Edwards Cryo-Torr クライオポンプ 9600 ヘリウム コンプレッサー、三相、水冷、低電圧 180/230 VAC。
Edwards 部品番号: 8135717G001 は、廃止された PN: 8135900G001 を置き換えます。真空コーティング、半導体製造、粒子加速器、スパッタ蒸着システム、分子線エピタキシーなどの分野で極低温コンプレッサーを利用するアプリケーション、プロセス、メンテナンスのエンジニア、科学者向け。 9600 コンプレッサーは、長期間使用できるように特別に設計されており、信頼性が高く、非常に使いやすいです。 9600 コンプレッサーは、すべての Cryo-Torr クライオポンプ、オンボード クライオポンプ、オンボード ウォーターポンプ、およびオンボード TurboPlus 真空ポンプで優れたパフォーマンスを提供します。
軽量設計で、取り扱いが容易な大型キャスターが付いており、電源、ヘリウム、水の接続に簡単にアクセスできるため、迅速に設置できます。 9600 は、推奨される 3 年に 1 回の吸着材交換以外のメンテナンスは必要ありません。回路保護は、背面パネルから簡単にアクセスできる 1 列のブレーカーによって提供されます。吸着材の交換についてはマニュアルを参照してください。リモート コントロールがサポートされているため、リモート コンプレッサーの場所を柔軟に設定できます (ただし、含まれていません)。非常に大容量で効率的な設計により、ポンプの性能が向上し、高速再生が可能です。このユニットは、新規および既存の CTI-Cryogenics ポンプ システムと完全に互換性があります。このユニットは、低電圧、水冷、三相、入力電圧 180 ~ 230 V、50/60 Hz、三相 C シリーズ オンボード電源です。標準の 1 相 (2 相) モーターのオンボード、クライオトールおよびクライオダインポンプを駆動するためのオンボード電源出力があります。
ユーザーおよび設定マニュアルは、PDF をダウンロードして提供されます。
以下のクライオポンプと併用可能