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예어       부품 번호:      

× 진공펌프 모듈형 진공 챔버 스테인레스 스틸 진공 챔버 이상 용접 알루미늄 챔버 ExploraVAC 무제한 챔버 ExploraVAC 진공 챔버 피팅 및 플랜지 피드스루 진공 밸브 재구축 키트, 부품, 모터 진공 유체, 오일 및 그리스 터보 펌프 및 컨트롤러 필터 트랩 소음기 대류 및 진공 오븐 누수 탐지 진공 압력 측정 재순환 냉각기 및 수조
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Agilent Varian AX-65 확산 펌프, KF50, Santovac 5 오일용 250W 히터, 165VAC, PN L9670306

상태:
  새로운
부품 번호:
  P106739
보증:
  명시된 대로*

품절   

₩3,296,332.41

~에 판매: ₩3,131,515.79

Agilent Varian AX-65 확산 펌프, KF50, Santovac 5 오일용 250W 히터, 165VAC, PN L9670306 3131515.79
통화: South Korean Won (KRW)

설명

Agilent Varian AX-65 확산 펌프, KF50 주입구, Santovac 5 오일용으로 설계된 250W 히터, 65l/s의 공기 펌핑 속도
공냉식, 표준 콜드 캡(배플 없음), 단상 165VAC에서 작동, Agilent Varian 부품 번호 L9670306

Agilent Varian 모델 AX-65 고진공 확산 펌프는 공냉식이며 소형 고진공 펌핑을 위한 주요 산업 표준입니다. Agilent Varian AX-65 확산 펌프는 모든 가스에 대해 높은 펌핑 속도를 제공하며 동일한 진공 범위에서 사용되는 다른 유형의 펌프와 비교할 때 단위 펌핑 속도당 비용이 가장 낮습니다. AX-65 펌프에는 확산 펌프 유체의 손쉬운 유지 관리와 지속적인 모니터링을 위한 유리 충진 및 배수 어셈블리가 있습니다. 이러한 AX-65 모델에는 표면적을 늘리고 유체 수명을 연장하는 핀형 보일러가 포함되어 있습니다. 완전 분류 설계를 통해 기화된 유체를 보일러 및 제트 어셈블리에서 분류할 수 있습니다. 오염 및 분해 생성물은 펌핑되어 제거되고 가장 순수한 증기만 상단 제트에 도달하여 최고 속도와 최저 역류를 보장합니다.

이 Agilent Varian AX-65 확산 펌프에는 다음이 포함됩니다.
  • 팬이 있는 공냉식 확산 펌프, PN L9670306
  • 입구 KF50, 출구 KF16
  • 표준 콜드캡(배플 없음)
  • 165VAC @ 250W 히터(Santovac 5 오일과 함께 사용하도록 설계됨)
확산 펌프는 고속 증기 제트를 사용하여 펌프 스로트의 가스 분자를 펌프 바닥과 배출구로 보냅니다. 오일 확산 펌프는 증기압이 낮은 오일(히터 하네스에 따라 Santovac 5 또는 IVP 704)로 작동됩니다. 그 목적은 용적형 펌프만 사용하여 가능한 것보다 더 높은 진공(낮은 압력)을 달성하는 것입니다. Agilent Varian AX-65는 5x10-8 Torr의 압력까지 펌프다운할 수 있습니다. 확산 펌프는 대기 중으로 직접 배출할 수 없으므로 일반적으로 기계식 전펌프, 러핑 펌프를 사용하여 배출구 압력을 약 1mTorr로 유지합니다.

모든 확산 펌프에서는 소량의 역류가 발생합니다. 역류는 반대 방향, 즉 펌프 입구를 향해 전자 현미경이나 용접 챔버의 단계일 수 있는 공정 흐름으로 이동하는 미세한 수준의 오일이 이동하는 것입니다. 일부 애플리케이션에서는 사소한 백스트리밍이 아무런 영향을 미치지 않습니다. 재료의 순도가 중요한 다른 곳에서는 역류가 허용되지 않습니다. 이러한 이유로 Agilent Varian AX-65에는 오일 입자가 공정 흐름에 도달하기 전에 방향을 바꾸는 배플이 선택적으로 장착될 수 있습니다.

