Pfeiffer Vacuum EVC 110 M, válvula de ángulo, DN 10, Bombas de vacío Roots de múltiples etapas de semiconductores secos, Bombas de vacío de raíces multietapa secas Pfeiffer Adixen,  PN  PF A23 101

Estos Pfeiffer Vacuum EVC 110 M, válvula de ángulo, DN 10  tiene numero de pieza PF A23 101, son nuevos y vienen completos Pfeiffer Vacuum garantía. Las bombas de vacío secas semiconductoras de servicio mediano Pfeiffer Adixen serie A3P se basan en la probada tecnología Roots de etapas múltiples. El interior de las bombas es resistente a gases corrosivos. Por esta razón, las bombas tienen una alta confiabilidad en procesos de servicio medio. Los tres modelos disponibles de la serie ofrecen un amplio espectro de velocidades de bombeo y, por tanto, cubren la mayoría de los requisitos de las bombas de vacío de servicio medio en la industria de los semiconductores. La serie Pfeiffer Adixen A3P es adecuada para su funcionamiento en una sala limpia y cumple con las normas CE y Semi S2.

Las bombas secas se distinguen por su alta confiabilidad para aplicaciones en procesos de trabajo medio. Las bombas de la serie cuentan con un sensor de temperatura y un lavado con gas inerte. Otras características de la serie Pfeiffer Adixen A3P son una baja emisión de ruido y un bajo nivel de vibraciones.

Las bombas de vacío de semiconductores secos de las series de procesos severos Pfeiffer Adixen ADH, A4H y A4X son procesos químicos utilizados, por ejemplo, en las industrias de semiconductores y recubrimientos. Estos procesos son duros porque se utilizan principalmente medios agresivos y corrosivos y se procesan al vacío. Estos medios tienen los más altos requisitos para el diseño y la calidad de los sistemas de proceso. Los procesos típicos de trabajo severo son el grabado, la deposición química de vapor (CVD), la deposición de capa atómica (ALD), así como la deposición química de vapor de metal orgánico (MOCVD).

Dado que en procesos exigentes se utilizan productos químicos agresivos y corrosivos, las bombas de vacío y sus componentes deben ser resistentes a la corrosión. En las aplicaciones de la industria de semiconductores y de recubrimientos suele producirse una mayor aparición de polvo, lo que puede provocar una acumulación en las bombas de vacío. Por lo tanto, es necesario asegurarse de que las bombas de proceso utilizadas sean adecuadas para esta cantidad de polvo. Para evitar mejor la condensación dentro de las bombas, se utiliza gas de purga en combinación con una sofisticada gestión de la temperatura.

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