BOC Edwards iQDP80 ドライ半導体 DryStar 真空ポンプ リビルト

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BOC Edwards iQDP80 (iQDP-80) ドライ半導体 DryStar 真空ポンプ再構築 iQ ドライポンプ システムは、比類のない制御および監視機能を提供する、マイクロプロセッサ制御のモジュール式ドライ ポンプ パッケージです。 iQ ポンプ システムは、手持ちの LCD コントロール パネルでローカルに制御することも、完全にカスタマイズされたツール インターフェイスを通じてリモートで制御することもできます。すべての主要な制御要素はポンプ システムの設置面積内に配置されています。iQ ドライ ポンプ システムには統合センサーがあり、主要なシステム性能パラメータを継続的に監視し、問題を事前に警告します。これらのポンプにはポンプとモーターの温度センサーが取り付けられています。 iQ ポンプセットのパラメータは、次のようなさまざまな出力デバイスを通じて監視および表示できます。ハンドヘルドまたはパネルに取り付けられた制御モジュール。ローカル PC またはラップトップ コンピューター。 OEM指定のツールインターフェイス。工場全体のネットワークの一部としての PC。これは、次の機能へのアクセスを提供するハンドヘルド LCD コントロール パネル モジュールです。システムステータスと監視値。診断と推奨される修正措置。ツール インターフェイス モジュールを使用すると、完全にカスタマイズされたインターフェイスをプロセス ツールに提供できます。シールドツイストペアケーブルを介して iQ ポンピングシステムと通信します。プロセスポンプのサービス履歴ログ、プロセス/ツール固有の設定をチェックする統合システム構成があり、電源投入時に更新され、プロセスツール間でポンプの互換性を最大限に高めます。当社が販売するすべてのドライ真空ポンプは、ニューメキシコ州アルバカーキ (ニューメキシコ州) の拠点で厳格な再構築プロセスを経ています。各ポンプは完全に分解され、すべての部品が除染および検査されます。損傷または磨耗した部品は交換されます。すべてのベアリング、O リング、シール、ガスケットは交換されます。再構築されたポンプは、コンピューター制御の圧力診断システムに接続され、さまざまな負荷の下でポンプのパフォーマンスが 72 時間監視されます。ポンプは動作中の安全性を確保するために漏れテストが行われています。最終ポンプは必要に応じて洗浄および塗装されます。