Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子真空ポンプ、ISO-200K インレットフランジ、排気速度 950 L/S。冷却キットが必要です。Agilent Varian 部品番号 9698931。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子高真空ポンプには ISO-200K インレット フランジがあり、到達圧力は 1x10-8 Torr (ゴム O リングからのガス放出によって制限されます) です。吸気 ISO センタリング リングにシールが付いています)、Agilent Varian の部品番号は 9698931 です。すべて金属でシールされたコンフラット吸気ガスケットを備えたコンフラット バージョンは、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空ポンプです。正しく使用されています。 Turbo-V 1001 ターボ ポンプは、最小のコストとサイズで最大の性能を発揮し、窒素 (N2) の排気速度 950 l/s を実現します。 Turbo V 1001 をすべての排気プロファイルで動作させるために使用できる、14 CFM 程度の小さなプライマリ ポンプ サイズ (IDP-15 ドライ スクロール ポンプや DS402 ロータリー ベーン真空ポンプなど) をお勧めします。 Turbo-V 1001 は、軽ガスの高圧縮比を達成し、ポンプのスループットを最大化する MacroTorr ドラッグ ステージ技術を備えた複合ポンプです。定義上、Turbo-V 1001 の Navigator バージョンにはターボ ポンプ コントローラがターボ ポンプの下にローカルに取り付けられており、Navigator コントローラの部品番号は 9698978 です。ただし、Turbo-V 1001 がラックマウント コントローラから給電される場合、ナビゲーターとは呼ばれず、単にTurbo V 1001ターボポンプと呼ばれます。ラックマウント コントローラの部品番号は Agilent X3501-64003 です。 Agilent Varian Turbo-V 1001 ナビゲータ (ポンプの下にコントローラが取り付けられている) は、多くの場合、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビーム システム (FIB)、表面分析などの最新の集束ビーム システムを含む多くの分析機器アプリケーションに統合されています。 SEM、TEM、FIB は、電子またはイオンを顕微鏡サンプルに投影して詳細な分析を行うカラムを利用します。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator ターボ ポンプは、大きなサンプル チャンバのオイルフリーの高速排気を実現するため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントです (オイルフリー動作は、次のような多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。半導体製造）。 Agilent Varian Turbo-V 1001 の特長: 低ベース圧力での動作を可能にする軽質ガスの高い圧縮比 クリーンな真空システムのための炭化水素フリー リモート コントローラで 100 m 離れた場所からの動作が可能 任意の位置に設置可能で統合が容易 メンテナンスフリーのベアリングで運用コスト ゼロ 準備完了Vacuum Link アプリによるワイヤレス制御により、外出先でのポンプ操作が可能 耐放射線および耐磁場設計 電子機器が組み込まれていないため、厳しい磁場および放射線環境での動作が可能 電磁放射が低いため、アプリケーションプロセスへの干渉がないことが保証されます 振動と騒音レベルが低く、製品への影響がゼロシステム Agilent Varian Turbo-V 1001 仕様: 動作周囲温度: +5 ～ +35 °C 保管周囲温度: -20 ～ +70 °C 基本圧力: 1x10-8 Torr (ISO O リング シールによって制限される) 圧縮比H2: 1 x 10^6 フランジ タイプ: Conフラット CF 10 インチ フォアライン フランジ サイズ: KF 40 NW 最大ガス スループット - Ar、水冷: 7.5 mbar L/s; 444 sccm 最大ガス スループット - N2、水冷: 10 mbar L/s; 592 sccm 騒音レベル: 45 dB(A) 公称回転速度: 38 KRPM 動作位置: 任意の排気速度 - H2: 900 L/s (ISO-200 入口フランジ) 排気速度 - He: 870 L/s (ISO-200 入口)フランジ) ポンピング速度 - N2: 950 L/s (ISO-200 入口フランジ) 推奨フォアポンプ容量: 15 m3/h 起動時間: < 4 分 重量: 21.2 kg

Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子真空ポンプ、Conflat CF 10 インチ入口フランジ、排気速度 950 L/S。冷却キットが必要です。Agilent Varian 部品番号 9698932。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子高真空ポンプには、Conflat 10 インチ入口フランジ、到達圧力 1x10-10 Torr、Agilent Varian 部品番号 9698932 が付いています。 1001 ターボ ポンプは、最小のコストとサイズで最大の性能を発揮し、窒素 (N2) の排気速度 950 l/s を実現します。 Turbo V 1001 をすべての排気プロファイルで動作させるために使用できる、14 CFM 程度の小さなプライマリ ポンプ サイズ (IDP-15 ドライ スクロール ポンプや DS402 ロータリー ベーン真空ポンプなど) をお勧めします。 Turbo-V 1001 は、軽ガスの高圧縮比を達成し、ポンプのスループットを最大化する MacroTorr ドラッグ ステージ技術を備えた複合ポンプです。コンフラット吸気を備えた Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ ポンプは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空 (UHV) ポンプです。たとえば、これらのポンプの Conflat バージョンでは、インテークフランジは120℃までベークしてください。定義上、Turbo-V 1001 の Navigator バージョンにはターボ ポンプ コントローラがターボ ポンプの下にローカルに取り付けられており、Navigator コントローラの部品番号は 9698978 です。ただし、Turbo-V 1001 がラックマウント コントローラから給電される場合、ナビゲーターとは呼ばれず、単にTurbo V 1001ターボポンプと呼ばれます。ラックマウント コントローラの部品番号は Agilent X3501-64003 です。 Agilent Varian Turbo-V 1001 ナビゲータ (ポンプの下にコントローラが取り付けられている) は、多くの場合、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビーム システム (FIB)、表面分析などの最新の集束ビーム システムを含む多くの分析機器アプリケーションに統合されています。 SEM、TEM、FIB は、電子またはイオンを顕微鏡サンプルに投影して詳細な分析を行うカラムを利用します。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator ターボ ポンプは、大きなサンプル チャンバのオイルフリーの高速排気を実現するため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントです (オイルフリー動作は、次のような多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。半導体製造）。 Agilent Varian Turbo-V 1001 の特長: 低ベース圧力での動作を可能にする軽質ガスの高い圧縮比 クリーンな真空システムのための炭化水素フリー リモート コントローラで 100 m 離れた場所からの動作が可能 任意の位置に設置可能で統合が容易 メンテナンスフリーのベアリングで運用コスト ゼロ 準備完了Vacuum Link アプリによるワイヤレス制御により、外出先でのポンプ操作が可能 耐放射線および耐磁場設計 電子機器が組み込まれていないため、厳しい磁場および放射線環境での動作が可能 低電磁放射により、アプリケーションプロセスへの干渉がないことを保証 低振動および騒音レベルで影響ゼロAgilent Varian Turbo-V 1001 仕様: 動作周囲温度: +5 ～ +35 °C 保管周囲温度: -20 ～ +70 °C 基本圧力: <1 x 10-10 Torr 圧縮比 H2: 1 x 10 ^6 フランジ タイプ: コンフラット 10 インチ フォアライン フランジ サイズ: KF 40 NW 最大ガス スループット - Ar、水冷: 7.5 mbar L/s; 444 sccm 最大ガス スループット - N2、水冷: 10 mbar L/s; 592 sccm 騒音レベル: 45 dB(A) 公称回転速度: 38 KRPM 動作位置: 任意の排気速度 - H2: 900 L/s (CF 10 インチ フランジ) 排気速度 - He: 870 L/s (CF 10 インチ フランジ)ポンプ速度 - N2: 950 L/s (CF 10 インチ フランジ) 推奨フォアポンプ容量: 15 m3/h 起動時間: < 4 分 重量: 21.2 kg

