可変リークバルブ、CF 2.75 インチ x CF 1.33 インチ、光学的にフラットなサファイアポペットを備えた可動ピストンが含まれます。この可変リークバルブは、あらゆる真空システムに追加することで、調整可能なリーク量を実現します。1 x 10
-10 Torr-L/秒という微小なリーク量でも、比類のない制御感度と安定性を提供し、リーク量が増加するにつれて変化率も増加します。これにより、リーク量を正確に制御できます。駆動機構を含むバルブ全体は、開状態および閉状態のいずれにおいても450℃までベーク可能です。このバルブは、10
-11 Torr (mbar)未満の大気圧から10 -11 Torr (mbar)未満の真空範囲で動作し、最大入口ガス圧力は14.5 psigです。
可変リークバルブが取り付けられているメインフランジ接続部は、外径2 3/4インチのコンフラットフランジと接続できます。入口ガス接続部は、標準の1 1/3インチコンフラットフランジを介して接続されます。リーク量調整はローレットノブで行います。リークを開放するには、ローレットノブを(一緒に)反時計回りに、少なくとも2回転以上回します。バルブを閉じるには、ノブを(一緒に)時計回りに、ハンドルに対して止まる位置まで回します。
可変リーク バルブには、光学的に平坦なサファイアが付いた可動ピストンが含まれ、このサファイアが固定された金属ガスケットと接触します。これにより、摩擦、固着、およびせん断から完全に自由なシールが形成されます。サファイアの動きは、ねじ付きシャフトとレバーの機構によって制御されます。スプリング ワッシャーがこの駆動機構に一定の負荷をかけ、このタイプのデバイスに通常伴うバックラッシュを排除します。これにより、指で操作する調整ノブの小さな動きに即座に反応します。シールが行われるたびにガスケットにいくらかの永久圧縮が行われますが、その変化はごくわずかです。ノブを元の位置に戻すと、リーク率はほぼ同じになります。シール機構の両コンポーネント (サファイア アセンブリとガスケット アセンブリ) は簡単に交換できます。ガスケットの寿命は、未焼成システムの場合で約 300 回の閉鎖ですが、焼成システムの場合はわずか 20 ~ 30 回の閉鎖です。
この可変リークバルブは、ターボチャージャーを特定の範囲で作動させ、その圧力を維持するために正確な圧力選択を必要とするアプリケーションに最適です。このバルブは、特定のアプリケーションのニーズに合わせて圧力選択を変更し、その後、簡単かつ正確に別の圧力選択に切り替えることができるように設計されています。
特徴
- 特殊用途バルブアプリケーション向けに製造
- 真空範囲:大気圧から10 -11 torr(10 -11 mbar)以下
- ヘリウム質量分析計で漏れが検出されない漏れ率
1 x 10 -10 std cc/秒の感度を持つリーク検出器
- 450℃まで焼成可能