Pfeiffer Vacuum Conjunto de filtros para EVC, Bombas de vácuo Roots multiestágio seco Pfeiffer-Adixen, Bombas de vácuo Roots multiestágio seco Pfeiffer Adixen,  PN  PT 413 607 -T

Esses Pfeiffer Vacuum Conjunto de filtros para EVC  tem número de peça PT 413 607 -T, são novos e vêm com completo Pfeiffer Vacuum garantia. As bombas de vácuo a seco para semicondutores da série A3P da Pfeiffer Adixen, para serviço médio, são baseadas na comprovada tecnologia Roots de múltiplos estágios. O interior das bombas é resistente a gases corrosivos. Por esse motivo, as bombas apresentam alta confiabilidade em processos de serviço médio. Os três modelos disponíveis da série oferecem um amplo espectro de velocidades de bombeamento e, assim, atendem à maioria das necessidades de bombas de vácuo para serviço médio na indústria de semicondutores. A série A3P da Pfeiffer Adixen é adequada para operação em salas limpas e está em conformidade com as normas CE e Semi S2.

As bombas a seco distinguem-se pela sua elevada fiabilidade em aplicações de processos de média intensidade. As bombas desta série possuem um sensor de temperatura e purga com gás inerte. A baixa emissão de ruído e o baixo nível de vibração são outras características da série Pfeiffer Adixen A3P.

As bombas de vácuo a seco para semicondutores das séries ADH, A4H e A4X da Pfeiffer Adixen são destinadas a processos químicos severos, utilizados, por exemplo, nas indústrias de semicondutores e revestimentos. Esses processos são severos porque utilizam principalmente meios agressivos e corrosivos, processados sob vácuo. Esses meios impõem os mais altos requisitos de projeto e qualidade aos sistemas de processo. Exemplos típicos de processos severos incluem corrosão, deposição química de vapor (CVD), deposição de camada atômica (ALD) e deposição química de vapor metalorgânica (MOCVD).

Como produtos químicos agressivos e corrosivos são usados em processos de alta exigência, as bombas de vácuo e seus componentes devem ser resistentes à corrosão. Nas aplicações das indústrias de semicondutores e revestimentos, há uma ocorrência frequente de pó, que pode levar ao acúmulo nas bombas de vácuo. Portanto, é fundamental garantir que as bombas de processo em uso sejam adequadas para essa quantidade de pó. Para evitar a condensação dentro das bombas, utiliza-se gás de purga em conjunto com um sistema sofisticado de controle de temperatura.

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