Agilent Varian 확산 펌프는 신뢰성이 매우 높고 설계가 단순하며 소음이나 진동 없이 작동합니다. 확산 펌프는 여전히 고진공 압력을 생성하는 가장 경제적인 수단입니다. 또한 확산 펌프는 다른 유형의 고진공 펌프를 파괴할 수 있는 과잉 입자 및 반응성 가스와 같은 작동 조건을 견딜 수 있습니다. 1상 90, 115, 165 또는 220VAC 히터 하니스와 함께 주문할 수 있습니다. 우리는 이 펌프용 Santovac 5 및 IVP 704 확산 펌프 유체를 비축 및 판매합니다(히터 하니스에 따라 다름). 진공 응용 분야 및 유지 관리 요구 사항에 도움이 될 수 있는 추가 액세서리는 아래 "관련" 섹션을 참조하십시오. 당사는 이 웹사이트에서 별도로 판매되는 다양한 진공 그리스, 오일, 진공 피팅, 호스, 진공 게이지, 센서/트랜듀서, 부품 및 액세서리를 제공합니다.

Agilent Varian AX-65 확산 펌프에는 KF50 흡입 진공 플랜지가 있고 Santovac 5 오일과 함께 사용하도록 설계된 250W 히터가 포함되어 있으며 펌핑 속도가 65l/s이고 공냉식이며 소형이므로 작은 장비에 쉽게 통합할 수 있습니다. 실험실 장비는 단상 165VAC에서 작동하며 Agilent Varian 부품 번호 L9670306을 가집니다. Agilent Varian AX 65 확산 펌프 사용자 사용 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다. 이는 주문한 당일 배송되는 경우가 많은 일반적인 재고 품목입니다.

소책자

Specifications
Specification Units AX-65 with cold cap AX-65 with baffle
Operating Range
Torr
mbar
3x10⁻³ to < 5x10⁻⁸
3.9x10⁻³ to < 6.5x10⁻⁸
8.0x10⁻³ to < 5x10⁻⁸
10.4x10⁻³ to < 6.5x10⁻³
Pumping Speed,
Maximum
l/s, Air
l/s, Helium
65
90
30
65
Throughput (Air), Max.
Optimum Range

Overload Range
(@ 1x10⁻² Torr)
Torr-l/s
mbar-l/s

Torr-l/s
mbar-l/s
0.19
0.25

0.30
0.40
Forepressure, Max.
No Load


Full Load
Torr
mbar

Torr
mbar
0.75
1.00

0.60
0.78
Compression Ratio Air
He
4x10⁻⁷
4x10⁻⁶
Backstreaming Rate
at Pump Inlet
mg/cm² < 2x10⁻⁴ < 2x10⁻⁵
Electrical Power
VAC, 50/60 Hz
1 Phase
Watts 200/250
Warmup Time minutes 7
Cooldown Time minutes 10
Fluid Charge cc 30
Recommended
backing pump
capacity
cfm (m³/hr) ≥ 1.5 (2.5)
Cooling Fan cfm 30
Inlet Flange N/A NW50 or ISO-63-K
Body N/A Stainless steel
Jet Assembly N/A Three-stage, self-aligning, aluminum, w/ aluminum cold cap
Net Weight lbs (kg) 8 (3.63)

AX-65 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description Part No. Item
Jet Assembly L9674301 1
Cold Cap L9675301 2
Inlet Baffle L9706001 3
Inlet Baffle Retrofit Kit R1160065 3
Jet Alignment Kit L9995301 4
Heaters (one heater required per pump) 5
   90 V / 250 watt Heater Harness L9994301 5.1
   115 V / 250 watt Heater Harness L9994303 5.2
   165 V / 250 watt Heater Harness L9994302 5.3
   220 V / 250 watt Heater Harness L9994304 5.4
   115 V / 250 watt Heater Harness L9994307 5.5
   220 V / 250 watt Heater Harness L9994308 5.6
Normally Closed Thermal Switch (set to open at 365°) L9964001 6
Optional Normally Open Switch (set to close at 170°) L9964002 7
Fan 661300138 8
Foreline Baffle L9676301 9
Inlet Centering Ring Assembly, NW50 with Viton O-ring L9680301 10
Foreline Centering Ring Assembly, NW16 with Viton O-ring KC16AV 11
Bottom Insulation L9701002 12
Santovac 5 diffusion pump fluid, 40 cc 695405001 13
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
문의하기
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 뉴 멕시코 87109-5805 USA

핸드폰: (505) 872-0037
팩스: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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