Ideal Vacuum AnalyzaVAC Restgasanalysator (RGA), 1–100 AMU, Elektronenvervielfacher und Faraday-Cup-Detektor, AutoZ+-Basissoftware im Lieferumfang enthalten.

Dieses Angebot gilt für den Verkauf des Ideal Vacuum AnalyzaVAC Restgasanalysators mit den folgenden Komponenten:

• Idealer VakuumanalyzaVAC RGA
• 1-100 AMU-Scanbereich.
• Elektronenvervielfacher-Signalverstärker.
• Faradayscher Becherdetektor.
• Eingebautes Pirani-Messgerät zur Grobvakuummessung.
• Integriertes Heißkathoden-Ionenmessgerät für Hochvakuummessungen.
• Conflat (CF) 2,75-Zoll-Montageflansch.

Dazu zählt:

24 VDC Universalnetzteil (120/240 VAC Eingang) und 6' Kabel.

Serielles USB-auf-DB-9-Stecker-RS-232-Kommunikationskabel, 1 Fuß lang.

Serielles DB-9-Stecker-zu-Buchse-RS-232-Verlängerungskabel, 25 Fuß lang.

CF 2,75-Zoll-Kupferdichtungs- und Schraubensatz.

Ideal Vacuum AutoZ ⁺ Basisversion der Software.

Das Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA ist ein kompaktes Massenspektrometer, das bei der Bestimmung der Identität und Konzentration von Restgasen in einer Vakuumkammer helfen kann. Es kann zur Leckerkennung, Ausgasungsanalyse, Qualitätskontrolle des Speisegases bei Beschichtungs- und Ätzanwendungen, zur Fehlerbehebung bei Prozessen und mehr eingesetzt werden. Die AnalyzaVAC RGA-Sonde verfügt über ein integriertes Pirani-Messgerät und ein Bayard-Alpert-Heißkathodenmessgerät, die sie vor dem Betrieb bei ungeeignet hohen Drücken schützen, die Systemkomplexität reduzieren und kostspielige Wartung verhindern. Jedes System wird komplett mit einer Quadrupolsonde, einer Steuer- und Kommunikationseinheit (CCU), der AutoZ ⁺ Basic-Software für Microsoft Windows® 10 und allen notwendigen Kabeln für Strom und Kommunikation geliefert.

Der AnalyzaVAC funktioniert durch Ionisierung der an der Sondenspitze vorhandenen Gase mithilfe von Elektronen, die thermisch von zwei vor Ort austauschbaren thorierten Iridiumfilamenten emittiert werden. Die resultierenden Kationen werden anhand des Masse-Ladungs-Verhältnisses mithilfe einer Kombination aus unterschiedlichen Radiofrequenzen und Gleichspannungen, die an den Quadrupolfilter angelegt werden, getrennt. Die positiv geladenen Ionen wandern durch die Mitte des Quadrupols und werden entweder durch einen Elektronenvervielfacher verstärkt oder direkt vom Faraday-Cup-Detektor am Ende der Sonde erfasst. Jedes Gas erzeugt einen einzigartigen spektralen Fingerabdruck, der eine Kombination aus der natürlichen Isotopenhäufigkeit seiner Elemente und der molekularen Fragmentierung ist, die durch die hochenergetische Elektronenionisierung des RGA verursacht wird.

Der RGA ist für den Dauerbetrieb bei Gesamtdrücken unter 1×10 ^-6 Torr und optimal bei etwa 2×10 ^-7 Torr ausgelegt. Der Betrieb des RGA bei höheren Drücken führt zu einer drastisch verkürzten Lebensdauer von Ionisator, Filament und Quadrupol. Die eingebauten Manometer werden sowohl intern als auch in der AutoZ ⁺ -Software verwendet, um (in den meisten Fällen) tödliche Schäden am RGA zu verhindern.

Während die RGA-Sonde direkt in einer Hochvakuumkammer montiert werden kann, empfiehlt es sich, die RGA mithilfe eines Schlauchstücks und eines Absperrventils von der Kammer zu isolieren. Dies verhindert eine Kontamination oder versehentliche Beschädigung, wenn die Kammer entlüftet wird oder wenn eine neue Probe oder Ausrüstung eingeführt wird. Wenn der RGA zur Messung von Gasen in einer Grobvakuumkammer verwendet wird, sollte der RGA in einer kleinen separaten Kammer mit einem eigenen Hochvakuumpumpsystem aufbewahrt werden, das über ein Leckventil mit der Hauptkammer verbunden ist. Ideal Vacuum bietet RGA-Kits mit allen notwendigen Geräten zur sicheren Messung von Gasen bei Drücken von bis zu 1000 Torr.

