Agilent Varian TwisTorr 404 FS、704 FS、および 804 FS オンボード ナビゲータ ターボ ポンプ コントローラ、RS232/485 通信。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3512-64016。 Agilent Varian オンボード ナビゲータ ターボ コントローラは、TwistTorr 404 FS、704 FS、および 804 FS ターボ分子ポンプ、冷却ファン、およびベント バルブに電力を供給します。これらの Agilent Varian 404 FS、704 FS、および 804 FS オンボード ナビゲータ ターボ ポンプ コントローラは、100、120、220、または 240 ボルトの AC 入力電源で動作できます。コントローラーの背面にある P3 コネクタは外部ベント バルブを処理し、p4 コネクタは外部ファンを処理します。すべてのオプションのアクセサリ、ポンプ、コントローラ、およびさまざまな構成は、Ideal Vacuum Products から入手できます。ユーザーズマニュアルおよび Agilent Varian TwistTorr 404/704/804 FS オンボード ナビゲータ コントローラ カタログのパンフレットのセクションは、以下の PDF 形式でダウンロードできます。

Varian Agilent AC 主電源ケーブル NEMA プラグ、ターボ ポンプ コントローラ用、3 メートル。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699958。この Agilent ターボ分子真空ポンプ AC 主電源ケーブルは、NEMA 5-15 プラグ壁コンセント接続を備えており、ほとんどの Agilent ターボポンプ コントローラで動作します。長さは 3 メートル、Agilent Varian 部品番号は 9699958 で、次のターボ ポンプ モデルで動作します: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent A-Plus ソフトウェアの無料ダウンロードと 3 メートルの長さのシリアル ケーブルは、すべての Agilent ターボおよびターボ システムを PC (旧名 T-Plus) に接続します。 Agilent 製品番号: 9699883 Agilent A-Plus ソフトウェア (以前は T-Plus ターボ ポンプ制御ソフトウェア)、および LabVIEW ドライバ パックは、Ideal Vacuum から無料でダウンロードできるようになりました (以下の無料ダウンロード リンクを参照)。ダウンロードには、32 ビット バージョンと 64 ビット バージョンの両方が含まれます。このリストは、A-Plus ソフトウェアを使用するときにターボまたはターボ システムを PC に接続するために必要な、長さ 3 メートルの Agilent OEM、DB9、オス-メス シリアル ケーブルの販売です。 Agilent Technologies A-Plus ソフトウェアは、Agilent Varian ターボ分子ポンプおよび Agilent Windows シリアル プロトコルを使用するその他すべての Agilent 製品用の、ユーザーフレンドリーな通信、制御、監視アプリケーションです。 A-Plus ソフトウェアは、RS232 または RS485 シリアル通信ポートを介して PC に接続された 1 つ以上のターボ ポンプを同時に制御および駆動できます。 PC にシリアル ポートがない場合は、シリアル - USB ケーブル (部品番号 P104165) を使用できます。 A-Plus ソフトウェアには、接続されたポンプの自動認識機能が含まれており、接続された各ポンプの動作を表示します。使いやすいように、各コマンドの説明が常に画面に表示されます。 A-Plus ソフトウェアには、真空デバイスを迅速に構成し、いつでも真空システムのステータスを確認できるようにするために、データ ロギング、チャート表示、ネットワーク構成などのオプションが含まれています。包括的なオンライン ヘルプがソフトウェア パッケージに含まれています。 A-Plus ソフトウェア用の長さ 3 メートルの Agilent ケーブルの部品番号は 9699883 です。 Agilent A-Plus ソフトウェアは、次のポンプ モデル (およびその他) で動作します: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS Varian TPS-Compact Varian TPS-MiniTask

コンピュータにシリアル ポートがない場合の Agilent Varian T-Plus ソフトウェア用の RS232 シリアル - USB アダプタ ケーブル。 3 フィート。この 3 フィートの RS232 - USB アダプタ ケーブルを使用すると、USB ポートはあるがシリアル ポートがないリモート コンピュータから Agilent Varian T-plus ターボ ポンプを制御できます。 T-Plus ソフトウェアにはシリアル接続が必要です。 RS232 または RS485 シリアル通信ポートがなく、USB 2 接続ポートしかない PC の場合、このケーブルを使用すると、T-plus ターボ ポンプを USB 2 ポートに接続し、同じ T-Plus ソフトウェア機能を使用できるようになります。 PC にシリアル通信ポートがあるかのように。

