Pfeiffer Vacuum A100L ES BT 1S PL 16P AM V3.7, Pfeiffer-Adixen 건식 다단계 루츠 진공 펌프, Pfeiffer Adixen 건식 다단계 루츠 진공 펌프,  PN  A100L51374

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이 새로운 Pfeiffer ACP 시리즈 소형 건식 러핑 진공 펌프의 진공 펌핑 기술은 마찰이 없는 다단 루트 설계를 기반으로 합니다. Pfeiffer ACP G 시리즈 건식 펌프는 미량의 부식성 가스를 펌핑하도록 특별히 설계되었으므로 펌프 베어링을 보호하는 불활성 가스 퍼지가 필요합니다. 이 Pfeiffer Adixen ACP 시리즈 펌프는 펌핑 모듈 내부에 윤활유 없이 작동하도록 최적화되었습니다. 멀티 루트 건식 펌프의 장점은 오일 프리 및 미립자 프리 건식 진공입니다. 예를 들어, 팁 씰 먼지를 발생시키는 건식 스크롤 펌프와 탄화수소 증기 역류로 인해 오일 씰 로터리 베인 펌프와 달리 멀티 루트 건식 펌프는 오일 프리 및 미립자 프리 건식 진공을 제공합니다. 새롭게 개선된 ACP 건식 진공 펌프는 소유 비용(COO)이 절감되었으며, 22,000시간마다 오버홀만 필요합니다.

경량 공정을 위한 건식 펌프
파이퍼 베큠은 건식 다단 루츠 펌프의 검증된 기술을 기반으로 경량 공정을 위한 다양한 고출력 ACP 시리즈 진공 펌프를 제공합니다. 이러한 용도에서 펌프의 가장 중요한 특징은 빠른 펌핑 속도와 견고성, 그리고 높은 신뢰성입니다.

ACP 시리즈의 공랭식 다단 루트 펌프
ACP 시리즈의 다단 루츠 펌프는 대기압에서 최대 22mTorr까지의 압력 범위에서 오일 및 입자가 없는 환경에 적합합니다. 이 공랭식 펌프는 잔류 가스 분석 시스템, 전자 현미경 또는 초고압(UHV) 시스템에 사용할 때 로터리 베인 펌프를 대체하는 최적의 솔루션입니다. 터보 분자 펌프의 러핑 펌프로도 이상적입니다.

특별히 개발된 G 버전 펌프는 미량의 부식성 가스 이송을 위해 설계되었습니다. 이 ACP 시리즈 버전은 이송 챔버, 공정 모니터링 시스템 및 이온 빔 어플리케이션에 권장됩니다. 공랭식 ACP 시리즈의 CV 버전은 시간당 최대 1,000g의 수증기 처리 용량을 갖추고 있으며, 펌프 블록 내 증기 응축을 방지하도록 설계되었습니다.

SD 버전은 깨끗하고(먼지가 없고) 부식성이 없는 가스를 펌핑해야 하는 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.
파이퍼 ACP 15
파이퍼 ACP 28
파이퍼 ACP 40

G 버전 펌프는 부식성 가스 흔적과 호환됩니다.
파이퍼 ACP 15G
파이퍼 ACP 28G
파이퍼 ACP 40G

CV 버전은 펌핑 모듈 내부의 증기 응축을 방지하도록 특별히 설계되었습니다.
파이퍼 ACP 28CV
파이퍼 ACP 40CV

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