Agilent Varian Turbo-V 1001 ラックマウント コントローラ、Turbo-V 1001 ターボ ポンプ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3501-64003。 Agilent Varian Turbo-V 1001 ラックマウント コントローラは、Turbo-V 1001 ターボ分子ポンプ、冷却ファン、ベント バルブに電力を供給できます。これらの Agilent Varian TV1001 ラックマウント ターボ ポンプ コントローラは、100、120、220、または 240 ボルトの AC 入力電源で動作できます。手動操作の入力電圧セレクターがラック マウント コントローラーの電源入力に統合されています (下の写真を参照)。マイナスドライバーを使用して電圧セレクターボックスを取り出し、電圧セレクターを目的の入力電圧まで回転させ、再度挿入します。 Agilent Varian TV1001 ラックマウント ターボ ポンプ コントローラには、冷却ファンおよびベント バルブ デバイスに電力を供給するための補助電源コネクタ (最大出力 1 アンペア) も組み込まれています。これらの補助コネクタは、コントローラの背面の右上隅にあります (下図を参照)。警告、これらの補助電源コネクタは粗引きポンプ (最大出力 1 アンペア) への電力供給には使用できません。ターボ ポンプからコントローラーへのケーブルは Turbo-V 1001 ラックマウント コントローラーに組み込まれており、標準の長さは 10 フィートです。ラックマウント コントローラ ハンドルの背面にある P1 コネクタは、他のロジックと連動します (下の写真を参照)。新しい Turbo-V 1001 ラックマウント コントローラには P1 インターロック ジャンプ コネクタが付属しており、インターロックをバイパスして設置後にポンプを開始できるようにするには、このコネクタを所定の位置に取り付ける必要があります。すべてのオプションのアクセサリ、ポンプ、コントローラ、 Ideal Vacuum ではさまざまな構成をご用意しています。ユーザーマニュアルと Agilent Varian Turbo-V 1001 ラックマウントコントローラカタログのパンフレットセクションは、以下の PDF 形式でダウンロードできます。

Turbo-V 1001 ターボ ポンプ用の Agilent Varian TV 1001 Navigator オンボード コントローラ。 Agilent Varian 部品番号 9698978。Agilent Varian TV 1001 Navigator コントローラは、下または側面に取り付けて、Turbo-V 1001 ターボ分子ポンプ、冷却ファン、ベント バルブに電力を供給するように設計されています。これらの Agilent Varian TV 1001 Navigator コントローラは、100 ～ 240 VAC の任意の入力電圧で自動的に動作するように構築されています。 Agilent Varian TV 1001 Navigator ターボ ポンプ コントローラには、それぞれポート P4 および P3 を介して冷却ファンとベント バルブ デバイスに電力を供給するための補助 24 VDC 電源コネクタも組み込まれています (写真を参照)。ターボ ポンプからコントローラーへのケーブルは TV 1001 Navigator コントローラーに接続されており、長さは 1 フィートです。 Navigator コントローラーの側面にある J1 コネクタは、インターロックおよびその他のロジックを処理します。新しい TV 1001 Navigator コントローラーには、嵌合 J1 インターロック ジャンプ コネクタが付属しています。この嵌合コネクタは、インターロック回路を閉じて、設置後にポンプを始動できるように所定の位置に配置する必要があります。 Turbo V 1001 Navigator コントローラの J2 シリアル ポートは、Agilent Varian A-Plus ソフトウェアを使用してターボ システムと通信するために使用できます (以下のオプションのアクセサリを参照)。すべてのオプションのアクセサリ、ポンプ、コントローラ、およびさまざまな構成は、Ideal Vacuum から入手できます。 。ユーザーズマニュアルとパンフレットはダウンロードで入手できます。

Varian Agilent AC 主電源ケーブル NEMA プラグ、ターボ ポンプ コントローラ用、3 メートル。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699958。この Agilent ターボ分子真空ポンプ AC 主電源ケーブルは、NEMA 5-15 プラグ壁コンセント接続を備えており、ほとんどの Agilent ターボポンプ コントローラで動作します。長さは 3 メートル、Agilent Varian 部品番号は 9699958 で、次のターボ ポンプ モデルで動作します: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボポンプ入口スクリーン、ISO-200 または Con flat CF 10 インチ入口フランジを備えた大型 TwistTorr および Turbo-V ポンプ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: 969-9316。これらの Agilent Varian インレットスクリーンは、ISO-200 または CF 10 インチ吸気フランジを備えた大型 TwisTorr FS および Turbo-V ターボ分子真空ポンプを保護するように設計されています。注入口スクリーン (飛散防止ガード) は見落とされがちな小さな付属品ですが、真空システムの非常に重要な部分です。ローターに落ちたり吸い込まれたりする可能性のある小さな物体や破片からターボを保護するために使用されます。これらのターボ吸気破片シールドは、ポンプを異物から保護するのに役立ちます。Agilent Varian の部品番号は 9699316 です。Agilent TwisTorr および Turbo-V ターボ ポンプ モデルで動作します: TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

