Vanne d'étranglement intelligente MKS Instruments T3BIB 60 mm NW63, entraînement direct sans joint, Viton jusqu'à 105 °C, analogique/TTL, 15 V CC à 650 mA au total, PWR V1.5. Référence MKS : T3BIB60N21V0215. La vanne d'étranglement MKS de type T3B est conçue pour les applications de régulation de pression en aval. L'unité T3B comprend une vanne d'étranglement avec un boîtier électronique fixé à la plaque moteur, un microprocesseur, des circuits de commande éliminant le besoin d'un boîtier de contrôle séparé, des entrées analogiques pour la régulation de pression ou de position, et des sorties analogiques reflétant la pression ou la position de la vanne. La vanne est commandée par des entrées analogiques. Le fonctionnement du contrôleur repose sur un algorithme numérique de régulation de pression/position qui positionne la vanne de manière optimale pour la régulation de pression ou de position. La consigne de pression ou de position est transmise sous forme de tension externe appliquée au connecteur auxiliaire situé sur le dessus de l'appareil (voir figure 3, page 14 du fichier PDF ci-dessous). L'unité T3B lit le signal de pression utilisé pour les applications de contrôle directement depuis un transducteur de pression MKS Baratron. En cas de mise hors tension ou de coupure de courant inattendue du contrôleur T3B, toutes les constantes d'étalonnage et la dernière position de la vanne sont sauvegardées dans une mémoire non volatile. Ainsi, lors de la remise sous tension, l'unité sera étalonnée et prête à l'emploi. La protection contre les interférences radiofréquences et les environnements électriques perturbés est renforcée par l'utilisation d'un boîtier métallique, par des éléments de conception internes et par l'intégration de réseaux de protection contre les surtensions et les décharges électrostatiques, ainsi que par un filtrage RFI sur toutes les entrées et sorties. L'unité T3B est conforme aux normes de test requises pour le marquage CE européen lorsqu'elle est utilisée avec un câble blindé tressé métallique, correctement mis à la terre à ses deux extrémités. Pour l'installation et le fonctionnement complets, veuillez consulter le manuel d'utilisation MKS T3B Throttle with Analog/TTL Interface Manual.pdf ci-dessous.

Papillon d'échappement MKS T2BA, KF40, "F-Seal" (joint torique Viton sur clapet), moteur faible puissance (8 in-lbs), 105°C, RS232, avec alimentation de capteur +/-15VDC (pour Baratron ). Numéro de pièce MKS : T2BA01K320003V210025. Le papillon des gaz d'échappement MKS T2BA est spécialement conçu pour les applications où un système de contrôle de pression simple mais avancé est souhaité. Le T2BA intègre tous les circuits de commande, de communication et de pilotage dans un ensemble papillon des gaz, éliminant ainsi le besoin de monter un module électronique de contrôle de pression séparé. L'algorithme de contrôle unique basé sur un modèle et le fonctionnement à grande vitesse amènent le système à atteindre rapidement le point de consigne avec un minimum de dépassement et garantissent des recettes de processus reproductibles sans intervention de l'opérateur. Caractéristiques du produit : Système de contrôle de pression compact - vanne avec contrôleur électronique intégré intégré - Intégration facile, pas besoin de câbles supplémentaires ni d'espace de rack Configurations à grande vitesse disponibles (<250 ms d'ouverture à fermeture) - Point de réglage et récupération du débit plus rapides et perturbations de pression - Permet un débit d'outil élevé Entraînements à couple élevé sélectionnables - Prolonge la disponibilité dans des conditions de processus difficiles Entrée de capteur Baratron® à double canal avec commutation automatique de plage - Prend en charge une large plage de contrôle de pression dynamique - Permet une précision de contrôle de pression élevée Algorithme avancé de contrôle de pression basé sur un modèle - Minimise le temps nécessaire pour atteindre le point de réglage - Garantit des recettes de processus répétables sans intervention de l'opérateur Disponible en versions à joint souple à faible conductance - Prend en charge les processus à haute pression même à faible débit (Epi, RTP, SACVD et plus) - Convient aux « échappements domestiques » ou atmosphériques applications Fournit l'alimentation pour les manomètres capacitifs Baratron connectés (en option, certains modèles) Le papillon des gaz d'échappement T2BA peut fonctionner selon deux modes principaux : positionnement du clapet ou contrôle de la pression, l'un ou l'autre pouvant être activé par l'utilisateur via l'interface E/S. Tous les paramètres de configuration réglables, le fonctionnement du temps d'exécution et les informations de diagnostic sont disponibles via l'interface de communication. EtherCAT T2BA est entièrement compatible avec les manomètres EtherCAT. Les manomètres analogiques nécessitent une passerelle. La technique de contrôle de pression en aval offre une large plage dynamique, fonctionne avec tous les types de pompes, fournit une réponse rapide et est tolérante à la plupart des gaz effluents. Le concept « d'instrument intelligent » permet de gagner de l'espace dans le système, d'améliorer l'immunité au bruit et d'accéder facilement aux informations de processus et d'étalonnage critiques ainsi qu'aux fonctions de diagnostic embarquées. Le T2BA utilise un moteur pas à pas haute vitesse à entraînement direct. Le pilote de vanne permet un contrôle de pression haute résolution. Le moteur à entraînement direct à couple élevé en option offre une disponibilité prolongée et allonge les cycles de maintenance préventive — un avantage considérable dans les processus exigeants où une seule heure d'arrêt peut coûter des milliers de dollars. Le T2BA est également disponible en versions à engrenages, offrant un couple maximal et permettant un fonctionnement à long terme dans des environnements difficiles. Les vannes T2BA peuvent en option être chauffées jusqu'à 200 °C avec des réchauffeurs externes MKS disponibles (une sélection appropriée des matériaux d'étanchéité est requise). Le T2BA est disponible dans des versions MKS uniques à faible conductance, permettant un contrôle de pression à grande vitesse dans les applications atmosphériques, y compris le contrôle de la pression d'échappement, CVD et RTP sans avoir besoin de recourir à des conceptions basées sur des joints toriques pour minimiser la conductance des vannes. Un système de retour de position basé sur un codeur est fourni à des fins de diagnostic. La vanne est construite en acier inoxydable 316 résistant à la corrosion, compatible avec la plupart des gaz de procédé et est disponible dans des styles de brides ISO standard avec des alésages de 1" à 4" (autres tailles disponibles sur mesure). Les joints standard proposés sont le Viton®, d'autres matériaux peuvent être spécifiés pour assurer la compatibilité avec divers procédés chimiques et/ou applications chauffées.

