MKS HPS® 423 I-Mag® 센서 냉음극 진공 게이지 KF25, NW25, MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능.
MKS 부품 번호: 104230004 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag® 센서는 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다.
필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다.
이것은 냉음극 센서 전용입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.