Conflat CF 8.0인치를 갖춘 Edwards nEXT400D 터보 진공 펌프. DN160 CF 입구 플랜지 400l/s 펌핑 속도 공냉식 또는 수냉식. PN: B83200400

DN160 CF, Conflat CF 8.0인치 흡입 플랜지가 장착된 Edwards nEXT400D 터보분자 고진공 펌프는 펌핑 속도가 초당 400리터(l/s)이고 최종 압력이 5 x 10 ^-10 mbar(3.7 x 10 ^-10 Torr)입니다. . 이 nEXT400D 펌프에는 ISO KF-25 배기 포어라인 플랜지가 있습니다. 선택적 흡입 스크린(거칠거나 미세함)을 사용할 수 있습니다. nEXT400D 시리즈 터보 펌프는 최대 200W에서 24~48VDC 입력 전력이 필요합니다(정상 작동은 일반적으로 160W 미만). 영구적으로 부착된 DB15 조합 전원 및 제어 케이블이 펌프의 표준입니다. 모든 nEXT400D 터보 펌프에는 RS232 및 RS485 인터페이스가 있는 소형 온보드 컨트롤러, 5개의 상태 LED 및 공랭식 팬이나 솔레노이드 환기 밸브를 제어하기 위한 3핀 Phoenix 커넥터 소켓이 있습니다. 필요한 것은 적절한 전원 공급 장치와 시작/중지 논리뿐입니다. 실험실 사용의 경우 더 작은 크기의 nEXT 펌프에 대한 전원 공급 장치 및 원격 컨트롤러 역할을 모두 수행할 수 있는 200W Edwards 터보 계기 컨트롤러(TIC) 또는 터보 활성 게이지(TAG)를 권장합니다. 또한 솔레노이드 작동식 배기 밸브와 함께 TIC 및 TAG, 강제 공랭식 및 수냉식 키트를 포함한 다양한 옵션 액세서리도 제공합니다. 이 nEXT400D 터보 펌프의 Edwards 부품 번호는 B83200400입니다.

Edwards nEXT400D 터보 펌프 사양:

• 부품 번호: B83200400
• 입구 플랜지: DN160 CF, CF 8.0인치
• 기본 압력: 5 x 10 ^-10mbar (3.7 x 10 ^-10Torr )
• 작동 속도: 60,000RPM
• 작동 위치: 수평에서 수직으로(흡입구 위쪽)
• 펌핑 속도: 400l/s
• 냉각: 강제 공기 또는 물
• 배기 플랜지: KF-25
• 작동 전압: 24-48VDC
• 최대 전력: 200W(일반 작동 < 160W)
• 전원 및 통신: DB15 직렬 RS232/RS485 인터페이스
• 액세서리 포트 1개
• 권장 러핑 펌프: nXDS10i 또는 RV12

nEXT 터보 펌프에는 높은 수준의 신뢰성을 유지하면서 펌프 성능을 최적화하도록 설계된 로터가 있습니다. nEXT 터보 펌프의 "D" 변형은 더 높은 배압 라인 압력에 대한 내성을 향상시키기 위해 터보분자 단계와 드래그 단계를 모두 갖추고 있으며 모든 가스 종에 걸쳐 우수한 펌핑 속도와 압축을 제공합니다. 향상된 성능 외에도 nEXT400D 터보 펌프에는 현장에서 서비스 가능한 오일 카트리지와 샤프트 베어링이 있어 가동 중지 시간이 크게 줄어듭니다. nEXT D 터보 펌프는 펌프 작동 및 대기 속도를 제어하고 솔레노이드 벤트 밸브(TAV5, TAV6) 및 공기 냉각 장치(24VDC 액세서리 포트를 통해)를 작동하기 위한 구동 전자 장치를 갖춘 소형 온보드 컨트롤러의 이점을 활용합니다. 일체형 컨트롤러에는 RS232 및 RS485 직렬 통신과 펌프 전원 공급을 위한 DB15 인터페이스가 있습니다. 또한 컨트롤러에는 펌프의 일반 상태, 작동 및 서비스 상태를 알려주는 5개의 표시기 LED가 있습니다. 옵션인 TIC 터보 계기 컨트롤러 또는 TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러는 펌프에 전원을 공급하고 제어할 수 있습니다.

CF 플랜지가 있는 Edwards nEXT 펌프는 최종 압력이 10 ^-10 Torr 범위에 이르는 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전체 금속 흡기 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 청소하고 베이크 아웃한 경우). ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 (고무/탄성중합체 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 최종 압력이 10 ^-8 Torr 범위로 제한됩니다. Conflat 플랜지 nEXT400D 펌프의 흡입구는 터보가 수냉식일 때 최대 120°C까지 구워질 수 있습니다. Confat 펌프용 히터 밴드는 별도로 판매됩니다.

진공 시스템 통합 애플리케이션의 경우 nEXT400D 펌프는 적절한 사용자가 공급하는 24~48VDC 전원을 통해 전원을 공급받을 수 있습니다. 실험실 응용 분야의 경우 200W Edwards TIC 터보 계기 컨트롤러 또는 TAG 터보 및 활성 게이지 컨트롤러를 권장합니다. 둘 중 하나는 전원을 공급하고 펌프를 제어할 수 있습니다. TIC 컨트롤러 시리즈는 RS232/RS485를 통해 Edwards nEXT 시리즈 펌프와 통신하고 터보 펌프에 대한 전체 모니터링 및 제어 기능을 제공하며 선택적으로 하나 이상의 진공 게이지 기기에 대한 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원입니다. . Edwards 릴레이 박스가 추가되면 TIC 컨트롤러와 주 배압 펌프, 터보 펌프 플랜지 히터 밴드 및 배압 라인 차단 밸브 사이의 제어 인터페이스가 됩니다. TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러는 nEXT400D 터보 펌프 및 진공 게이지에 전원을 공급할 수 있으며 대형 LED 디스플레이는 펌프 속도 또는 진공 압력을 표시할 수 있습니다.

펌프 사용 설명서와 Edwards nEXT 펌프 제품 브로셔는 다운로드 섹션에서 이용할 수 있습니다.

일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.

• 일반 클린 펌핑 애플리케이션
• 주사전자현미경 - SEM
• 빔 라인과 고에너지 물리학
• 질량 분석
• 전자현미경
• 샘플 준비
• 연구 및 개발
• 고에너지 물리학
• 산업용
• 반도체
• 코팅
• 표면 과학 장비