Analyseur de gaz résiduels Ideal Vacuum AnalyzaVAC (RGA), 1-100 AMU sans multiplicateur d'électrons, détecteur de coupe Faraday, logiciel de base AutoZ+ inclus.

Cette liste concerne la vente de l’analyseur de gaz résiduels Ideal Vacuum AnalyzaVAC avec les composants suivants :

• Analyse sous vide idéale ZaVAC RGA
• Plage de numérisation de 1 à 100 AMU.
• Détecteur de tasse de Faraday.
• Jauge Pirani intégrée pour une mesure approximative du vide.
• Jauge d'ions à cathode chaude intégrée pour la mesure sous vide poussé.
• Bride de montage Conflat (CF) 2,75".

Comprend également:

• Alimentation universelle 24 VDC (entrée 120/240 VAC) et câble de 6'.
• Câble de communication série USB vers DB-9 mâle RS-232, 1' de long.
• Câble d'extension série DB-9 mâle à femelle RS-232, 25' de long.
• Kit de joints et boulons en cuivre CF 2,75".
• Logiciel Ideal Vacuum AutoZ ⁺ version de base.

L'Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA est un spectromètre de masse compact qui peut aider à déterminer l'identité et la concentration des gaz résiduels à l'intérieur d'une chambre à vide. Il peut être utilisé pour la détection de fuites, l'analyse des dégazages, le contrôle de la qualité des gaz d'alimentation dans les applications de revêtement et de gravure, le dépannage des processus, etc. La sonde AnalyzaVAC RGA est dotée d'une jauge Pirani intégrée et d'une jauge à cathode chaude Bayard Alpert qui la protègent contre un fonctionnement à des pressions inappropriées, réduisant ainsi la complexité du système et évitant une maintenance coûteuse. Chaque système est livré complet avec une sonde quadripolaire, une unité de contrôle et de communication (CCU), le logiciel AutoZ ⁺ Basic pour Microsoft Windows® 10 et tous les câbles nécessaires à l'alimentation et à la communication.

L'AnalyzaVAC fonctionne en ionisant les gaz présents à la pointe de la sonde à l'aide d'électrons émis thermiquement par des filaments d'iridium thorié remplaçables sur double champ. Les cations résultants sont séparés par rapport masse/charge en utilisant une combinaison de fréquences radio variables et de tensions continues appliquées au filtre quadripolaire. Les ions chargés positivement se déplacent vers le centre du quadripôle et sont soit amplifiés par un multiplicateur d'électrons, soit détectés directement par le détecteur à coupe de Faraday situé à l'extrémité de la sonde. Chaque gaz produit une empreinte spectrale unique qui est une combinaison de l'abondance isotopique naturelle de ses éléments et de la fragmentation moléculaire provoquée par l'ionisation électronique à haute énergie du RGA.

Le RGA est conçu pour un fonctionnement continu à des pressions totales inférieures à 1×10 ^-6 Torr et, de manière optimale, autour de 2×10 ^-7 Torr. Le fonctionnement du RGA à des pressions plus élevées entraîne une durée de vie considérablement réduite de l’ioniseur, du filament et du quadripôle. Les manomètres intégrés sont utilisés à la fois en interne et dans le logiciel AutoZ ⁺ pour éviter des dommages mortels au RGA (dans la plupart des cas).

Bien que la sonde RGA puisse être montée directement dans une chambre à vide poussé, il est recommandé d'isoler le RGA de la chambre à l'aide d'un tronçon de tube et d'une vanne d'isolement. Cela évite la contamination ou les dommages accidentels lorsque la chambre est ventilée ou lorsqu'un nouvel échantillon ou un nouvel équipement est introduit. Si le RGA est utilisé pour mesurer des gaz dans une chambre à vide grossier, le RGA doit être conservé dans une petite chambre séparée avec son propre système de pompage à vide poussé connecté à la chambre principale via une vanne de fuite. Ideal Vacuum propose des kits RGA avec tout l'équipement nécessaire pour mesurer en toute sécurité les gaz à des pressions allant jusqu'à 1 000 torr.

