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Pfeiffer Adixen A3P系列中型半导体干式真空泵基于成熟的多级罗茨真空技术。泵体内部耐腐蚀气体,因此在中等负荷工艺中具有很高的可靠性。该系列的三款型号提供多种抽速选择,能够满足半导体行业对中型真空泵的大部分需求。Pfeiffer Adixen A3P系列适用于洁净室环境,并符合CE和Semi S2标准。

干式泵以其在中等负荷工艺应用中的高可靠性而著称。该系列泵配备温度传感器和惰性气体冲洗装置。低噪音和低振动也是 Pfeiffer Adixen A3P 系列泵的特点。

Pfeiffer Adixen ADH、A4H 和 A4X 系列干式半导体真空泵专为严苛工艺环境而设计,适用于半导体和涂层等行业的化学工艺。这些工艺环境严苛,主要涉及腐蚀性介质,且需要在真空条件下进行处理。因此,对工艺系统的设计和质量有着极高的要求。典型的严苛工艺包括刻蚀、化学气相沉积 (CVD)、原子层沉积 (ALD) 以及金属有机化学气相沉积 (MOCVD)。

由于严苛的工艺流程中会使用腐蚀性化学品,真空泵及其部件必须具备耐腐蚀性。在半导体和涂层行业的应用中,粉末的产生量通常会增加,这可能导致粉末在真空泵内积聚。因此,必须确保所使用的工艺泵能够处理如此大量的粉末。为了最大限度地避免泵内冷凝,通常会采用吹扫气体并结合精密的温度控制系统。

更多信息
8904.163865
Pfeiffer Vacuum EVC 过滤器组, Pfeiffer-Adixen 干式多级罗茨真空泵, Pfeiffer Adixen 干式多级罗茨真空泵,  PN  PT 413 607 -T
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描述

  
Pfeiffer Vacuum EVC 过滤器组, Pfeiffer-Adixen 干式多级罗茨真空泵, Pfeiffer Adixen 干式多级罗茨真空泵,  PN  PT 413 607 -T

这些 Pfeiffer Vacuum EVC 过滤器组  有零件号 PT 413 607 -T, 都是新的,并且配备齐全 Pfeiffer Vacuum 保修单。 Pfeiffer Adixen A3P系列中型半导体干式真空泵基于成熟的多级罗茨真空技术。泵体内部耐腐蚀气体,因此在中等负荷工艺中具有很高的可靠性。该系列的三款型号提供多种抽速选择,能够满足半导体行业对中型真空泵的大部分需求。Pfeiffer Adixen A3P系列适用于洁净室环境,并符合CE和Semi S2标准。

干式泵以其在中等负荷工艺应用中的高可靠性而著称。该系列泵配备温度传感器和惰性气体冲洗装置。低噪音和低振动也是 Pfeiffer Adixen A3P 系列泵的特点。

Pfeiffer Adixen ADH、A4H 和 A4X 系列干式半导体真空泵专为严苛工艺环境而设计,适用于半导体和涂层等行业的化学工艺。这些工艺环境严苛,主要涉及腐蚀性介质,且需要在真空条件下进行处理。因此,对工艺系统的设计和质量有着极高的要求。典型的严苛工艺包括刻蚀、化学气相沉积 (CVD)、原子层沉积 (ALD) 以及金属有机化学气相沉积 (MOCVD)。

由于严苛的工艺流程中会使用腐蚀性化学品,真空泵及其部件必须具备耐腐蚀性。在半导体和涂层行业的应用中,粉末的产生量通常会增加,这可能导致粉末在真空泵内积聚。因此,必须确保所使用的工艺泵能够处理如此大量的粉末。为了最大限度地避免泵内冷凝,通常会采用吹扫气体并结合精密的温度控制系统。

更多信息 Pfeiffer Vacuum EVC 过滤器组  可以通过下载下面的 pdf 目录和文档来找到。只需打开 pdf 下面的目录,运行 pdf 搜索 (ctrl F) 并搜索 PT 413 607 -T.

价格

产品: Pfeiffer Vacuum EVC 过滤器组, Pfeiffer Adixen 干式多级罗茨真空泵, Pfeiffer Adixen 干式多级罗茨真空泵,  PN  PT 413 607 -T

健康)状况: New
保修单: Pfeiffer Vacuum 保修单
零件号: PT 413 607 -T
销售价格: NT$8,904.16

货币 New Taiwan Dollar (TWD)

QTY:   

手册



可供下载:
  Pfeiffer A 100L标准版,低电压,RS232/RS485接口数据表.pdf (0.58 MB)
  Pfeiffer A 200L 多级罗茨泵干式半导体真空泵手册.pdf (0.68 MB)
  Pfeiffer A103P、A603P、A1003P 干式半导体真空泵手册.pdf (0.31 MB)
  Pfeiffer A4系列干式多级罗茨半导体真空泵手册.pdf (1.37 MB)
  Pfeiffer ACP 120G、ACG 600G 干式半导体真空泵操作说明.pdf (6.74 MB)
  Pfeiffer ADH系列高性能干式半导体真空泵手册.pdf (1.33 MB)
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