Ebara ESR20N-HT 多级干式真空泵，抽速 45 至 70 CFM（1300 - 2000 l/m），带加热消声器，清洁至中型工艺，水冷，3 相，200-220V，60Hz。
Ebara零件编号：203537。 Ebara ESR 系列（节能罗茨泵）是多级干式真空泵，适用于从清洁到中等负荷的各种工艺应用。Ebara ESR 系列的抽速范围广泛，从 35 立方英尺/分钟 (CFM) 到 1,625 立方英尺/分钟 (CFM)，极限压力低至 1 毫托 (mTorr)。此列表出售 Ebara ESR20N-HT 多级干式真空泵，120 立方英尺/分钟 (CFM)，2000 升/分钟 (L/M)，带加热消声器，适用于清洁到中等负荷工艺，水冷，200-220 伏 / 三相，产品编号：203537。
应用
- 溅射
- 物理气相沉积
- 负载锁和转移
- 灰化
- 离子注入机
- 蚀刻
- 清洁气体和工艺
Ebara ESR 系列干式旋转叶片泵的优点和特点。
- 无油
- 低拥有成本 [电力、氮气、水、占地面积、体积、重量]
- 在清洁应用中，ESR20N 无需氮气吹扫
- 可变抽速以满足应用要求
- 高性能无刷直流电机
- 最先进的控制和监控设备
- 可以采用空闲模式来节省能源
- 经 SEMI S2 评估、NRTL 认证、CE 认证