Agilent Varian ISO-100 インレットスクリーン、スプリンターシールド、ターボポンプを異物から保護するために使用されます。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3500-68000。これらの Agilent Varian インレットスクリーンは、ISO-100 吸気フランジを備えた TwisTorr 305 FS および 305-IC (統合コントローラ) ターボ分子真空ポンプを保護するように設計されています。これらのターボ吸気破片シールドは、ポンプを異物から保護するのに役立ちます。Agilent Varian の部品番号は X3500-68000 です。

Agilent 大型 TwisTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプ用ファン空冷キット (リモート ラック マウント コントローラ付き)、X3501-68016、X3501-64003。これは、Agilent TwisTorr FS 404、704、804、および Turbo-V 1001 ターボ分子真空ポンプ用の空冷ファン キットです。ポンプのベースに取り付け、ポンプにラジアル冷却を提供します。ラック マウント X3501-68016 または X3501-64003 ターボ ポンプ コントローラの背面にある丸型 J3 FAN コネクタに接続します。このファン空冷キットには、20 フィートの長いケーブルが付属しており、必要な取り付けハードウェアがすべて含まれています。これは、Agilent X3501-68001 ファン空冷キットの直接交換品です。以下の Agilent ターボ分子ポンプ モデルと互換性があります: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001 以下のラック マウント Agilent ターボ分子ポンプ コントローラ モデルと互換性があります: X3501-68016 X3501-64003 このファン キットは、Agilent オンボード ナビゲータ ターボ ポンプ コントローラとは互換性がありません。当社では、オンボード コントローラ用のファン冷却キットのほか、他のリストにある Agilent ターボ ポンプおよびアクセサリの完全なラインを提供しています。ポンプとコントローラの詳細については、ダウンロードを参照してください。

ローカルナビゲータコントローラを備えた大型 TwisTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプ用の Agilent Varian ファン空冷キット。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699297。これらの Agilent Varian TwistTorr および Turbo-V 空冷ファン キットは、ローカル Navigator (底部またはサイド ポンプに取り付けられた) コントローラと連動するように設計されており、Agilent Varian 部品番号 9699297 です。これらのキットには空冷ファン キットが含まれています。ファン、P4 コネクタを介して冷却ファンを Navigator コントローラの 24 VDC 電源に接続するための電源ケーブル、およびポンプ取り付けスタイルのブラケットの底部。これは注文時に非常に重要です。Agilent Varian 大型 TwistTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプには 2 つの異なる空冷ファン キットがあります。1 つは、冷却ファンが 115 VAC で動作するリモート ラックマウント コントローラで動作するように設計されています。ここで販売されているもう 1 つは、24VDC で動作する底部または側面に取り付けられたローカル Navigator コントローラーで動作するように設計されています (横の中央の図を参照)。 Agilent TwisTorr Navigator コントローラ駆動のターボポンプモデルで動作: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボ水冷キット、金属ホースバーブ付き、6x8 mm チューブサイズ用に設計されたほとんどの Agilent ターボ分子ポンプに適合、Agilent Varian 部品番号 PN: 9699337 これらの金属水冷キットは、Agilent Varian TwisTorr 305 FS、750 の水冷を提供するように設計されています。 FS、および 850 FS ターボ分子真空ポンプ。高品質ポリウレタン (PUR) などの内径 6 mm x 外径 8 mm のプラスチック ホースに簡単に接続できるように設計されており、Agilent Varian の部品番号は PN 9699337 です。モデル: TwisTorr 305 FS TwisTorr を含む、ほとんどの Agilent Varian ターボ ポンプに適合します。 305 IC ツイトール 404 FS ツイトール 704 FS ツイトール 804 FS チューブロ V 1001