ローカルナビゲータコントローラを備えた大型 TwisTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプ用の Agilent Varian ファン空冷キット。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699297。これらの Agilent Varian TwistTorr および Turbo-V 空冷ファン キットは、ローカル Navigator (底部またはサイド ポンプに取り付けられた) コントローラと連動するように設計されており、Agilent Varian 部品番号 9699297 です。これらのキットには空冷ファン キットが含まれています。ファン、P4 コネクタを介して冷却ファンを Navigator コントローラの 24 VDC 電源に接続するための電源ケーブル、およびポンプ取り付けスタイルのブラケットの底部。これは注文時に非常に重要です。Agilent Varian 大型 TwistTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプには 2 つの異なる空冷ファン キットがあります。1 つは、冷却ファンが 115 VAC で動作するリモート ラックマウント コントローラで動作するように設計されています。ここで販売されているもう 1 つは、24VDC で動作する底部または側面に取り付けられたローカル Navigator コントローラーで動作するように設計されています (横の中央の図を参照)。 Agilent TwisTorr Navigator コントローラ駆動のターボポンプモデルで動作: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

リモート ラック マウント コントローラ付き Agilent 大型 TwisTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプ用ファン空冷キット、X3501-68016、X3501-64003。これは、Agilent TwisTorr FS 404、704、804 および Turbo-V 1001 ターボ分子真空ポンプ用のエアファン冷却キットです。ポンプのベースに取り付けられ、ポンプに半径方向の冷却を提供します。ラックに取り付けられた X3501-68016 または X3501-64003 ターボ ポンプ コントローラーの背面にある丸い J3 FAN コネクタに接続します。このファン空冷キットには、長さ 20 フィートのケーブルが付属しており、必要な取り付け金具がすべて含まれています。これは、Agilent X3501-68001 ファン空冷キットの直接代替品です。これらの Agilent ターボ分子ポンプ モデルと互換性があります: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001 これらのラックマウント Agilent ターボ分子ポンプ コントローラ モデルと互換性があります: X3501-68016 X3501-64003 このファン キットは、Agilent オンボード ナビゲータ ターボ ポンプとは互換性がありませんコントローラー。当社では、オンボード コントローラ用のファン冷却キットのほか、Agilent ターボ ポンプおよびアクセサリの全製品を他のリストで提供しています。ポンプとコントローラーの詳細については、ダウンロードをご覧ください。

Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボポンプ空冷キット、V1000 HT ラックマウントコントローラ用 120VAC、PN 9699315 はコントローラ V 1000HT ラックコントローラ 110VAC PN 9699554 にのみ接続され、V 1001 ラックコントローラには接続されません。これらの Agilent Varian 空冷ファン キットは、V 1000HT ラックマウント コントローラで動作するように設計されています。これらのキットには、空冷ファン、V1000HT ラックマウント コントローラの背面にある補助電源 J6 コネクタ (最大出力 1 A) の 120 VAC 電源に冷却ファンを接続するための電源ケーブル、およびポンプ取り付けスタイルのブラケットの底部が含まれています。ご注文の際はとても重要です！ Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子ポンプには 2 つの異なる空冷ファン キットがあります。 このユニットは、冷却ファンが 120 VAC で動作する、ここで販売されているラックマウント V1000 HT コントローラと連動するように設計されています。もう 1 つは、底面または側面に取り付けられた Navigator V1001 コントローラで動作するように設計されており、冷却ファンは Agilent Varian 部品番号 9699297 の 24 VDC で動作します。これらは異なる製品であり、個別のコンポーネントからシステムを注文する場合は注意が必要です。

Agilent Varian ターボ水冷キット、金属ホースバーブ付き、6x8 mm チューブサイズ用に設計されたほとんどの Agilent ターボ分子ポンプに適合、Agilent Varian 部品番号 PN: 9699337 これらの金属水冷キットは、Agilent Varian TwisTorr 305 FS、750 の水冷を提供するように設計されています。 FS、および 850 FS ターボ分子真空ポンプ。高品質ポリウレタン (PUR) などの内径 6 mm x 外径 8 mm のプラスチック ホースに簡単に接続できるように設計されており、Agilent Varian の部品番号は PN 9699337 です。モデル: TwisTorr 305 FS TwisTorr を含む、ほとんどの Agilent Varian ターボ ポンプに適合します。 305 IC ツイトール 404 FS ツイトール 704 FS ツイトール 804 FS チューブロ V 1001