Vanne d'étranglement papillon MKS T2BA, ISO100, sans étanchéité (sans joint torique ; espace radial de 0,003"), moteur faible puissance (8 in-lbs), 105°C, Viton (joint de corps), RS232, avec +/- Alimentation du capteur 15 V CC (pour Baratron). Numéro de pièce MKS : T2BA04N220303V210025. Le papillon des gaz d'échappement MKS T2BA est spécialement conçu pour les applications où un système de contrôle de pression simple mais avancé est souhaité. Le T2BA intègre tous les circuits de contrôle, de communication et de pilotage. dans un ensemble de papillon des gaz, éliminant ainsi le besoin de monter un module électronique de contrôle de pression séparé. L'algorithme de contrôle unique basé sur un modèle et le fonctionnement à grande vitesse amènent le système à régler rapidement le point avec un minimum de dépassement et garantissent des recettes de processus reproductibles sans intervention de l'opérateur. Caractéristiques du produit : Système de contrôle de pression compact - vanne avec contrôleur électronique intégré intégré - Intégration facile, pas besoin de câbles supplémentaires ni d'espace de rack Configurations à grande vitesse disponibles (<250 ms d'ouverture à fermeture) - Point de consigne et récupération plus rapides de perturbations de débit et de pression - Permet un débit d'outil élevé Entraînements à couple élevé sélectionnables - Prolonge la disponibilité dans des conditions de processus difficiles Entrée de capteur Baratron® à double canal avec commutation automatique de plage - Prend en charge une large plage de contrôle de pression dynamique - Permet une précision de contrôle de pression élevée Contrôle de pression avancé basé sur un modèle - Minimise le temps nécessaire pour atteindre le point de réglage - Garantit des recettes de processus répétables sans intervention de l'opérateur Disponible en versions à joint souple à faible conductance - Prend en charge les processus à haute pression même à faible débit (Epi, RTP, SACVD et plus) - Convient aux « échappements domestiques » ou applications atmosphériques Fournit l'alimentation pour les manomètres capacitifs Baratron connectés (en option, certains modèles) Le papillon des gaz d'échappement T2BA peut fonctionner selon deux modes principaux : positionnement du clapet ou contrôle de la pression, l'un ou l'autre pouvant être activé par l'utilisateur via l'interface E/S. Tous les paramètres de configuration réglables, le fonctionnement du temps d'exécution et les informations de diagnostic sont disponibles via l'interface de communication. EtherCAT T2BA est entièrement compatible avec les manomètres EtherCAT. Les manomètres analogiques nécessitent une passerelle. La technique de contrôle de pression en aval offre une large plage dynamique, fonctionne avec tous les types de pompes, fournit une réponse rapide et est tolérante à la plupart des gaz effluents. Le concept « d'instrument intelligent » permet de gagner de l'espace dans le système, d'améliorer l'immunité au bruit et d'accéder facilement aux informations de processus et d'étalonnage critiques ainsi qu'aux fonctions de diagnostic embarquées. Le T2BA utilise un moteur pas à pas haute vitesse à entraînement direct. Le pilote de vanne permet un contrôle de pression haute résolution. Le moteur à entraînement direct à couple élevé en option offre une disponibilité prolongée et allonge les cycles de maintenance préventive — un avantage considérable dans les processus exigeants où une seule heure d'arrêt peut coûter des milliers de dollars. Le T2BA est également disponible en versions à engrenages, offrant un couple maximal et permettant un fonctionnement à long terme dans des environnements difficiles. Les vannes T2BA peuvent en option être chauffées jusqu'à 200 °C avec des réchauffeurs externes MKS disponibles (une sélection appropriée des matériaux d'étanchéité est requise). Le T2BA est disponible dans des versions MKS uniques à faible conductance, permettant un contrôle de pression à grande vitesse dans les applications atmosphériques, y compris le contrôle de la pression d'échappement, CVD et RTP sans avoir besoin de recourir à des conceptions basées sur des joints toriques pour minimiser la conductance des vannes. Un système de retour de position basé sur un codeur est fourni à des fins de diagnostic. La vanne est construite en acier inoxydable 316 résistant à la corrosion, compatible avec la plupart des gaz de procédé et est disponible dans des styles de bride ISO standard avec des alésages de 1" à 4" (autres tailles disponibles sur mesure). Les joints standard proposés sont le Viton®, d'autres matériaux peuvent être spécifiés pour la compatibilité avec divers procédés chimiques et/ou applications chauffées.