Il Vacuum AnalyzaVAC RGA ideale è uno spettrometro di massa compatto che può aiutare a determinare l'identità e la concentrazione dei gas residui all'interno di una camera a vuoto. Può essere utilizzato per il rilevamento di perdite, l'analisi del degassamento, il controllo della qualità del gas di alimentazione in applicazioni di rivestimento e incisione, la risoluzione dei problemi di processo e altro ancora.
Collegato direttamente a una camera, l'RGA è progettato per il funzionamento continuo a pressioni totali inferiori a 1×10
-6 Torr e, in modo ottimale, intorno a 2×10
-7 Torr. Il funzionamento dell'RGA a pressioni più elevate comporta una drastica riduzione della durata dello ionizzatore, del filamento e del quadrupolo. I manometri integrati di AnalyzaVAC vengono utilizzati sia internamente che nel software AutoZ
+ incluso per prevenire danni fatali all'RGA (nella maggior parte dei casi).
Per misurare i gas in una camera dal vuoto medio alla pressione atmosferica, l'RGA deve essere collocato in una piccola camera separata con il proprio sistema di pompaggio ad alto vuoto. Il sistema di vuoto RGA viene quindi collegato alla camera tramite una valvola di perdita che consente all'RGA di campionare i gas nella camera principale mantenendo comunque un vuoto elevato attorno alla delicata sonda quadripolare.
Questo kit contiene tutto il necessario per utilizzare un RGA per misurare gas a pressioni più elevate.
Componenti e caratteristiche:- Analisi del vuoto idealeVAC RGA.
- Intervallo di scansione 1-100 AMU.
- Rilevatore di tazze di Faraday.
- Il manometro Pirani integrato impedisce l'attivazione dell'RGA ad alte pressioni.
- Misuratore di ioni a catodo caldo integrato per la misurazione rapida della pressione di alto vuoto.
- Stazione di pompaggio turbomolecolare Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS con funzionamento ad alto vuoto con un solo interruttore.
- La valvola manuale a perdita variabile Agilent consente il campionamento RGA di camere da 1.000 Torr al vuoto spinto.
- Collettore saldato con guarnizioni interamente in metallo per una contaminazione minima della misurazione da altre fonti di gas.
- Ideal Vacuum AutoZ + software versione base.
La combinazione della stazione di pompaggio Agilent Varian TPS-mini con la valvola manuale a perdita variabile Agilent consente un campionamento accurato del gas di camere che coprono almeno 9 ordini di grandezza di pressione. Tuttavia, un singolo punto di rottura della valvola di isolamento non è adatto a tutte le pressioni comprese nell'intervallo. Per ottenere i migliori risultati, la valvola deve essere ripristinata manualmente ogni volta che viene modificata la pressione della camera. Se la pressione della camera aumenta di oltre 1 ordine di grandezza rispetto alla pressione operativa corrente (ad esempio, durante uno sfiato della camera), la valvola di perdita deve essere chiusa per prima per evitare danni all'RGA e al sistema di pompaggio. Una volta che la camera ha raggiunto una pressione stabile, lo ionizzatore RGA deve essere spento e la valvola riaperta fino al raggiungimento della pressione desiderata all'interno del sottosistema RGA. È quindi possibile riaccendere lo ionizzatore RGA e riprendere la misurazione.
Per mantenere la valvola di perdita a un determinato punto di rottura durante i cicli di pressione, l'RGA può essere isolata dalla camera utilizzando una
valvola a soffietto manuale CF da 1,33 pollici aggiuntiva. Informazioni sul vuoto ideale AnalyzaVac RGA: L'AnalyzaVAC funziona ionizzando i gas presenti sulla punta della sonda utilizzando elettroni emessi termoionicamente da doppi filamenti di iridio toriato sostituibili sul campo. I cationi risultanti vengono separati in base al rapporto massa/carica utilizzando una combinazione di frequenze radio variabili e tensioni CC applicate al filtro quadrupolare. Gli ioni caricati positivamente viaggiano lungo il centro del quadrupolo e vengono amplificati da un moltiplicatore di elettroni o rilevati direttamente dal rilevatore a tazza di Faraday all'estremità della sonda. Ogni gas produce un'impronta spettrale unica che è una combinazione dell'abbondanza isotopica naturale dei suoi elementi e della frammentazione molecolare causata dalla ionizzazione elettronica ad alta energia dell'RGA.
