Agilent Varian 531 熱電対真空圧力計シミュレータおよび基準管。
Agilent Varian 部品番号 L7383301
これは、Agilent Varian 531 熱電対ゲージ シミュレータおよび基準管です。これは、ゲージ コントローラーのテストまたは校正時に使用するのに役立ちます。 2.0 Torr の圧力と 1 × 10-3 Torr の両方の圧力をシミュレートします。基準管は内部が 5 × 10-6 Torr 以下の真空状態で永久的に密閉されています。
熱電対真空圧力計、Wikapedia.org 提供
熱伝導率ゲージは、ガスの熱伝導能力が圧力とともに低下するという事実に基づいています。このタイプのゲージでは、ワイヤ フィラメントに電流を流すことによって加熱されます。熱電対または測温抵抗体 (RTD) を使用してフィラメントの温度を測定できます。この温度は、フィラメントが周囲のガスに熱を失う速度、つまり熱伝導率に依存します。一般的なバリエーションは、加熱要素と RTD の両方として単一のプラチナ フィラメントを使用するピラニ ゲージです。これらのゲージは、20 Torr ~ 10-3 Torr の範囲で正確です (購入したセンサーとコントローラーのモデルによって異なります)。ただし、それらは測定されるガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。