Pfeiffer Vacuum 套件罗茨 3000 BWY 电机 5KW, 干式半导体多级罗茨真空泵, Pfeiffer Adixen 干式多级罗茨真空泵,  PN  121764

这些 Pfeiffer Vacuum 套件罗茨 3000 BWY 电机 5KW  有零件号 121764, 都是新的，并且配备齐全 Pfeiffer Vacuum 保修单。 Pfeiffer Adixen 中型 A3P 系列半导体干式真空泵基于成熟的多级罗茨技术。泵的内部可抵抗腐蚀性气体。因此，这些泵在中等负载过程中具有很高的可靠性。该系列的三种可用型号提供广泛的抽速，从而满足半导体行业中型真空泵的大多数要求。 Pfeiffer Adixen A3P 系列适合在洁净室中操作，符合 CE 和 Semi S2 标准。

干泵以其在中型工艺应用中的高可靠性而著称。该系列泵配有温度传感器和惰性气体冲洗。低噪音排放和低振动水平是 Pfeiffer Adixen A3P 系列的进一步特征。

Pfeiffer Adixen ADH、A4H 和 A4X 严苛工艺系列干式半导体真空泵适用于半导体和涂层行业等化学工艺。这些过程非常苛刻，因为主要使用侵蚀性和腐蚀性介质并在真空下进行处理。这些介质对工艺系统的设计和质量有最高的要求。典型的严苛工艺包括蚀刻、化学气相沉积 (CVD)、原子层沉积 (ALD) 以及金属有机化学气相沉积 (MOCVD)。

由于恶劣的工艺过程中会使用侵蚀性和腐蚀性化学品，因此真空泵和组件必须耐腐蚀。在半导体和涂层行业的应用中，粉末的出现经常增加，这可能导致真空泵中的积聚。因此，必须确保所使用的流程泵适合该数量的粉末。为了最好地避免泵内部出现冷凝，将吹扫气体与复杂的温度管理相结合。

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