Tutte le sonde AnalyzaVAC sono dotate di un rilevatore a tazza di Faraday che fornisce un rilevamento ripetibile, quantitativo e altamente lineare fino a 1,5×10
-12 Torr
* . Il moltiplicatore di elettroni opzionale aumenta la sensibilità fino all'incredibile valore di 6×10
-15 Torr
* per misurazioni qualitative. Sia il rilevatore standard che quello dotato di moltiplicatore di elettroni hanno una risoluzione di 0,5 AMU al 10% di altezza del picco (o migliore) se calibrati correttamente.
Il software di base AutoZ
+ senza scadenza di Ideal Vacuum è un'applicazione Windows 10, in grado di controllare qualsiasi sistema AnalyzaVAC RGA da un computer desktop o portatile. AutoZ
+ dà all'operatore il potere di controllare tutti i parametri di acquisizione. AutoZ
+ fornisce streaming di dati in tempo reale e consente agli utenti di visualizzare i dati raccolti come uno spettro analogico, un istogramma di massa e le tendenze nel tempo. Per rimuovere picchi e contributi spettrali indesiderati, un utente può utilizzare gli spettri raccolti in precedenza per ricavare dati di riferimento.
L'aggiornamento software opzionale AutoZ
+ premium di Ideal Vacuum include tutte le funzionalità del software di base e aggiunge registrazione avanzata dei dati, media, adattamento spettrale con accesso alla libreria di sostanze di Ideal Vacuum e la possibilità di aggiungere ulteriori composti alla libreria. Premium AutoZ
+ utilizza un potente algoritmo dei minimi quadrati per calcolare le pressioni parziali dei comuni gas residui, identifica il loro contributo allo spettro attualmente visualizzato e isola i picchi sconosciuti. Il software Premium deve essere rinnovato ogni anno oppure ritorna alla versione base.
Alcune applicazioni RGA:- Test di tenuta
- Monitoraggio del processo
- Monitoraggio pump-down e bakeout
- Diagnosi del vuoto
- Controllo della qualità del gas di alimentazione
- Identificazione di gas e contaminanti
Si prega di leggere attentamente prima di ordinare:
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La sonda AnalyzaVAC è uno strumento delicato. L'uso inappropriato, la cattiva gestione della sonda o il funzionamento a pressioni elevate per periodi di tempo prolungati possono contaminarla e danneggiarla. Pertanto, la sonda. non offre alcuna garanzia dopo la rimozione dalla confezione originale.
Agilent TPS Mini Turbo è coperto dalla garanzia completa del produttore. La garanzia di qualsiasi altro componente copre i difetti del prodotto. La pressione operativa totale ottimale dell'RGA è 2×10 -7 Torr per la maggior parte dei gas. La pressione esterna può essere molto più elevata purché venga ridotta all'interno del sistema RGA utilizzando la valvola a perdita variabile e il sistema della pompa turbo. Il funzionamento a pressioni più elevate del sistema RGA per periodi di tempo prolungati comporterà l'invecchiamento precoce della sonda, la perdita di guadagno, la deriva spettrale e la combustione del riempimento e dello ionizzatore. L'RGA può essere utilizzata nelle seguenti regioni di pressione per i corrispondenti periodi di tempo:
10 -4 Torr, diverse ore
10 -5 Torr, diversi giorni
10 -6 Torr, diversi mesi
10 -7 Torr, diversi anni
10 -8 Torr, a tempo indeterminato
I vapori organici devono essere mantenuti a una pressione 2 volte inferiore rispetto ai gas atmosferici per prevenire la contaminazione da fuliggine del filamento e dello ionizzatore. I vapori di silicone devono essere mantenuti a pressioni almeno 10 volte inferiori rispetto ai gas atmosferici per prevenire l'accumulo di vetro sul filamento e sullo ionizzatore. I vapori corrosivi sono inoltre più dannosi per l'RGA rispetto ai gas normali. Gestendo adeguatamente la pressione, l'RGA può essere utilizzata per misurare questi gas senza incorrere in costose riparazioni. * Misurato con azoto gassoso, tempo di permanenza di 5 secondi, ampiezza del picco totale di 1 amu, altezza del 10%, energia elettronica di 70 eV, energia ionica di 6 eV ed emissione di elettroni di 2 mA, calcolando tre deviazioni standard dal rumore di base.
