MKS HPS 974 QuadMag MicroPirani Piezo Transdutor de cátodo frio KF40 RS-232, 10-10 a 1000 Torr. PN: 974-91020

O 974 QuadMag oferece uma faixa de medição de 1x10 ^-8 a 1500 Torr e combina magnetron invertido de cátodo frio, tecnologias de sensor diferencial MicroPirani™ e Piezo. O 974 foi projetado especificamente para medição de pressão em um loadlock a vácuo. Ele tem a capacidade de substituir vários dispositivos de medição de pressão em um loadlock com sua medição de pressão absoluta da atmosfera até 10 ^-8 Torr e recursos de comutação atmosférica. Posteriormente, os OEMs podem reduzir os custos com um projeto de bloqueio de carga simplificado. O 974 pode ser usado em loadlocks ou qualquer câmara de vácuo que exija medição de pressão absoluta e recursos de comutação atmosférica. O QuadMag Série 974 possui interface de comunicação digital RS232 ou RS485 para configuração dos parâmetros do transdutor e para fornecer medição de pressão em tempo real.

Os transdutores 974 QuadMag também possuem uma saída de pressão analógica de 0,5VCC/década que pode ser conectada a equipamentos analógicos externos para controle ou leitura de pressão. Outras saídas analógicas e curvas podem ser selecionadas através da interface digital do usuário. A Série 974 QuadMag tem até três relés mecânicos que podem ser usados para controle de processo, exemplos são válvulas ou bombas de intertravamento. O 974 QuadMag Transducer possui um módulo de cátodo frio substituível pelo usuário que oferece facilidade de manutenção sem desmontar os componentes eletrônicos do transdutor. Os clientes que precisam de fonte de alimentação e monitor podem usar o 974 QuadMag com o controlador da série PDR900 vendido neste site. Para especificações completas e informações de operação, consulte os DOWNLOADS DISPONÍVEIS abaixo.