Bomba de vácuo seco multiestágio Ebara ESR20N, velocidade de bombeamento de 45 a 70 CFM (1300 - 2000 l/m), processos de serviço limpo a médio, resfriado a água, trifásico, 200-220 V, 60 Hz.
Número da peça Ebara: 202093. A série Ebara ESR (Energy Saving Roots) são bombas de vácuo secas multiestágio projetadas para aplicações que variam de processos limpos a médios. A série Ebara ESR cobre uma ampla velocidade de bombeamento de 45 a 706 CFM com uma pressão final tão baixa quanto 1,5 mTorr. Esta listagem é para a venda da bomba de vácuo seco multiestágio Ebara ESR20N, 120cfm 2000l/m, processos de serviço limpo a médio, resfriado a água, 200-220V / 3Ph, PN: 202093.
Formulários
- Pulverização
- PVD
- Bloqueio e transferência de carga
- Cinza
- Implantador de íons
- Gravar
- Gases e Processos Limpos
Benefícios e características das bombas de lóbulo rotativo seco da série Ebara EV-A.
- Baixo custo de propriedade [energia, N2, água, pegada, volume, peso]
- Não é necessária purga de nitrogênio para o ESR20N em aplicações limpas
- Velocidade de bombeamento variável para atender aos requisitos da aplicação
- Motores DC sem escovas de alto desempenho
- Dispositivos de controle e monitoramento de última geração
- O modo inativo pode ser empregado para aumentar a economia de serviços públicos
- SEMI S2 avaliado, listado NRTL, marcado CE