これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M10 x 1.50 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 160 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に準拠しています。HVA 部品番号: 11210-0603R。

HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。

HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10 ^-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。

ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10 ^-8 Torr 範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10 ^-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。

これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます. 空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています. 当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで修理キットが利用可能です。

HVA ゲート バルブは、クライオ、ターボ、拡散、イオン高真空ポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。以下のサイズの高真空および超高真空の品種が用意されています。

• クイックフランジサイズ KF-16、KF-25、KF-40、KF-50
• ISO LF フランジ ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ
• ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ
• コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチ サイズ

インストールマニュアルと操作説明書はダウンロードで入手できます。