Agilent Varian ターボ ベント フランジ交換品、M8x1.2 付き KF-10 真空フランジ、ほとんどの Agilent ターボ分子真空ポンプに適合Agilent Varian 部品番号 PN: 9699108 これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント フランジは、ほとんどの Agilent ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 M8 x 1.2 ネジ付きの KF-10 真空フランジと Agilent Varian 部品番号 PN: 969-9108 が付いています。次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボポンプベントバルブキット、遅延ベント、通常開 (NO)、1.2 mm オリフィス、TwisTorr および Turbo-V ラックマウントコントローラ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3501-68002。これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント バルブ キットは、1.2 mm のオリフィス、M8 x 1.2 mm ネジ山を備え、ケーブル長は 5 メートルで、通常は開いており (NO)、ターボ コントローラの電源がオンになると閉じられます。電源が失われた場合、このベントバルブが開き、ターボを安全に停止させる速度で空気をターボに導入し始めます。これは、ポンプのベアリングに負担をかける共振周波数を通過する間にターボが費やす時間を制限することで、ターボの寿命を延ばすのに役立ちます (これらの共振を通過すると、ポンプの音が実際に大きくなるのが聞こえるでしょう)。停電後の排気は、補助ポンプからの逆流を防ぐためにも重要です。停電後にターボに真空が残っていると、補助ポンプからの油や破片がターボ ポンプに吸い戻される可能性があります。停電時にターボを保護するために、ベントバルブまたは粗引きライン常閉 (NC) 遮断バルブの使用をお勧めします。このキットには、Agilent Varian ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要なハードウェアが含まれています。これは、Agilent Varian ラックマウント ターボ ポンプ コントローラの背面に差し込むように設計されており、中央の写真の J4 PURGE VENT を参照してください。Agilent Varian 部品番号は X3501-68002 です。以下の PDF ダウンロードセクションで利用可能な取扱説明書をご覧ください。次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します:TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボベントバルブ、ノーマルオープン (NO)、オリフィス 1.2 mm、TwisTorr または Turbo-V (統合コントローラまたはオンボードナビゲータ) ターボポンプ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699834。これらの Agilent Varian ベント バルブは、TwisTorr FS および Turbo-V (統合コントローラまたはオンボード ナビゲータ付き) ターボ ポンプ用に設計されています。ベントバルブが統合コントローラから電力とロジックを取得できるようにするためのアダプタも必要です。必要なアダプタの Agilent Varian 部品番号 X3514-68001 (中央の写真を参照)。これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント バルブ キットには 1.2 mm のオリフィスがあり、通常は開いており (NO)、ターボ コントローラの電源がオンになると閉じられます。電源が失われた場合、このベントバルブが開き、ターボを安全に停止させる速度でターボに空気を導入し始めます。これにより、ポンプのベアリングに負担をかける共振周波数を通過する時間を制限することで、ターボの寿命を延ばすことができます (これらの共振を通過すると、ポンプの音が実際に大きくなるのが聞こえます)。停電後の排気は、補助ポンプからの逆流を防ぐためにも重要です。停電後にターボに真空が残っていると、補助ポンプからの油や破片がターボ ポンプに吸い戻される可能性があります。停電時にターボを保護するために、ベントバルブまたは粗引きライン常閉 (NC) 遮断バルブの使用をお勧めします。このキットには、Agilent Varian ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要なハードウェアが含まれています。これらの 305-IC ベント バルブ用の 5 メートルのベント バルブ延長ケーブル (Agilent Varian 部品番号 9699949) も販売しています。これは、ローカル ツールまたは実験室機器からのロジックによってベントを制御するために使用されます。以下の PDF ダウンロード セクションで入手可能な取扱説明書をご覧ください。以下の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します: TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS オンボード ナビゲータ TwisTorr 704 FS オンボード ナビゲータ TwisTorr 804 FS オンボード ナビゲータ Turbo-V 1001 オンボード ナビゲータ

Agilent Varian ターボパージ バルブ、20 SCCM KF-16 x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699241。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量、KF-16 ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9241があります。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、20 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699242。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9242。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、10 SCCM には 7/16 および 1/4 Swagelok 継手が付いており、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699232。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、固定流量 10 SCCM を備え、7/16 および 1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、ほとんどの中型のパージ ガス供給ラインに挿入できるように設計されています。ターボ分子真空ポンプ。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9232があります。