Agilent Varian ターボ水冷キット (プラスチックホース継手付き) は、ほとんどの Agilent ターボ分子ポンプに適合します。内径 4 mm x 外径 6 mm プラスチック ホース用、Agilent Varian 部品番号 PN: 9699347。 これらのプラスチック チューブ水冷キットは、Agilent Varian TwisTorr 305 FS、750 FS、および 850 FS ターボ分子真空ポンプを水冷するように設計されています。内径 4 mm x 外径 6 mm のプラスチック ホースに簡単に接続できるように設計されており、Agilent Varian 部品番号は PN 9699347 です。以下のモデルを含むほとんどの Agilent Varian ターボ ポンプに適合します。 TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS ターボ-V 1001

Agilent A-Plus ソフトウェアの無料ダウンロードと 3 メートルの長さのシリアル ケーブルは、すべての Agilent ターボおよびターボ システムを PC (旧名 T-Plus) に接続します。 Agilent 製品番号: 9699883 Agilent A-Plus ソフトウェア (以前は T-Plus ターボ ポンプ制御ソフトウェア)、および LabVIEW ドライバ パックは、Ideal Vacuum から無料でダウンロードできるようになりました (以下の無料ダウンロード リンクを参照)。ダウンロードには、32 ビット バージョンと 64 ビット バージョンの両方が含まれます。このリストは、A-Plus ソフトウェアを使用するときにターボまたはターボ システムを PC に接続するために必要な、長さ 3 メートルの Agilent OEM、DB9、オス-メス シリアル ケーブルの販売です。 Agilent Technologies A-Plus ソフトウェアは、Agilent Varian ターボ分子ポンプおよび Agilent Windows シリアル プロトコルを使用するその他すべての Agilent 製品用の、ユーザーフレンドリーな通信、制御、監視アプリケーションです。 A-Plus ソフトウェアは、RS232 または RS485 シリアル通信ポートを介して PC に接続された 1 つ以上のターボ ポンプを同時に制御および駆動できます。 PC にシリアル ポートがない場合は、シリアル - USB ケーブル (部品番号 P104165) を使用できます。 A-Plus ソフトウェアには、接続されたポンプの自動認識機能が含まれており、接続された各ポンプの動作を表示します。使いやすいように、各コマンドの説明が常に画面に表示されます。 A-Plus ソフトウェアには、真空デバイスを迅速に構成し、いつでも真空システムのステータスを確認できるようにするために、データ ロギング、チャート表示、ネットワーク構成などのオプションが含まれています。包括的なオンライン ヘルプがソフトウェア パッケージに含まれています。 A-Plus ソフトウェア用の長さ 3 メートルの Agilent ケーブルの部品番号は 9699883 です。 Agilent A-Plus ソフトウェアは、次のポンプ モデル (およびその他) で動作します: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS Varian TPS-Compact Varian TPS-MiniTask

コンピュータにシリアル ポートがない場合の Agilent Varian T-Plus ソフトウェア用の RS232 シリアル - USB アダプタ ケーブル。 3 フィート。この 3 フィートの RS232 - USB アダプタ ケーブルを使用すると、USB ポートはあるがシリアル ポートがないリモート コンピュータから Agilent Varian T-plus ターボ ポンプを制御できます。 T-Plus ソフトウェアにはシリアル接続が必要です。 RS232 または RS485 シリアル通信ポートがなく、USB 2 接続ポートしかない PC の場合、このケーブルを使用すると、T-plus ターボ ポンプを USB 2 ポートに接続し、同じ T-Plus ソフトウェア機能を使用できるようになります。 PC にシリアル通信ポートがあるかのように。

