Edwards APG200-XM アクティブ ピラニ真空ゲージ NW25、KF25 フランジ。10 -3 Torr。
Edwards 部品番号 D1G1021100。(APG200-XM PN: D1G1021100 は APG100-XM PN: D02602000 に代わるものです)。 Edwards APG200-XM アクティブ ピラニ真空ゲージには、NW25、KF25 真空フランジが含まれ、簡単に設置できるコンパクトさ、線形出力、およびユーザーが交換可能なチューブ センサーを備えています。新しい Edwards ゲージは、すべての Edwards TIC、ADC、TAG 計器コントローラ、およびその他のアクティブ ゲージ コントローラおよびディスプレイと互換性があります。また、鉛フリー構造のため、CSA、C/US 認定済みで、RoHS に完全準拠しています。1000 Torr から 10
-3 Torr までの圧力を測定します。信号ケーブルと TIC 真空ゲージ コントローラは別売りです。これらの Edwards APG200 シリーズ ゲージの取扱説明書は、以下の PDF 形式で入手できます。APG200 には 2 つのバージョンがあります。「M」バージョン (標準のタングステン/レニウム フィラメントを含む) は 10-3 Torr までの圧力を測定でき、一般的な用途に適しています。 「LC」バージョン（耐腐食性プラチナ/イリジウムフィラメントを含む）は、10-4 Torr までの圧力を測定でき、腐食性アプリケーションでの使用にも適しています。これらの Edwards APG200-XM アクティブ ピラニ真空ゲージは、標準のタングステン/レニウム フィラメントと NW16 真空フランジを備えています。
APG200 はどの方向にも取り付けることができますが、ゲージ チューブは工場で窒素で垂直に個別に校正されています。選択したゲージの方向で圧力を正しく表示するには、ゲージを大気圧で再校正する必要があります。エドワーズでは、ゲージ内のプロセス粒子と凝縮性蒸気の蓄積を最小限に抑えるために、ゲージ チューブを垂直に取り付けることを推奨しています。APG200 は窒素での使用に合わせて校正されており、乾燥空気、酸素、一酸化炭素で正しく読み取れます。その他のガス タイプでは、正しい圧力読み取り値を得るために変換が必要です。一般的なガスは、窒素、アルゴン、二酸化炭素、ヘリウム、クリプトン、ネオンです。
機能には以下が含まれます:- コンパクトな筐体で信号ケーブルに簡単にアクセス可能
- センサーは150°C（300°F）まで加熱可能で、ユーザーが交換可能
- シンプルなプロセス制御とインターロックのための調整可能な設定ポイント
- リモートキャリブレーションが可能
- 圧力範囲 10 -3 Torr
ピラニゲージと対流強化ピラニゲージの背景ピラニ真空計は、加熱されたワイヤの抵抗を測定して真空圧を決定する熱電対計に非常によく似た熱伝導率計として分類できます。ピラニ計は、加熱されたフィラメントがホイートストン ブリッジ回路の 1 つのアームを形成する場合の抵抗不均衡を測定するように設計されています。真空圧が増加すると、ガス分子がフィラメントから熱を運び去り、圧力センサーの抵抗は低い値に移動し、回路のバランスが崩れます。したがって、真空圧は、ホイートストン ブリッジ回路の圧力による不均衡から計算されます。熱電対計と同様に、分子衝突による熱伝導率は、0.001 ～ 1 Torr の圧力範囲で圧力とともに直線的に増加します。ただし、圧力がさらに増加して粘性流領域に入ると、熱除去は非直線的になり、ガス同士の衝突により分子が加熱されたワイヤの方向に戻る可能性があります。分子は、センサーの外側の本体 (熱シンク) に到達するまでに何度も衝突する必要があります。対流強化ピラニ圧力計は、センサー内部の対流電流を利用して、圧力測定範囲を大気圧まで拡張します。
ピラニ圧力計は間接的な圧力測定センサーで、測定値はガスの種類によって異なります。重いガスは熱伝達率が低いこと、および標準の対流強化ピラニ圧力計は N2 用に校正されている (基本的に空気と同じ校正) ことから、注意が必要です。これにより、アルゴンなどの重いガスを真空システムに充填すると、危険な過圧状態が発生する可能性があります。真空システムのオペレーターが、正しいガスの種類に合わせて圧力計の表示値を修正しないと危険が生じます。たとえば、N2 用に校正された標準の圧力計は、チャンバーがアルゴン 760 Torr のときに 24 Torr を表示します。オペレーターは、チャンバーがまだ真空状態にあると勘違いし、システムを臨界過圧状態まで上げ続けます。対流強化ピラニ圧力計が正しく取り付けられていない場合、別のエラーの原因となる可能性があります。市販のセンサーのほとんどは、地面と平行に取り付ける必要があります。これにより、センサー内の慣性電流が設計された方向に流れ続けます (慣性強化ピラニ センサーが水平に取り付けられていない場合、20% 以上の誤差が簡単に発生する可能性があります)。
これらの対流強化ピラニ センサーを急速に排気すると、数秒という短時間で大きな測定誤差が生じます。急速に排気されたガスが膨張すると、圧力センサー フィラメントからの熱の除去は通常の対流ではなく、強制対流によって行われます。真空圧が急速に低下する間にガスが膨張して冷却され、これが高温のセンサー ワイヤから熱を除去するための二次的な経路となります。対流強化ピラニ ゲージは、システムの排気中に最大 1000 Torr の高圧を誤って表示する場合があります。ガスの流れが停止すると、圧力の読み取り値は再び実際の測定値に安定します。これらの理由から、対流強化ピラニ ゲージは、動的な排気条件下での圧力変化の測定にはあまり適していません。全体として、対流強化ピラニは、大気圧から 1x10-4 Torr まで測定でき、1 Torr 未満の測定が最も正確で、コスト効率に優れた一般的な大まかな真空圧力ゲージです。
