SP 机柜型号，如果设备有光谱仪冷却风扇，请将其拔下。对于没有光谱仪冷却风扇的型号，IRIDIUM/TUNGSTEN 开关必须位于 IRIDIUM 位置。对于序列号在 62E001-62E171 之间的 938-41 Portatest 型号，请联系 Agilent Varian。对于序列号晚于 62E171 的 938-41 Portatest，IRIDIUM/TUNGSTEN 开关必须处于 IRIDIUM 位置。这仅是离子源灯丝，检漏仪在本网站上单独出售。

全新安捷伦瓦里安节流调节泄漏阀，带 KF25 接头。安捷伦瓦里安 PN R1947301。 Tuning Leak 由一个十段校准针阀组成，可用作总泄漏测试或总泄漏校准的辅助工具。调谐泄漏可与任何安捷伦瓦里安检漏仪一起使用，还可以提供测试区域中背景氦气的指示。它有 KF25 配件。

适用于 VS 系列检漏仪的安捷伦瓦里安干式 N2 排气吹扫套件。安捷伦瓦里安 PN：VSFLDN2V。这是适用于 VS 系列检漏仪的安捷伦瓦里安干氮放空吹扫附件套件。它包括适当的配件、扳手和 2 英尺 4 毫米内径 x 6 毫米外径 PVC 管。适合以下检漏仪型号： VSMR151、VSMR152 VSMD301、VSMD302 VSBR151、VSBR152 VSBD301、VSBD302 VSPD021、VSPD022

OEM 安捷伦瓦里安 947、948、960 检漏仪，制造 OEM O 形圈套件安捷伦瓦里安 OEM PN L5669801这是用于 947、948 或 960 VSRV 检漏仪的制造 OEM 安捷伦瓦里安 O 形圈套件。

适用于 936、938、947、948、956 逆流氦气检漏仪的安捷伦瓦里安功率探头吸枪替换头（10 个装）。部件号：K9565303 这是一包 10 个替换喷嘴，适用于 Agilent Varian Power Probe 氦检漏仪喷雾探头。可与 Agilent Varian 936、938、947、948 和 956 系列 He 检漏仪配合使用。 （不包括功率探头）

Cambridge Mill Products CMP EZ Elite Z 合成真空泵油，1 升 直接替代安捷伦瓦里安 Elite Z 氦检漏仪油 部件号：695409005 CMP ELITE Z 是一种全合成碳氢化合物流体，通过分子蒸馏过程进行双蒸馏。它具有非常低的倾点，可消除冷启动问题，并且具有非常高的粘度指数，可在许多高转速旋片泵中提供出色的耐高温性能。其分子结构独特，具有优异的化学惰性和高温稳定性。 CMP EZ ELITE 机械泵油的分子量比石油高得多，并且回流趋势大大降低。 CMP ELITE 合成液可与烃油混溶，使用前不需要任何特殊的清洁程序。 CMP ELITE Z 合成材料可用于所有类型的旋片泵。 CMP Elite Z Oil 还可用于安捷伦瓦里安检漏仪：VSMR151、VSBR151、VSPR021、959、948、936、979。典型应用包括：仪器仪表、LPCVP、氮化物沉积、离子注入、等离子蚀刻、溅射和生物医学工艺。注意：这些产品易燃，不应在高富氧环境存在爆炸风险的应用中使用。

Agilent Varian 959 O 形圈套件，用于清洁真空和光谱仪管氦检漏仪。部件号：L6930301 该密封件和垫圈套件专为 Agilent Varian 959 氦检漏真空检测器和光谱仪管而设计。清洁和维修质谱仪管时需要它。

适用于 959、959D 安捷伦检漏仪的 Agilent Varian 接地狭缝板，PN-K3088001 这是备用接地狭缝板，位于检漏仪的离子源腔内。这些板通常会被清洁，然后重新安装，当不再可能清洁时，只需更换即可。必须根据用户手册的维护说明，使用不起毛的手套并在清洁的条件下更换此部件。

Agilent Varian 979、990 DCLDII，用于氦检漏仪的替换钥匙 T009 PN：660356136 这是用于 Agilent Varian 979 和 990 DCLDII 氦检漏仪的替换钥匙，编号 T009。