Agilent Varian ターボ ベント フランジ交換品、M8x1.2 付き KF-10 真空フランジ、ほとんどの Agilent ターボ分子真空ポンプに適合Agilent Varian 部品番号 PN: 9699108 これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント フランジは、ほとんどの Agilent ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 M8 x 1.2 ネジ付きの KF-10 真空フランジと Agilent Varian 部品番号 PN: 969-9108 が付いています。次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボベントバルブ、ノーマルオープン (NO)、オリフィス 1.2 mm、TwisTorr または Turbo-V (統合コントローラまたはオンボードナビゲータ) ターボポンプ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699834。これらの Agilent Varian ベント バルブは、TwisTorr FS および Turbo-V (統合コントローラまたはオンボード ナビゲータ付き) ターボ ポンプ用に設計されています。ベントバルブが統合コントローラから電力とロジックを取得できるようにするためのアダプタも必要です。必要なアダプタの Agilent Varian 部品番号 X3514-68001 (中央の写真を参照)。これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント バルブ キットには 1.2 mm のオリフィスがあり、通常は開いており (NO)、ターボ コントローラの電源がオンになると閉じられます。電源が失われた場合、このベントバルブが開き、ターボを安全に停止させる速度でターボに空気を導入し始めます。これにより、ポンプのベアリングに負担をかける共振周波数を通過する時間を制限することで、ターボの寿命を延ばすことができます (これらの共振を通過すると、ポンプの音が実際に大きくなるのが聞こえます)。停電後の排気は、補助ポンプからの逆流を防ぐためにも重要です。停電後にターボに真空が残っていると、補助ポンプからの油や破片がターボ ポンプに吸い戻される可能性があります。停電時にターボを保護するために、ベントバルブまたは粗引きライン常閉 (NC) 遮断バルブの使用をお勧めします。このキットには、Agilent Varian ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要なハードウェアが含まれています。これらの 305-IC ベント バルブ用の 5 メートルのベント バルブ延長ケーブル (Agilent Varian 部品番号 9699949) も販売しています。これは、ローカル ツールまたは実験室機器からのロジックによってベントを制御するために使用されます。以下の PDF ダウンロード セクションで入手可能な取扱説明書をご覧ください。以下の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します: TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS オンボード ナビゲータ TwisTorr 704 FS オンボード ナビゲータ TwisTorr 804 FS オンボード ナビゲータ Turbo-V 1001 オンボード ナビゲータ

Agilent Varian ターボポンプベントバルブキット、遅延ベント、通常開 (NO)、1.2 mm オリフィス、TwisTorr および Turbo-V ラックマウントコントローラ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3501-68002。これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント バルブ キットは、1.2 mm のオリフィス、M8 x 1.2 mm ネジ山を備え、ケーブル長は 5 メートルで、通常は開いており (NO)、ターボ コントローラの電源がオンになると閉じられます。電源が失われた場合、このベントバルブが開き、ターボを安全に停止させる速度で空気をターボに導入し始めます。これは、ポンプのベアリングに負担をかける共振周波数を通過する間にターボが費やす時間を制限することで、ターボの寿命を延ばすのに役立ちます (これらの共振を通過すると、ポンプの音が実際に大きくなるのが聞こえるでしょう)。停電後の排気は、補助ポンプからの逆流を防ぐためにも重要です。停電後にターボに真空が残っていると、補助ポンプからの油や破片がターボ ポンプに吸い戻される可能性があります。停電時にターボを保護するために、ベントバルブまたは粗引きライン常閉 (NC) 遮断バルブの使用をお勧めします。このキットには、Agilent Varian ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要なハードウェアが含まれています。これは、Agilent Varian ラックマウント ターボ ポンプ コントローラの背面に差し込むように設計されており、中央の写真の J4 PURGE VENT を参照してください。Agilent Varian 部品番号は X3501-68002 です。以下の PDF ダウンロードセクションで利用可能な取扱説明書をご覧ください。次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します:TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボパージバルブ、10 SCCM KF-16 x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 969-9239。これらの Agilent Varian ターボパージ バルブは、10 SCCM の固定流量、KF-16 フランジ付きガス供給フィッティングを備え、M12 ベントポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、正確な小さなリーク率を提供し、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜が付いています。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar (分析機器、イオン注入装置) の場合の穏やかな腐食性動作向けの小さなリーク (1000 mbar で ~ 10 sccm)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9239。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、10 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699240。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、10 SCCM の固定流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9240があります。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、20 SCCM KF-16 x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699241。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量、KF-16 ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9241があります。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、20 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699242。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9242。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、10 SCCM には 7/16 および 1/4 Swagelok 継手が付いており、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699232。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、固定流量 10 SCCM を備え、7/16 および 1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、ほとんどの中型のパージ ガス供給ラインに挿入できるように設計されています。ターボ分子真空ポンプ。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9232があります。

Agilent Varian ターボ分子真空ポンプ、20 SCCM には 7/16 および 1/4 Swagelok 継手が付いており、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699236。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量を備え、7/16 および 1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、ほとんどの中型のパージ ガス供給ラインに挿入できるように設計されています。ターボ分子真空ポンプ。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9236があります。