BOC Edwards iQDP80 건식 반도체 DryStar 진공 펌프 재구축

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BOC Edwards iQDP80(iQDP-80) 건식 반도체 DryStar 진공 펌프 재구성 iQ Drypumping 시스템은 비교할 수 없는 제어 및 모니터링 기능을 제공하는 마이크로프로세서 제어식 모듈형 건식 펌프 패키지입니다. iQ 펌핑 시스템은 휴대용 LCD 제어판을 통해 로컬로 제어하거나 완전히 맞춤화된 도구 인터페이스를 통해 원격으로 제어할 수 있습니다. 모든 주요 제어 요소는 펌핑 시스템의 공간 내에 위치합니다. iQ 건식 펌핑 시스템에는 주요 시스템 성능 매개변수를 지속적으로 모니터링하고 문제에 대한 사전 경고를 제공하는 통합 센서가 있습니다. 이 펌프에는 펌프 및 모터 온도 센서가 설치되어 있습니다. iQ 펌프세트 매개변수는 다음과 같은 다양한 출력 장치를 통해 모니터링하고 표시할 수 있습니다. 휴대용 또는 패널 장착 제어 모듈; 로컬 PC 또는 노트북 컴퓨터 OEM 지정 도구 인터페이스; Fab 전체 네트워크의 일부인 PC. 이것은 다음 기능에 대한 액세스를 제공하는 휴대용 LCD 제어판 모듈입니다. 시스템 제어 및 구성; 시스템 상태 및 모니터링된 값 진단 및 권장되는 시정 조치. 도구 인터페이스 모듈을 사용하면 프로세스 도구에 완전히 맞춤화된 인터페이스를 제공할 수 있습니다. 이는 차폐 연선 케이블을 통해 iQ 펌핑 시스템과 통신합니다. 프로세스 펌프 서비스 이력 로그, 프로세스/도구별 설정을 확인하고 전원을 켤 때 업데이트되는 통합 시스템 구성을 갖추고 있어 프로세스 도구 간의 최대 펌프 호환성을 제공합니다. 우리가 판매하는 모든 건식 진공 펌프는 뉴멕시코주 앨버커키(NM) 지역에서 엄격한 재구축 과정을 거칩니다. 각 펌프는 완전히 분해되고 모든 부품은 오염 제거 및 검사됩니다. 손상되거나 마모된 부품은 교체됩니다. 모든 베어링, O-링, 씰 및 개스킷이 교체됩니다. 재구축된 펌프는 다양한 부하에서 72시간 동안 성능이 모니터링되는 컴퓨터 제어 압력 진단 시스템에 연결됩니다. 펌프는 작동 중 안전을 보장하기 위해 누출 테스트를 거쳤습니다. 필요에 따라 최종 펌프를 청소하고 도색합니다.