Toutes les sondes AnalyzaVAC sont livrées avec un détecteur à coupelle de Faraday qui permet une détection répétable, quantitative et hautement linéaire jusqu'à 1,5×10 ^-12 Torr ^** . Le multiplicateur d'électrons en option augmente la sensibilité jusqu'à un niveau stupéfiant de 6 × 10 ^-15 Torr ^** pour les mesures qualitatives. Les détecteurs standard et équipés d'un multiplicateur d'électrons ont une résolution de 0,5 AMU à une hauteur de pic de 10 % (ou mieux) lorsqu'ils sont correctement calibrés.

Le logiciel AutoZ ⁺ de base non expirant d'Ideal Vacuum est une application Windows 10, qui peut contrôler n'importe quel système AnalyzaVAC RGA à partir d'un ordinateur de bureau ou portable. AutoZ ⁺ donne à l'opérateur le pouvoir de contrôler tous les paramètres d'acquisition. AutoZ ⁺ fournit un streaming de données en temps réel et permet aux utilisateurs de visualiser les données collectées sous forme de spectre analogique, d'histogramme de masse et de tendances au fil du temps. Pour supprimer les pics et les contributions spectrales indésirables, un utilisateur peut utiliser les spectres précédemment collectés pour référencer les données.

La mise à niveau facultative du logiciel AutoZ ⁺ premium d'Ideal Vacuum comprend toutes les fonctionnalités du logiciel de base et ajoute un enregistrement avancé des données, une moyenne, un ajustement spectral avec accès à la bibliothèque de substances d'Ideal Vacuum et la possibilité d'ajouter des composés supplémentaires à la bibliothèque. Premium AutoZ ⁺ utilise un puissant algorithme des moindres carrés pour calculer les pressions partielles des gaz résiduels courants, identifie leur contribution au spectre actuellement affiché et isole les pics inconnus. Le logiciel Premium doit être renouvelé chaque année, sinon il revient à la version de base.

Quelques applications RGA :

• Test de fuite
• Surveillance des processus
• Surveillance du pompage et de l'étuvage
• Diagnostic du vide
• Contrôle de la qualité du gaz d'alimentation
• Identification des gaz et des contaminants

Veuillez lire attentivement avant de commander :
* La sonde AnalyzaVAC est un instrument délicat. Une utilisation inappropriée, une mauvaise manipulation de la sonde ou un fonctionnement à des pressions élevées pendant des périodes prolongées peuvent la contaminer et l'endommager. La sonde ne bénéficie donc d’aucune garantie après sortie de son emballage d’origine. Pour tout autre composant, la garantie s’étend contre les défauts du produit.

La pression opérationnelle totale optimale du RGA est de 2×10 ^-7 Torr pour la plupart des gaz. Un fonctionnement à des pressions plus élevées pendant des périodes prolongées entraînera un vieillissement prématuré de la sonde, une perte de gain, une dérive spectrale et un grillage du filament et de l'ioniseur. Le RGA peut être utilisé dans les régions de pression suivantes pendant les durées correspondantes :
10 ^-4 Torr, plusieurs heures
10 ^-5 Torr, plusieurs jours
10 ^-6 Torr, plusieurs mois
10 ^-7 Torr, plusieurs années
10 ^-8 Torr, indéfiniment
Les vapeurs organiques doivent être maintenues à une pression 2 fois inférieure à celle des gaz atmosphériques pour éviter la contamination par la suie du filament et de l'ioniseur. Les vapeurs de silicone doivent être maintenues à des pressions au moins 10 fois inférieures à celles des gaz atmosphériques pour éviter l'accumulation de verre sur le filament et l'ioniseur. Les vapeurs corrosives sont également plus dommageables pour le RGA que les gaz normaux. En gérant correctement la pression, le RGA peut être utilisé pour mesurer ces gaz sans engager de réparations coûteuses.

** Mesuré avec de l'azote gazeux, un temps de séjour de 5 secondes, une largeur de pic totale de 1 amu, une hauteur de 10 %, une énergie électronique de 70 eV, une énergie ionique de 6 eV et une émission électronique de 2 mA, et en calculant trois écarts types par rapport au bruit de base.