MKS Granville Phillips プロセス制御モジュール PCB 2 セットポイント MKS Granville Phillips 307 真空ゲージコントローラー用
MKS グランビル フィリップス 部品番号: 307018これは MKS Granville Phillips プロセス制御モジュールであり、(2 つのデジタル設定値) または内蔵の手動オーバーライド スイッチによって制御できる単極双投リレーを備えた 307 真空ゲージ コントローラーを提供します。このプロセス制御モジュールには、ユーザーが選択可能な 2 つのチャネルがあります。これら 2 つのチャネルはイオン ゲージに割り当てられます。チャンネル 1 を IG1、IG2、またはその両方に割り当てるスイッチが用意されています。 2 つのチャネルはすべて、設定値を上回るか下回るかを選択できる極性を持っています。プロセス コントロール カード (モジュール) の取り付け手順については、取扱説明書.pdf の 16 ~ 27 ページを参照してください。仕様や使用方法については取扱説明書の第5章をご覧ください。これはプロセス コントロール モジュール (2 セット ポイント) のみであり、MKS Granville Phillips 307 コントローラー、ケーブルおよびアクセサリはこの Web サイトでは別売りです。 MKS Granville Phillips 307 真空ゲージ コントローラー取扱説明書.pdf は、以下のダウンロードからダウンロードできます。