Pfeiffer CMR 365 セラミック キャパシタンス ダイアフラム ゲージ、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジ、0.1 hPa (0.1 mBar/75 m Torr) フルスケール。PN : PT R24 642 Pfeiffer CMR 365 静電容量ダイヤフラムゲージは、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジを備え、フルスケール測定範囲は 0.1 hPa (0.1 mBar/75 mTorr)、最小測定範囲は 10 -5 mbar (7.5 x10 -2 mTorr) です。このゲージの応答時間は 130 ミリ秒で、精度は測定値の 0.5% です。セラミック酸化アルミニウム静電容量センサー要素は、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定するために使用されます。ルックアップ テーブルやガス変換計算は必要ありません。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365 セラミック キャパシタンス ダイアフラム ゲージは、TPG 361、362、366 Pfeiffer ゲージ コントローラと互換性があり、この Web サイトで 3 ~ 10 メートルの長さのセンサー ケーブルが必要です。コントローラとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードで入手できます。