Alle AnalyzaVAC-Sonden sind mit einem Faraday-Cup-Detektor ausgestattet, der eine wiederholbare, quantitative und hochlineare Erkennung bis zu 1,5×10 ^-12 Torr ^* ermöglicht. Der optionale Elektronenvervielfacher erhöht die Empfindlichkeit für qualitative Messungen auf erstaunliche 6×10 ^-15 Torr ^* . Sowohl die Standarddetektoren als auch die mit einem Elektronenvervielfacher ausgestatteten Detektoren haben bei ordnungsgemäßer Kalibrierung eine Auflösung von 0,5 AMU bei 10 % Peakhöhe (oder besser).

Die nicht ablaufende Basissoftware AutoZ ⁺ von Ideal Vacuum ist eine Windows 10-Anwendung, die jedes AnalyzaVAC RGA-System von einem Desktop- oder Laptop-Computer aus steuern kann. AutoZ ⁺ gibt dem Bediener die Möglichkeit, alle Erfassungsparameter zu steuern. AutoZ ⁺ bietet Echtzeit-Datenstreaming und ermöglicht Benutzern die Anzeige gesammelter Daten als analoges Spektrum, Massenhistogramm und Trends im Zeitverlauf. Um unerwünschte Peaks und Spektralbeiträge zu entfernen, kann ein Benutzer zuvor gesammelte Spektren als Basisdaten verwenden.

Das optionale Premium-Software-Upgrade AutoZ ⁺ von Ideal Vacuum umfasst alle Funktionen der Basissoftware und fügt erweiterte Datenprotokollierung, Mittelwertbildung, Spektralanpassung mit Zugriff auf die Substanzbibliothek von Ideal Vacuum sowie die Möglichkeit hinzu, der Bibliothek zusätzliche Verbindungen hinzuzufügen. Premium AutoZ ⁺ verwendet einen leistungsstarken Algorithmus der kleinsten Quadrate, um die Partialdrücke gängiger Restgase zu berechnen, ihren Beitrag zum aktuell angezeigten Spektrum zu identifizieren und unbekannte Peaks zu isolieren. Premium-Software muss jährlich erneuert werden, andernfalls wird auf die Basisversion zurückgesetzt.

Einige RGA-Anwendungen:
• Dichtigkeitsprüfung
• Prozessüberwachung
• Abpump- und Ausheizüberwachung
• Vakuumdiagnose
• Qualitätskontrolle des Speisegases
• Identifizierung von Gasen und Schadstoffen

Bitte lesen Sie vor der Bestellung sorgfältig durch:
* Die AnalyzaVAC-Sonde ist ein empfindliches Instrument. Unsachgemäßer Gebrauch, unsachgemäße Handhabung der Sonde oder Betrieb bei erhöhtem Druck über einen längeren Zeitraum können zu einer Kontamination und Beschädigung der Sonde führen. Daher besteht für die Sonde nach Entnahme aus der Originalverpackung keine Garantie. Für alle anderen Komponenten gilt die Garantie gegen Produktmängel.

Der optimale Gesamtbetriebsdruck des RGA beträgt für die meisten Gase 2×10 ^-7 Torr. Der Betrieb bei höheren Drücken über einen längeren Zeitraum führt zu vorzeitiger Alterung der Sonde, Verlust der Verstärkung, spektraler Drift sowie zum Durchbrennen von Filament und Ionisator. Der RGA kann in folgenden Druckbereichen für die entsprechenden Zeiträume eingesetzt werden:
10 ^-4 Torr, mehrere Stunden
10 ^-5 Torr, mehrere Tage
10 ^-6 Torr, mehrere Monate
10 ^-7 Torr, mehrere Jahre
10 ^-8 Torr, auf unbestimmte Zeit
Organische Dämpfe sollten bei einem doppelt so niedrigen Druck gehalten werden wie atmosphärische Gase, um eine Verunreinigung des Filaments und des Ionisators durch Ruß zu verhindern. Silikondämpfe sollten bei einem Druck gehalten werden, der mindestens zehnmal niedriger ist als der von atmosphärischen Gasen, um Glasablagerungen auf dem Filament und dem Ionisator zu verhindern. Auch ätzende Dämpfe schädigen die RGA stärker als normale Gase. Durch die richtige Drucksteuerung kann der RGA zur Messung dieser Gase verwendet werden, ohne dass kostspielige Reparaturen anfallen.

** Gemessen mit Stickstoffgas, 5 Sekunden Verweilzeit, 1 amu voller Peakbreite, 10 % Höhe, 70 eV Elektronenenergie, 6 eV Ionenenergie und 2 mA Elektronenemission und Berechnung von drei Standardabweichungen vom Grundlinienrauschen.